[发明专利]照度和光量测量模块及使用该测量模块的多通道测量装置

说明书

相关申请的交叉引用

本申请要求于2011年12月19日提交的题为“照度和光量测量模块及使用该照度和光量测量模块的多通道检测器(Illuminance And Light Quantity Measuring Module And Multi Channel Detector Using Thereof)”的韩国专利申请No.10-2011-0137429的权益，将上述申请整体通过引证结合到本申请中。

技术领域

本发明涉及一种照度和光量测量模块及使用该照度和光量测量模块的多通道测量装置。

背景技术

一般，使用用于紫外(UV)区域、可见(VIS)区域、和红外线(IR)区域的光源的工业和研究设备，特别是，用于使半导体、基板等图案化的曝光设备需要在曝光装置内均匀分配光能以通过从光源散射出的光进行均匀的曝光。

为了在曝光装置内均匀分配光能，需要测量从曝光装置的光源辐射出的不同波长波段的照度。为此，通过在传感器中接收从标准光源辐射出的光依据光的辐射面积来计算根据任何波长波段内的光谱特征的任何波长波段的光强度和能量积累的大小，并且通过半高全宽(FWHM)进行每单位时间能量积累的计算。

然而，根据现有技术的照度测量可进行使用各种测量算法的较宽光区内的照度测量，但对于特定波长波段内的光谱可能不是最佳化的。

因此，在宽波长波段和一般波长波段中可进行照度测量，但是所有的子峰以及主峰通过需要控制主峰的波长波段且因此难于选择用于最佳照度计算的数据的工业或研究设备来测量。

此外，在一特定波长内，当进行较宽区域上的波长波段内的照度测量时，没有规定传感器灵敏度并且不灵敏地测量照度，因此导致照度测量的误差。

此外，根据现有技术的照度测量模块安装在曝光装置内的单独的平台中以测量曝光装置内的整个区域的照度。为了测量曝光装置内的整个区域的照度，可通过连续和重复移动各个测量模块位置来进行照度测量。

[现有技术文献]

[专利文献]

(专利文献1)韩国专利特许公开No.2004-5387

发明内容

本发明旨在解决在根据现有技术的照度测量模块中存在的上述缺点和问题。本发明的目的是提供一种能够测量特定波长波段内的最佳光能并使测量误差最小化的照度和光量测量模块。

根据本发明的示例性实施例，提供了一种照度和光量测量模块，包括：壳体，所述壳体具有设置在其中心处的开口部；散射体，所述散射体设置在所述壳体中并不断地改变从设置在所述壳体前方的标准光源辐射出的光波长；中性密度(ND)滤光器，所述中性密度滤光器设置在所述散射体的下部上并减小通过所述散射体的高能光的强度；带通滤光器，所述带通滤光器安装在所述中性密度滤光器的下部处并选择性地透射特定范围的波长波段；以及传感器，所述传感器安装在所述壳体的底面处并接收通过所述带通滤光器透射的光。

所述壳体可以箱型形成并可具有形成在其上部上的开口部。此外，所述壳体可具有能够将热从其内部排放至外部的结构，并可由具有良好导热性的材料制成以将热从其内部排放至外部。

此外，可鉴于从所述壳体前方的标准光源辐射出的光的直线性和散射来控制所述开口部的开口宽度，并且所述开口部的侧面可以是倾斜的。在这种情形中，倾斜的表面可在所述开口部的内侧中相对于光的辐射方向向下倾斜。

在这种情形中，所述开口部的侧面还可设置有由光吸收材料制成的涂层表面。

所述传感器可包括光接收部，所述光接收部由Si二极管或GaP和InGaP中的任意一种制成并可鉴于待感测的波长波段的感测灵敏度来选择。

此外，根据本发明的示例性实施例的照度和光量模块可通过在预定距离处安装在板状平台上的多个通道来构造，具有I线、H线、以及G线的波长波段的多个模块可在构造所述多个通道时安装，具有I线、H线、以及G线的波长波段的多个模块之间还可安装有能够测量曝光装置内的温度和湿度的温度/湿度测量模块。

附图说明

图1是使用根据本发明的示例性实施例的照度和光量测量模块测量内部光照度的一般曝光装置的示意图。

图2是根据本发明的示例性实施例的照度和光量测量模块的横截面图。

图3是根据本发明的示例性实施例的照度和光量测量模块的开口部的放大横截面图。

图4是根据本发明的另一个示例性实施例的照度和光量测量模块的开口部的放大横截面图。

图5是使用根据本发明的示例性实施例的照度和光量测量模块的多通道测量装置的平面图。