[发明专利]共参比电极温控式CO2-SOx 集成气体传感器及其制备方法

权利要求书

1.一种共参比电极温控式CO₂-SOx集成气体传感器，其特征在于，自下而上分别为氧化铝基底，Pt或RuO₂制成的加热元件与测温元件，绝缘层，固体电解质薄膜层，至少三个Au齿状薄膜电极，其中一侧Au齿状薄膜电极上设置CO₂反应电极，另一侧Au齿状薄膜电极上设置SOx反应电极，中间的Au齿状薄膜电极上设置共参比电极。

2.如权利要求1所述的共参比电极温控式CO₂-SOx集成气体传感器，其特征在于，所述的加热元件与测温元件为15微米的厚膜，各自有两个独立的引线盘。

3.如权利要求1所述的共参比电极温控式CO₂-SOx集成气体传感器，其特征在于，所述绝缘层为二十微米的厚膜，覆盖所述加热元件与测温元件表面。

4.如权利要求1所述的共参比电极温控式CO₂-SOx集成气体传感器，其特征在于，所述固体电解质薄膜层为1微米厚的长方形Li₃PO₄薄膜，覆盖所述的绝缘层。

5.如权利要求1所述的共参比电极温控式CO₂-SOx集成气体传感器，其特征在于，所述Au齿状薄膜电极为方形，厚度为300纳米，其上的CO₂反应电极为Li₂CO₃电极；SOx反应电极为Li₂SO₄-CaSO₄电极；共参比电极为Li₂TiO₃-TiO₂电极，厚度均为10微米。

6.一种权利要求1所述共参比电极温控式CO₂-SOx集成气体传感器的制备方法包括下述步骤：

（1）将Pt或RuO₂用丝网印刷工艺印制在氧化铝基底上，通过烧结最终形成加热元件与测温元件；

（2）采用丝网印刷工艺在加热元件与测温元件上形成绝缘层；

（3）在绝缘层上通过真空热蒸发镀膜工艺制备固体电解质薄膜，经烧结形成薄膜层；

（4）通过带有图案的掩蔽板遮蔽，在固体电解质薄膜层上溅射至少三个Au齿状薄膜电极；

（5）然后采用厚膜烧结工艺在一侧Au齿状薄膜电极上制备CO₂反应电极；另一侧Au齿状薄膜电极上制备SOx反应电极，中间的Au齿状薄膜电极上制备共参比电极。