[发明专利]薄膜形成用旋转系统

权利要求书

1.一种用于将一或更多材料层形成于一或更多基板上的系统，包含：

一承载座，该承载座可绕一中央承载座轴旋转；

位于该承载座上的一或更多载台齿轮，其中，该载台齿轮可以所述中央承载座轴绕所述承载座旋转；及

与所述载台齿轮啮合的一中央齿轮，其中，该中央齿轮可在所述载台齿轮所述中央承载座轴旋转时，使所述载台齿轮绕个别所述载台齿轮的载台轴旋转；

其中，所述承载座与所述中央齿轮可各自独立旋转。

2.如权利要求1项所述的系统，其中，所述承载座与一可转动组件结合以绕与所述中央齿轮结合的一机轴旋转。

3.如权利要求2所述的系统，其中，所述可转动组件包含包围与所述中央齿轮结合的所述机轴的一衬套，且该衬套可绕所述机轴自由地旋转。

4.如权利要求3所述的系统，其中，所述承载座通过一转接器与所述衬套结合。

5.如权利要求4所述的系统，其中，所述转接器包含石英。

6.如权利要求2所述的系统，其中，所述衬套包含至少两部分。

7.如权利要求2所述的系统，其中，所述可转动组件包含与所述承载座结合的一旋转罩。

8.如权利要求1所述的系统，其中，所述中央承载座轴与所述载台轴不同。

9.如权利要求1所述的系统，其中，所述中央承载座轴置于所述中央齿轮中心。

10.如权利要求1所述的系统，其中，所述中央齿轮使用时为固定。

11.如权利要求1所述的系统，其中，所述中央齿轮与所述承载座沿相同方向旋转。

12.如权利要求1所述的系统，其中，所述中央齿轮与所述承载座以相同角速度沿相同方向旋转。

13.如权利要求1所述的系统，其中，所述中央齿轮与所述承载座沿不同方向旋转。

14.如权利要求1所述的系统，其中，所述一或更多载台齿轮用于承载一或更多基板。

15.如权利要求1所述的系统，其中，所述一或更多载台齿轮包含基板载台。

16.如权利要求1所述的系统，还包含与所述载台齿轮结合的一或更多基板载台。

17.如权利要求1所述的系统，还包含一位于该承载座上方的喷气组件。

18.如权利要求1所述的系统，还包含位于所述载台齿轮下方的一或更多加热组件。

19.一种将一或更多材料层形成于一或更多基板上的方法，包含：

绕一中央承载座轴来旋转位于一承载座上的载台齿轮的一或更多基板；

当该载台齿轮绕所述中央承载座轴旋转时，使所述载台齿轮绕其各自的载台轴以及一中央齿轮旋转，其中所述中央齿轮相对于所述承载座独立地旋转；及

当所述基板绕所述中央承载座轴与所述载台轴旋转时，形成一或更多材料层于一或更多基板上。

20.如权利要求19所述的方法，还包含以化学气相沉积法形成一或更多材料层于一或更多基板上。

21.如权利要求19所述的方法，其中，所述一或更多载台齿轮包含基板载台。

22.如权利要求19所述的方法，还包含将一或更多基板置于与所述一或更多载台齿轮结合的一或更多基板载台。

23.如权利要求19所述的方法，其中，所述承载座与可自由地绕与该中央齿轮结合的机轴旋转的可转动组件结合。

24.如权利要求22所述的方法，其中，所述可转动组件包含包围与所述中央齿轮结合的机轴的一衬套，且该衬套可绕所述机轴自由地旋转。

25.如权利要求22所述的方法，其中，所述可转动组件包含与所述承载座结合的一旋转罩。

26.如权利要求19所述的方法，其中，当所述承载座绕所述中央承载座轴旋转时，所述中央齿轮不旋转。

27.如权利要求19所述的方法，其中，所述中央齿轮与所述承载座沿相同方向旋转。

28.如权利要求27所述的方法，其中，所述中央齿轮与所述承载座以相同速度旋转。