[发明专利]一种高性能钽靶材的制备方法

权利要求书

1.一种高性能钽靶材的制备方法，其特征是：首先将钽锭采用冷锻结合热锻的方法制成锻造坯料，然后再采用热轧法进行轧制，最后校平，根据成品尺寸下料、切削和表面处理得到钽靶材。

2.按照权利要求1所述的高性能钽靶材的制备方法，其特征在于上述冷锻结合热锻的方法为：首先将钽锭采用冷锻法进行一次锻造，随后酸洗、热处理后采用热锻法进行二次锻造，再次酸洗和热处理后采用热锻法进行三次锻造。

3.按照权利要求2所述的高性能钽靶材的制备方法，其特征在于上述冷锻法采用旋锻法，锻造加工率控制在25%－40%。

4.按照权利要求2所述的高性能钽靶材的制备方法，其特征在于上述热锻是指在800℃－1200℃温度条件下，对靶材坯料进行镦粗拔长，镦粗加工率控制在55%－80%，拔长时，锻造送进量L=0.6～0.8h，压下量Δh=0.12～0.15h，其中h为锻造前坯料的高度。

5.按照权利要求4所述的高性能钽靶材的制备方法，其特征是：在对靶材坯料进行镦粗拔长前，首先将其预热至200℃，然后在其上涂抹1—3mm厚的玻璃粉。

6.按照权利要求2所述的高性能钽靶材的制备方法，其特征在于上述三次锻造后还需酸洗和热处理，其中酸洗采用体积比为5：2 的HCl和HF混合酸液或者体积比为5 ：3：2的HCl、HF和H2SO4混合酸液，热处理温度为钽材料熔点的25%－45%，保温时间为60—120min。

7.按照权利要求1或2所述的高性能钽靶材的制备方法，其特征在于上述钽锭采用Ta含量≥99.99%，160mm≦直径≦300mm的铸锭。

8.按照权利要求1所述的高性能钽靶材的制备方法，其特征在于上述采用热轧法进行轧制工艺为：首先将锻造坯料预热至900－1200℃，然后轧制，酸洗至钽金属光泽无杂斑即可。

9.按照权利要求8所述的高性能钽靶材的制备方法，其特征是：上述轧制总加工率控制在65％－85％，轧制温度控制在800－1200℃，轧制采用交叉轧制，每次轧制方向为顺时针方向转45??角，前八个道次加工率控制在50%－75%，之后的轧制以找公差为主。

10.按照权利要求8或9所述的高性能钽靶材的制备方法，其特征是：上述轧制时每轧制2－6道次，回炉加热，加热温度900－1200℃。

11.按照权利要求8或9所述的高性能钽靶材的制备方法，其特征是：上述轧制前在坯料表面均匀涂抹1－3mm厚的玻璃粉。

12.按照权利要求8或9所述的高性能钽靶材的制备方法，其特征是：上述酸洗是在体积比为5 ：3：2的HCl、HF和H₂SO₄的混合酸液中进行，酸洗时间控制在5—10分钟。