[实用新型]蚀刻液槽

说明书

技术领域

本实用新型涉及太阳能电池，尤其涉及制绒蚀刻设备。 

背景技术

由于药液浓度随寿命改变而改变，且溶液内生成的盐，中间产物及硅片带来的脏污使得药液活性变差，目前采用的是定期将药液寿命进行更换。目前的清洗工艺主要是利用HF和HNO3与SI反应达到制造绒面，刻蚀边缘的效果，现在的清洗设备主要是利用计算得出每片硅片需要的HNO3和HF的量，利用滴定阀进行自动补加，保证溶液正常生产，由于生成物原硅酸等越来越多，在药液寿命后期，会阻碍反应正向进行，药液活性降低。定期更换药液，优点：使溶液保持较好的药液活性；缺点：由于定期更换新药，造成物料的浪费，且更换药液需要3-5h，对产能造成一定影响。 

实用新型内容

本实用新型要解决的技术问题是：克服现有技术中之不足，提供一种蚀刻液槽。 

本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：一种蚀刻液槽，具有密封槽体，在槽体上有HF加液管、HNO₃加液管，在槽体的底部设置有排液管，在排液管设置有支管，槽体底部还设置有溢流管，在槽体的侧壁上设置有液位传感器，在槽体内设置有抽液管，在槽体顶部有溢液管。 

本实用新型的有益效果是：本实用新型解决了频繁换药对药液及人力的浪费，使药液可以重复使用，且减少了换药时间，提高了产能；本实用新型也改善了药液使用初期由于硅酸盐过少导致的反应活性低的问题，使整个反应过程 中药液保持较高的活性。 

附图说明

下面结合附图和实施方式对本实用新型进一步说明。 

图1是本实用新型的结构示意图。 

具体实施方式 

现在结合附图对本实用新型作进一步的说明。这些附图均为简化的示意图仅以示意方式说明本实用新型的基本结构，因此其仅显示与本实用新型有关的构成。 

一种TANK液槽，具有密封槽体，在槽体上有HF加液管5、HNO₃加液管6和加水管7，在HF加液管5、HNO₃加液管6和加水管7设置有单向阀，在槽体的底部设置有排液管2，在排液管2设置有支管1，在排液管2和支管1设置有单向阀，槽体底部还设置有溢流管3，溢流管3设置有单向阀，在槽体的侧壁上设置有液位传感器10，在槽体内设置有抽液管9和回液管8，抽液管9和回液管8上设置有泵，在槽体顶部有溢液管4。 

上述实施方式只为说明本实用新型的技术构思及特点，其目的在于让熟悉此项技术的人士能够了解本实用新型的内容并加以实施，并不能以此限制本实用新型的保护范围，凡根据本实用新型精神实质所作的等效变化或修饰，都应涵盖在本实用新型的保护范围内。