[发明专利]无尘室微粒自动测量小车、自动测量系统及其测量方法有效

专利信息
申请号: 201210068824.3 申请日: 2012-03-15
公开(公告)号: CN102608003A 公开(公告)日: 2012-07-25
发明(设计)人: 齐明虎;吴俊豪;林昆贤;汪永强;朱二庆;李贤德 申请(专利权)人: 深圳市华星光电技术有限公司
主分类号: G01N15/00 分类号: G01N15/00
代理公司: 深圳市威世博知识产权代理事务所(普通合伙) 44280 代理人: 何青瓦;丁建春
地址: 518000 广东省深圳市光明新区公*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 无尘室 微粒 自动 测量 小车 系统 及其 测量方法
【说明书】:

技术领域

发明涉及测量领域,特别是涉及一种无尘室微粒自动测量小车、自动测量系统及其测量方法。

背景技术

目前的生产环境要求越来越高,特别是无尘生产车间,需要很干净的环境,通常测量无尘室的微粒作为对环境的评估条件之一。现有技术中无尘室的微粒测量采用人工方式,如图1所示,图1是现有技术中无尘室微粒测量的测量场景图,在无尘室102中有多台设备104,在每一台设备104的附近都设置了测量点103,现有技术中,人工控制测量仪101对测量点103进行测量,测量得到的数据即为该无尘室102的微粒数据值,由于测试过程是人工操作的,所以,测试的结果直接受测试者影响,因此,会出现测量不定时、测量数据误差大或者测量得到的数据得不到及时处理等问题。因此人工测量已远远不能满足现在的测量要求。

发明内容

本发明主要解决的技术问题是提供一种无尘室微粒自动测量小车、自动测量系统及其测量方法,能够自动测量指定区域的无尘室微粒,减少人力资源,提高测量结果的准确性。

为解决上述技术问题,本发明采用的一个技术方案是:提供一种无尘室微粒自动测量小车,该小车包括:自动导引装置,导引小车沿一既定路径行驶,该自动导引装置包括一读取头,该读取头识别预先设置的感应路径以及识别预先设置的多个测量点,该小车根据感应路径进行行驶;测量仪,该测量仪测量测量点的微粒;数据处理装置,测量仪将测量所得的微粒数据输送至该数据处理装置,该数据处理装置依据预设规则进行数据输出。

其中,读取头为电磁感应识别器、激光识别器、磁铁-陀螺识别器或视觉引导识别器。

其中,小车进一步包括一暂停装置,该暂停装置在读取头识别到测量点或者在该小车行驶到其预先存储的测量点时,进行暂停控制,测量仪进一步测量测量点的微粒。

其中,数据处理装置预先存储测量点数据,该测量点数据包括如下数据之一或多个:测量完成后主动进行下一次自动测量的时间间隔、发现异常数据时主动进行下一次自动测量的时间间隔、每间隔测量点之间的位置关系、合理的微粒数值区间。

其中,该小车进一步包括一指令输入装置,该指令输入装置接收开始自动测量的命令而启动小车进行自动测量作业。

其中,数据处理装置预先存储数据异常作业指令,该指令为,当测量数据正常时,依照自动测量的时间间隔而启动下一次自动测量作业,当测量数据异常时,则依据异常数据时主动进行下一次自动测量的时间间隔启动测量,或者依照输入装置的输入指令启动自动测量。

其中,该小车进一步包括一蓄电池和自动充电装置,为小车提供运输动力。

为解决上述技术问题,本发明采用的另一个技术方案是:提供一种无尘室微粒自动测量系统,该系统包括上述的无尘室微粒自动测量小车以及与读取头对应设置于被测量空间地面的感应条。

其中,感应条的预设测量点位置的感应力大于周边位置。

为解决上述技术问题,本发明采用的另一个技术方案是:提供一种无尘室微粒的自动测量方法,该方法包括以下步骤:

行驶步骤:通过电磁感应、激光识别、磁铁-陀螺识别或视觉引导识别感应识别预先设置的感应路径和测量点,并根据感应路径进行行驶;

测量步骤:当识别到测量点时,行驶暂停并测量测量点的微粒,或者当行驶到预先存储的测量点时,行驶暂停并测量测量点的微粒;

处理步骤:接收并处理多个微粒数据。

本发明的有益效果是:本发明通过提供包括自动导引装置、测量仪以及数据处理装置的自动测量小车,可以根据指定路径进行行驶,并自动测量测量点的微粒以及对测量得到的微粒数据进行输出处理。通过上述方式,本发明能够自动测量指定区域的无尘室微粒,减少人力资源,提高测量结果的准确性。

附图说明

图1是现有技术中无尘室微粒测量的测量场景图;

图2是本发明实施例的无尘室微粒自动测量小车的结构模块示意图;

图3是本发明实施例的无尘室微粒测量方法的流程图;

图4是根据图3所示的无尘室微粒测量方法的测量场景图。

具体实施方式

请参考图2,图2是本发明实施例的无尘室微粒自动测量小车的结构模块示意图,本实施例的无尘室微粒自动测量小车200包括:自动引导装置201、测量仪203、数据处理装置204。且可进一步包括暂停装置205以及指令输入装置206。其中,自动引导装置201包括一读取头202。

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