[发明专利]一种用于超高温状态下产生温差的热场结构

说明书

技术领域

本发明涉及一种用于超高温状态下产生温差的热场结构。

背景技术

蓝宝石晶体生长过程中（或其它生产工艺），为保证晶体的正常生长，往往需要在有效热场内上下温度产生差异。目前，传统技术中采用的是上、下二组加热器和底部补偿加热器来实现（如附图1所示），它带来的问题是：1、上下加热器之间由于电极产生的温差影响晶体正常生长；2、三个加热器会造成电器设备庞大。

发明内容

本发明的目的是提供一种适用于超高温状态下的产生温差的热场结构。

为解决上述技术问题，本发明采用如下技术方案：

一种用于超高温状态下产生温差的热场结构，包括设置在炉体内的加热器组件、设置在所述的加热器组件与所述的炉体内壁之间的保温组件、设置在所述的加热器组件的轴心的坩埚，

所述的保温组件包括同轴设置与所述的炉体内的筒状侧保温屏、设置在所述的侧保温屏的上端的上保温屏、设置在所述的侧保温屏的下端的下保温屏，

所述的加热器组件包括呈笼状的主加热器和呈筒状的补偿加热器，所述的主加热器同轴设置于所述的侧保温屏内，所述的主加热器的上端部沿径向向外延伸形成多根主加热器引出电极，这些所述的主加热器引出电极分别对应穿过所述的侧保温屏及所述的炉体上的通孔而伸出所述的炉体外，；所述的补偿加热器同轴设置于所述的侧保温屏与所述的主加热器之间，所述的补偿加热器的下端部与所述的主加热器的下端部位于同一水平面内，所述的补偿加热器的高度小于所述的主加热器的高度的二分之一，所述的补偿加热器的上端部沿径向向外延伸设置有多根补偿加热器引出电极，这些所述的补偿加热器引出电极分别对应穿过所述的侧保温屏及所述的炉体上的通孔而伸出所述的炉体外，

所述的主加热器的下底部具有一个口部，所述的坩埚通过伸入该口部的料柱支撑于所述的主加热器内。

所述的坩埚的正上方设置有仔晶保护罩，该仔晶保护罩嵌在所述的上保温屏的中心。

优选地，所述的补偿加热器由周向排列的多块弧形板组成，这些弧形板的下端均固定在一圆环上，这些所述的补偿加热器引出电极分别设置在各个所述的弧形板的上端。

优选地，各个所述的弧形板由1.0mm或1.5mm的钨板制成。

进一步地，所述的补偿加热器的高度大于所述的主加热器的高度的三分之一。

本发明的有益效果是：本设计将传统技术中的上、下两个加热器用一个主加热器替代，并在该主加热器的外部的下端加设补偿加热器，在需要加工热时，通过补偿加热器灵活地实时调控温度，以对坩埚底部温度更好地控制；而在不需要加工热时，该补偿加热器又可以作为一层保温屏障使用，起到辅助保温的作用。

附图说明

附图1为传统技术中的热场结构的结构示意图；

附图2为本发明的用于超高温状态下产生温差的热场结构的结构示意图；

附图3为本发明的用于超高温状态下产生温差的热场结构中的补偿加热器的结构示意图。

附图中：1、炉体；2、坩埚；3、侧保温屏；4、上保温屏；5、下保温屏；6、主加热器；7、补偿加热器；8、主加热器引出电极；9、补偿加热器引出电极；10、料柱；11、仔晶保护罩；12、弧形板；13、圆环。

具体实施方式

下面结合具体实施例对本发明的技术方案作以下详细描述：