[发明专利]干式散布装置有效
| 申请号： | 201210005174.8 | 申请日： | 2012-01-09 |
| 公开（公告）号： | CN102654690A | 公开（公告）日： | 2012-09-05 |
| 发明（设计）人： | 孙中元;尹维贺 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司 |
| 主分类号： | G02F1/1339 | 分类号： | G02F1/1339 |
| 代理公司： | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人： | 韩国胜;王莹 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 散布 装置 | ||
【权利要求书】：
1.干式散布装置，包括：供给机送料部，通过管道与所述供给机送料部连接的散布腔体，所述散布腔体内部具有散布喷头，其特征在于，所述散布腔体内部具有均匀电场。
2.如权利要求1所述的干式散布装置，其特征在于，所述电场的方向与所述散布喷头的喷射方向相垂直。
3.如权利要求1所述的干式散布装置，其特征在于，所述散布腔体在相对的两侧面上分别设置至少一个电极，两侧电极极性相反，形成所述均匀电场。
4.如权利要求1-3任一项所述的干式散布装置，其特征在于，所述散布腔体中的电场强度为1.0×102(N/C)～5.0×102(N/C)。
5.如权利要求1所述的干式散布装置，其特征在于，还包括：用于放置基板的散布机台，所述散布机台设置在所述散布腔体的底部。
6.如权利要求5所述的干式散布装置，其特征在于，所述散布喷头在所述散布机台的投影偏离所述散布机台的中心。
7.如权利要求6所述的干式散布装置，其特征在于，所述散布机台的中心在竖直方向和水平方向上距离散布喷头的距离相等。
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