[发明专利]TFT-LCD玻璃基板清洗方法有效
| 申请号： | 201210072893.1 | 申请日： | 2012-03-19 |
| 公开（公告）号： | CN102601074A | 公开（公告）日： | 2012-07-25 |
| 发明（设计）人： | 寇浩 | 申请（专利权）人： | 深圳市华星光电技术有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/12 | 分类号： | B08B3/12 |
| 代理公司： | 深圳市德力知识产权代理事务所 44265 | 代理人： | 林才桂 |
| 地址： | 518132 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | tft lcd 玻璃 清洗 方法 | ||
1.一种TFT-LCD玻璃基板清洗方法，其特征在于，包括如下步骤：
步骤1、提供超声波清洗机、玻璃基板输入传送机、及玻璃基板输出传送机，该超声波清洗机包括清洗槽、容纳于清洗槽内的清洗液、及设于清洗槽的数个第一超声波频率发生器与数个第二超声波频率发生器，该第一超声波频率发生器与第二超声波频率发生器的频率不同；
步骤2、玻璃基板输入传送机传送待清洗的玻璃基板进入清洗槽；
步骤3、待清洗的玻璃基板浸没在清洗槽的清洗液内；
步骤4、该第一超声波频率发生器与第二超声波频率发生器产生的不同频率超声波施加给清洗液对玻璃基板进行超声波清洗；
步骤5、玻璃基板输出传送机将清洗过的玻璃基板从清洗槽运送出来。
2.如权利要求1所述的TFT-LCD玻璃基板清洗方法，其特征在于，该清洗槽的相对两侧壁分别设有该数个第一超声波频率发生器与数个第二超声波频率发生器，清洗槽的该相对两侧壁与传送玻璃基板的方向平行。
3.如权利要求2所述的TFT-LCD玻璃基板清洗方法，其特征在于，该数个第一超声波频率发生器与数个第二超声波频率发生器分别排成列，且依次间隔设置在清洗槽的相对两侧壁。
4.如权利要求3所述的TFT-LCD玻璃基板清洗方法，其特征在于，该第一超声波频率发生器与第二超声波频率发生器的频率分别为40KHz与120KHz，相邻的第一超声波频率发生器与第二超声波频率发生器之间的间距为25-50cm。
5.如权利要求3所述的TFT-LCD玻璃基板清洗方法，其特征在于，该第一超声波频率发生器与第二超声波频率发生器的频率分别为68KHz与170KHz，相邻的第一超声波频率发生器与第二超声波频率发生器之间的间距为15-40cm。
6.如权利要求2所述的TFT-LCD玻璃基板清洗方法，其特征在于，所述步骤3中，玻璃基板对应于所述清洗槽的相对两侧壁倾斜置于清洗槽内，且该玻璃基板与水平面之间的夹角为30-45°。
7.如权利要求1所述的TFT-LCD玻璃基板清洗方法，其特征在于，所述清洗液为去离子水。
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