[发明专利]溶胶-凝胶制备钽酸钠薄膜的方法有效
| 申请号： | 201110449901.5 | 申请日： | 2011-12-19 |
| 公开（公告）号： | CN102557474A | 公开（公告）日： | 2012-07-11 |
| 发明（设计）人： | 谈国强;章薇 | 申请（专利权）人： | 陕西科技大学 |
| 主分类号： | C03C17/22 | 分类号： | C03C17/22 |
| 代理公司： | 西安通大专利代理有限责任公司 61200 | 代理人： | 田洲 |
| 地址： | 710021 *** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 溶胶 凝胶 制备 钽酸钠 薄膜 方法 | ||
1.一种溶胶-凝胶制备钽酸钠薄膜的方法，其特征在于，包括以下步骤：
步骤1：取TaCl5、柠檬酸加无水乙醇配制成溶液A，其中TaCl5浓度为0.057mol/L，柠檬酸浓度为0.286mol/L；取乙酸钠加水配制成溶液B，乙酸钠浓度为0.4-1.6mol/L；
步骤2：对步骤1所得到的溶液A和溶液B进行磁力搅拌，使TaCl5、乙酸钠、柠檬酸完全溶解，然后将溶液A、B按体积比7∶1混合，形成NaTaO3前驱液C；
步骤3：选用玻璃基片为基底，将切割好的玻璃基片清洗干净后吹干，然后将洁净的玻璃基片置于紫外光照射仪中照射；
步骤4：将经步骤3处理过的玻璃基片竖直置于配置好的前驱液C中，采用提拉法制备薄膜，提拉速度为3cm/min，提拉过程结束后，将样品薄膜置于60℃下干燥；
步骤5：将步骤4干燥后的薄膜置于热处理炉中以3℃/min的速率升温，在300℃下保温30min，在550-650℃下保温1h，即得到NaTaO3薄膜。
2.根据权利要求一种溶胶-凝胶制备钽酸钠薄膜的方法，其特征在于：步骤2中的溶液A在50℃下磁力搅拌，溶液B进行常温下磁力搅拌。
3.据权利要求一种溶胶-凝胶制备钽酸钠薄膜的方法，其特征在于：步骤3中切割好的玻璃基片依次用丙酮、无水乙醇及蒸馏水各超声清洗10min。
4.据权利要求一种溶胶-凝胶制备钽酸钠薄膜的方法，其特征在于：玻璃基片在紫外光照射仪中照射的时间为20min。
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