[发明专利]射频电源闭环控制电路

权利要求书

1.射频电源闭环控制电路，其特征在于，包括入射电压处理电路，该入射电压处理电路将输入的入射波电压处理成与该入射波电压对应的入射功率信号；以及

反射电压处理电路，该反射电压处理电路将输入的反射波电压处理成与该反射波电压对应的反射功率信号；以及

输出功率控制电路，该输出功率控制电路的输入端分别连接入射电压处理电路和反射电压处理电路，输出功率控制电路根据获取的入射功率信号和反射功率信号以及功率设定值，动态调整输出控制射频电源的功率控制信号。

2.根据权利要求1所述的射频电源闭环控制电路，其特征在于，所述入射电压处理电路包括第一硬件乘法器以及连接于该第一硬件乘法器输出端的第一输出增益调整电路。

3.根据权利要求2所述的射频电源闭环控制电路，其特征在于，所述入射电压处理电路还包括一个第一信号调零电路，该第一信号调零电路连接于第一硬件乘法器的输入端。

4.根据权利要求1所述的射频电源闭环控制电路，其特征在于，所述反射电压处理电路包括第二硬件乘法器以及连接于该第二硬件乘法器输出端的第二输出增益调整电路。

5.根据权利要求4所述的射频电源闭环控制电路，其特征在于，所述反射电压处理电路还包括一个第二信号调零电路，该第一信号调零电路连接于第二硬件乘法器的输入端。

6.根据权利要求1所述的射频电源闭环控制电路，其特征在于，输出功率控制电路包括第一运算放大器，以及连接于该第一运算放大器输出的射级跟随器。

7.根据权利要求6所述的射频电源闭环控制电路，其特征在于，所述输出功率控制电路还包括一个连接于第一运算放大器反相输入端的分压电路。

8.根据权利要求6所述的射频电源闭环控制电路，其特征在于，所述输出功率控制电路还包括过压保护电路，该过压保护电路与射级跟随器电连接。

9.根据权利要求6至8任意一项所述的射频电源闭环控制电路，其特征在于，所述输出功率控制电路还包括一个保护电路，该保护电路连接于反射电压处理电路的输出端和第一运算放大器的同相输入端之间。

10.根据权利要求9所述的射频电源闭环控制电路，其特征在于，所述保护电路包括第二运算放大器、反馈电阻以及钳位二极管，第二运算放大器的同相输入端为保护阀值输入端，第二运算放大器的反相输入端连接反射电压处理电路的输出端，反馈电阻连接在第二运算放大器的反相入端与输出端之间，第二运算放大器的输出端连接钳位二极管的阴极端，钳位二极管的阳极端连接第一运算放大器的同相输入端。