[发明专利]一种用于制备纳米材料的微波等离子体反应装置

权利要求书

1.一种用于制备纳米材料的微波等离子体反应装置，其特征在于该反应装置包括等离子体激发装置、矩形波导、反应器和收集器，所述的等离子体激发装置置于矩形波导的一侧，所述的反应器置于矩形波导的另一侧，反应器与矩形波导通过等离子体出口相连通，所述的收集器置于反应器下部，反应器与收集器相连通；所述的等离子体激发装置由外壳、工作气体通道、冷却水通道、外调节柱和内调节柱组成，所述的外壳固定在矩形波导上，所述的工作气体通道、冷却水通道、内调节柱和外调节柱同轴安装于外壳的中央，工作气体通道、冷却水通道、内调节柱和外调节柱的下端部伸入矩形波导中，工作气体通道、冷却水通道和内调节柱的下端部伸出外调节柱后与所述的等离子体出口相互贴近，所述的冷却水通道与冷却水入口和冷却水出口相连；所述的矩形波导中由前向后依次安装有前密封片、后密封片和短路活塞，前密封片和后密封片分别安装在等离子体激发装置的两侧；所述的反应器中安装有两个气流旋转片，两个气流旋转片相互偏心安装在反应器内，两个气流旋转片的上、下端分别固定在反应器的上、下壳体上，反应器的下部设有反应器气体进出口，反应器底部通过管道与所述的收集器相连。