[发明专利]光学检测装置

权利要求书

1.一种光学检测装置，用于检测一覆晶基板，该覆晶基板包含有一板体、至少一形成于该板体的焊垫、及一形成于该板体的绝缘层，该绝缘层覆盖于该至少一焊垫的部分区域且形成有至少一穿孔，该焊垫经该穿孔而暴露于外，其特征在于，该光学检测装置包括：

一孔径扫描单元，其包含一用以发出照射于该覆晶基板绝缘层的光线的第一光源模块以及一用以发出可穿透该绝缘层并照射于该焊垫的光线的第二光源模块；以及

一取像单元，其包含一用以接收该覆晶基板绝缘层和焊垫所反射光线的摄像模块，该摄像模块经该第一光源模块取得一呈现有该穿孔孔径的一第一影像，该摄像模块经该第二光源模块取得一呈现有该焊垫表面外径的一第二影像。

2.如权利要求1所述的光学检测装置，其特征在于，该第一光源模块所发出光线的波长小于该第二光源模块所发出光线的波长。

3.如权利要求2所述的光学检测装置，其特征在于，该绝缘层为绿漆，该第一光源模块为至少一用以发出紫外光线的紫外光线产生器。

4.如权利要求2所述之光学检测装置，其特征在于，该焊垫为铜垫，该第二光源模块为一用以发出红外光线的红外光线产生器。

5.如权利要求1所述的光学检测装置，其特征在于，该第二光源模块呈环形且包围形成有一通孔，该第二光源模块设置于该第一光源模块与该覆晶基板之间，且该第一光源模块所发出的光线经该通孔照射于该覆晶基板的绝缘层上。

6.如权利要求1所述的光学检测装置，其特征在于，该摄像模块包含一倍率调整镜头及一用以将光学信号转换为电器信号的信号接收器，该孔径扫描单元所发出的光线自该覆晶基板反射后经该倍率调整镜头传递至该信号接收器。

7.如权利要求1至6中任一项所述的光学检测装置，其特征在于，进一步包含一孔深检测器，该孔深检测器用以发出垂直照射于该覆晶基板的光线并取得该覆晶基板的穿孔的孔深。

8.如权利要求7所述的光学检测装置，其特征在于，该孔深检测器设置于该孔径扫描单元与该取像单元的一侧。

9.如权利要求7所述的光学检测装置，其特征在于，进一步包含一用以固定该覆晶基板的平台，该平台可相对于该孔径扫描单元与该孔深检测器移动。

10.如权利要求7所述的光学检测装置，其特征在于，进一步包含有一固定单元，该固定单元定位该孔径扫描单元、该取像单元、及该孔深检测器的彼此相对位置，且该固定单元具有一用以定位该第一光源模块与该第二光源模块两者相对位置的U形板。