[发明专利]精密机械用绝缘垫板及其制作方法

权利要求书

1.一种精密机械用绝缘垫板，其主体上带有用于将绝缘垫板与下面部件固定连接的沉孔，其特征在于所述绝缘垫板主体上还带有用于将绝缘垫板与其上面部件固定连接的盲孔；加工有螺孔的铝柱粘接固定于盲孔中；绝缘垫板主体材料采用普氏硬度系数f大于8小于10的岩石。

2.根据权利要求1所述的精密机械用绝缘垫板，其特征在于所述绝缘垫板主体的上表面和下表面的平面度均小于5微米，上表面与下表面之间的平行度小于5微米。

3.根据权利要求2所述的精密机械用绝缘垫板，其特征在于所述绝缘垫板主体的上表面和下表面的平面度均小于2微米，上表面与下表面之间的平行度小于3微米。

4.根据权利要求1、2或3所述的精密机械用绝缘垫板，其特征在于所述岩石为大理石或花岗岩。

5.一种如权利要求4所述的精密机械用绝缘垫板的制作方法，包括下述步骤：

一、用锯割加工方法将大理石或花岗岩荒料锯割成所需厚度的毛板；

二、用凿切加工方法将步骤一得到的毛板加工成所需形状的坯料；

三、用金刚石开孔器在步骤二得到的坯料上加工盲孔和沉孔；

四、将铝柱粘接固定于盲孔中；

五、用丝锥在铝柱上加工螺孔；

六、将碳化硅磨粉撒在铸铁磨盘上，然后将步骤五得到的绝缘垫板坯料放置于铸铁磨盘上研磨，最后得到所需精度的绝缘垫板。

6.根据权利要求1所述的精密机械用绝缘垫板，其特征在于所述绝缘垫板主体为圆盘形，其中央带有定位孔。

7.一种如权利要求6所述的精密机械用绝缘垫板的制作方法，包括下述步骤：

一、用内径与绝缘垫板主体外径相等的金刚石开孔器对大理石或花岗岩料板进行加工，同时采用自来水冷却，得到圆盘形绝缘垫板坯料；

二、用外径与绝缘垫板主体的定位孔直径相等的金刚石开孔器对圆形绝缘垫板坯料进行加工，同时采用自来水冷却，得到带有定位孔的绝缘垫板坯料；

三、用金刚石开孔器在步骤二得到的坯料上加工盲孔和沉孔；

四、将铝柱粘接固定于盲孔中；

五、用丝锥在铝柱上加工螺孔；

六、将碳化硅磨粉撒在铸铁磨盘上，然后将步骤五得到的绝缘垫板坯料放置于铸铁磨盘上研磨，最后得到所需精度的绝缘垫板。

8.一种砂轮划片机绝缘垫板，其圆盘形主体上加工有上定位孔、下定位孔、至少一个盲孔和至少一个沉孔，圆盘形主体的上表面和下表面的平面度均小于2微米，圆盘形主体的上表面与下表面之间的平行度小于3微米；其特征在于所述绝缘垫板圆盘形主体材料采用大理石或花岗岩，加工有螺孔的铝柱粘接固定于盲孔中。

9.一种如权利要求8所述的砂轮划片机绝缘垫板的制作方法，包括下述步骤：

一、将内径与砂轮划片机绝缘垫板主体外径相等的金刚石开孔器固定在车床或铣床上，对大理石或花岗岩料板进行车削或铣削加工，同时采用自来水冷却，得到圆盘形绝缘垫板坯料；

二、将外径与砂轮划片机绝缘垫板主体的上定位孔直径相等的金刚石开孔器固定在车床或铣床上，对圆形绝缘垫板坯料进行车削或铣削加工，同时采用自来水冷却，得到圆环形绝缘垫板坯料；

三、用内圆磨床加工下定位孔，得到中央带有上定位孔和下定位孔的绝缘垫板坯料；

四、用金刚石开孔器在步骤三得到的坯料上加工盲孔和沉孔；

五、将铝柱粘接固定于盲孔中；

六、用丝锥在铝柱上加工螺孔；

七、将碳化硅磨粉撒在铸铁磨盘上，然后将步骤六得到的绝缘垫板坯料放置于铸铁磨盘上研磨，最后得到上表面和下表面的平面度均小于2微米，上表面与下表面之间的平行度均小于3微米的砂轮划片机绝缘垫板板。