[发明专利]投影透镜、搭载该投影透镜的光学设备及投影透镜的制造方法有效

专利信息
申请号: 201210085194.0 申请日: 2012-03-28
公开(公告)号: CN102707412A 公开(公告)日: 2012-10-03
发明(设计)人: 石川贵博 申请(专利权)人: 株式会社尼康
主分类号: G02B13/00 分类号: G02B13/00;G02B13/18;G02B1/04;G03B21/00
代理公司: 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 代理人: 谢丽娜;关兆辉
地址: 日本*** 国省代码: 日本;JP
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摘要:
搜索关键词: 投影 透镜 搭载 光学 设备 制造 方法
【权利要求书】:

1.一种投影透镜,其特征在于,

包括沿着光轴从投影侧依次排列的:具有正的光焦度的双凸形状的第1透镜成分;具有负的光焦度的弯月形状的第2透镜成分;和具有正的光焦度且在投影侧具有凸形状的透镜面的第3透镜成分,

上述第1透镜成分的投影侧和物体侧的透镜面、以及上述第2透镜成分的投影侧和物体侧的透镜面为非球面,

所述投影透镜满足以下的条件式:

0.2<f/(-f2)<0.7

其中,f2为上述第2透镜成分的焦距,f为上述投影透镜的焦距。

2.根据权利要求1所述的投影透镜,其特征在于,设上述第2透镜成分的投影侧的透镜面的近轴曲率半径为R21、上述第2透镜成分的物体侧的透镜面的近轴曲率半径为R22时,满足以下的条件式:

1.0<(R22+R21)/(R22-R21)<5.0。

3.根据权利要求1或2所述的投影透镜,其特征在于,设上述第1透镜成分对d线的阿贝数为vd1时,满足以下的条件式:

53.0<vd1<61.0。

4.根据权利要求1~3中任一项所述的投影透镜,其特征在于,设上述第1透镜成分对d线的折射率为nd1时,满足以下的条件式:

1.45<nd1<1.60。

5.根据权利要求1~4中任一项所述的投影透镜,其特征在于,设上述第2透镜成分对d线的阿贝数为vd2时,满足以下的条件式:

21.0<vd2<35.0。

6.根据权利要求1~5中任一项所述的投影透镜,其特征在于,设上述第2透镜成分对d线的折射率为nd2时,满足以下的条件式:

1.50<nd2<1.65。

7.根据权利要求1~6中任一项所述的投影透镜,其特征在于,在上述第1透镜成分的投影侧设置孔径光阑。

8.一种光学设备,其特征在于,搭载权利要求1所述的投影透镜。

9.一种投影透镜的制造方法,该投影透镜具有第1透镜成分、第2透镜成分和第3透镜成分,所述制造方法的特征在于,

从投影侧依次

配置具有正的光焦度、为双凸形状、且投影侧和物体侧的透镜面为非球面的第1透镜成分;

配置具有负的光焦度、为弯月形状、且投影侧和物体侧的透镜面为非球面的第2透镜成分;

并配置具有正的光焦度且在投影侧具有凸形状的透镜面的第3透镜成分,

并且使得所述投影透镜满足以下的条件式:

0.2<f/(-f2)<0.7

其中,f2为上述第2透镜成分的焦距,f为上述投影透镜的焦距。

10.根据权利要求9所述的投影透镜的制造方法,其特征在于,设上述第2透镜成分的投影侧的透镜面的近轴曲率半径为R21、上述第2透镜成分的物体侧的透镜面的近轴曲率半径为R22时,满足以下的条件式:

1.0<(R22+R21)/(R22-R21)<5.0。

11.根据权利要求9或10所述的投影透镜的制造方法,其特征在于,设上述第1透镜成分对d线的阿贝数为vd1时,满足以下的条件式:

53.0<vd1<61.0。

12.根据权利要求9~11中任一项所述的投影透镜的制造方法,其特征在于,设上述第1透镜成分对d线的折射率为nd1时,满足以下的条件式:

1.45<nd1<1.60。

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