[发明专利]多晶硅材料残余应力在线测试结构有效
| 申请号： | 201210003497.3 | 申请日： | 2012-01-06 |
| 公开（公告）号： | CN102565143A | 公开（公告）日： | 2012-07-11 |
| 发明（设计）人： | 李伟华;张卫青;蒋明霞;周再发;刘海韵 | 申请（专利权）人： | 东南大学 |
| 主分类号： | G01N27/04 | 分类号： | G01N27/04;G01L5/00 |
| 代理公司： | 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204 | 代理人： | 柏尚春 |
| 地址： | 210096*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 多晶 材料 残余 应力 在线 测试 结构 | ||
1.一种多晶硅材料残余应力在线测试结构，其特征在于：包括三个多晶硅偏转指针，三个多晶硅偏转指针分别包括多晶硅驱动梁(101、103、105)、多晶硅指针(102、104、106)和锚区；三个多晶硅偏转指针呈“品”字型放置，指针(102、104、106)都指向中心；左下部多晶硅偏转指针和右下部多晶硅偏转指针结构完全相同，以测试结构竖直中心线左右镜向，上部多晶硅偏转指针位于中心，其指针(102)方向与下部的左右多晶硅偏转指针的指针(104、106)方向相反；整个测试结构制作在绝缘衬底(117)上，在结构被释放后，驱动梁(101、103、105)和指针(102、104、106)均处于悬浮状态，以便于释放残余应力并自由伸缩与偏转。
2.根据权利要求1所述的多晶硅材料残余应力在线测试结构，其特征在于：所述左下部多晶硅偏转指针中，驱动梁(103)一端的锚区(109)和指针(104)一端的锚区(110)上分别制作有金属电极(113、114)，并且金属电极(114)一直延伸到驱动梁(103)上；所述右下部多晶硅偏转指针中，驱动梁(105)一端的锚区(112)和指针(106)一端的锚区(111)上分别制作有金属电极(116、115)，并且金属电极(115)一直延伸到驱动梁(105)上。
3.根据权利要求1所述的多晶硅材料残余应力在线测试结构，其特征在于：所述三个多晶硅偏转指针的驱动梁(101、103、105)长度相等。
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