[发明专利]可动式接地装置

说明书

技术领域

本发明是有关于一种接地装置，且特别是有关于一种可动式接地装置。

背景技术

在半导体制程中，常常会难以避免的在元件的表面上累积一些不希望出现的静电，这些静电若是不加以移除，将可能因而影响成品整体的合格率。举例来说，以薄膜晶体管基板的干蚀刻制程为例，若是无法实时移除薄膜晶体管基板上的静电，则有可能会因而发生电弧(arcing)现象，使得薄膜晶体管基板上的线路烧毁，而造成产品异常。

传统用以移除静电的装置可参照图1A与图1B。升降装置110可以相对于接地端120上下移动，升降装置110上具有导体材质的支撑部112，用以承放如薄膜晶体管基板等物体，支撑部112上具有接地铜片114。如图1A所示，当升降装置110上升时，接地铜片114不与接地端120接触而保持绝缘状。如图1B所示，当升降装置110下降时，接地铜片114与接地端120接触，而带走支撑部112上的物体所带的静电。但是，接地铜片114在经过长时间的作动之后，接地铜片114的弹性容易因为金属疲劳而降低，使得接地铜片114断裂而丧失接地的功能。

因此，如何提高接地装置的使用寿命，便成为一个重要的课题。

发明内容

本发明的目的就是在提供一种可动式接地装置，用以解决传统因接地铜片金属疲劳而断裂所导致的问题。

本发明一实施例提出一种可动式接地装置，包含接地端、相对于接地端升降的升降机构、连接升降机构的连接座、枢接于连接座的杠杆机构，以及连接于杠杆机构的一端的接触元件。当升降机构相对接地端上升时，接触元件与杠杆机构不与接地端接触，当升降机构相对接地端下降时，接触元件接触接地端。当接触元件接触接地端时，杠杆机构与接地端之间保持有一定的间距。

本发明一种可动式接地装置的另一态样为包含接地端、升降机构、连接座、杠杆机构与接触元件。升降机构相对于接地端升降，具有一支撑部。连接座连接接地端。杠杆机构，枢接于连接座。接触元件连接于杠杆机构的一端，其中当升降机构相对接地端上升时，接触元件与杠杆机构不与支撑部接触，当升降机构相对接地端下降时，接触元件接触支撑部。杠杆机构可更包含一重锤，设置于相对接触元件的另一端。

前述的可动式接地装置可更包含一止复机构，以提供杠杆机构一预倾角。止复机构可包含设置于连接座的一凸块，杠杆机构接触该凸块，杠杆机构可更包含一凸缘，接触凸块以定位。或者，止复机构可包含设置于连接座上之一斜面，杠杆机构接触斜面。连接座、杠杆机构与接触元件的材质为金属或可导电材质。接触元件可为滚轮。连接座可为L形。

可动式接地装置利用重力与杠杆原理，使得升降装置上升时形成断路，而升降装置下降时形成导通。可动式接地装置利用杠杆机构的设计，可以避免如习知技术一般因频繁作动导致接地铜片金属疲劳而断裂的风险。

附图说明

为让本发明的上述和其它目的、特征、优点与实施例能更明显易懂，所附图式的详细说明如下：

图1A与图1B为传统用以移除静电的装置；

图2A与图2B绘示本发明之可动式接地装置一实施例于不同阶段的侧视图；

图3绘示本发明之可动式接地装置另一实施例的侧视图；

图4A与图4B分别绘示本发明之可动式接地装置又一实施例的侧视图与上视图；

第5A图与图5B分别绘示本发明之可动式接地装置再一实施例于不同状态的侧视图；

图6绘示本发明之可动式接地装置再一实施例的侧视图。

【主要元件符号说明】

200：可动式接地装置

210：接地端

220：升降机构

222：支撑部

230：连接座

232：端

234：端

236：斜面

240：杠杆机构

242：端

244：端

246：重锤

250：接触元件

260：螺丝

270：凸块

272：凸缘

d：间距

具体实施方式

以下将以图式及详细说明清楚说明本发明的精神，任何所属技术领域中具有通常知识者在了解本发明的较佳实施例后，当可由本发明所教示的技术，加以改变及修饰，其并不脱离本发明的精神与范围。