[发明专利]石墨烯、石墨烯制备方法和应用有效
申请号: | 201110361091.8 | 申请日: | 2011-11-15 |
公开(公告)号: | CN103101906A | 公开(公告)日: | 2013-05-15 |
发明(设计)人: | 周明杰;袁新生;王要兵 | 申请(专利权)人: | 海洋王照明科技股份有限公司;深圳市海洋王照明技术有限公司 |
主分类号: | C01B31/04 | 分类号: | C01B31/04 |
代理公司: | 深圳中一专利商标事务所 44237 | 代理人: | 张全文 |
地址: | 518052 广东省深*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 石墨 制备 方法 应用 | ||
技术领域
本发明属于新材料技术领域,尤其涉及一种石墨烯制备方法和应用。
背景技术
石墨烯是2004年英国曼彻斯特大学的安德烈·K·海姆(Andre K.Geim)等发现的一种二维碳原子晶体,为单层或多层的极薄的碳材料。由于其独特的结构和光电性质使其成为碳材料、纳米技术、凝聚态物理和功能材料等领域的研究热点。目前制备石墨烯的方法主要有石墨剥裂、化学氧化还原法、超声剥离法等。然而这些方法制备出的石墨烯的形状基本上都是不规则的,且层数无法控制,而利用化学氧化还原法制备的石墨烯容易发生团聚,使其比表面积大大减小。
发明内容
有鉴于此,本发明提供一种石墨烯制备方法,解决现有石墨烯制备方法中所制备的石墨烯比表面积小的技术问题;及所制备的石墨烯及应用。
本发明是这样实现的,
一种石墨烯制备方法,包括如下步骤:
将起催化作用的衬底放入反应室中,抽真空;
将该衬底的温度调整至500℃~1300℃,通入惰性的气体,保持1分钟~60分钟,使反应室中保持无氧气氛;
调整该反应室内热丝温度为1000℃~1500℃;
向该反应室内通入10sccm~200sccm的有机气体进行反应1~300分钟,同时调整该惰性的气体的通入速度按10sccm/分钟~50sccm/分钟变化,得到石墨烯。
以及,
一种石墨烯,该石墨烯采用如下步骤制得:
将起催化作用的衬底放入反应室中,抽真空;
将该衬底的温度调整至500℃~1300℃,通入惰性的气体,保持1分钟~60分钟,使反应室中保持无氧气氛;
调整该反应室内热丝温度为1000℃~1500℃;
向该反应室中通入10sccm~200sccm的有机气体进行反应1~300分钟,同时调整该惰性的气体的通入速度按10sccm/分钟~50sccm/分钟变化,得到该石墨烯。
本发明进一步提供上述石墨烯在效应晶体管、电极材料、液晶显示材料或传感器中的应用。
本发明石墨烯制备方法,通过制备石墨烯步骤中改变惰性的气体的通入速度,使得所制备的石墨烯比表面积大大提升。本发明石墨烯,具有较大的比表皱褶和空洞,具有较大的表面积。
附图说明
图1是本发明实施例石墨烯制备方法流程图;
图2是本发明实施例所制备的石墨烯SEM图。
具体实施方式
为了使本发明的目的、技术方案及优点更加清楚明白,以下结合附图及实施例,对本发明进行进一步详细说明。应当理解,此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本发明,并不用于限定本发明。
请参阅图1,图1显示本发明实施例石墨烯制备方法流程图,包括如下步骤:
步骤S01,将反应室抽真空:
将起催化作用的衬底放入反应室中,抽真空;
步骤S02,向反应室通入惰性的气体:
将该衬底的温度调整至500℃~1300℃,通入惰性的气体,保持1分钟~60分钟,使反应室中保持无氧气氛;
步骤S03,调整热丝温度:
调整该反应室内热丝温度为1000℃~1500℃;
步骤S04,制备石墨烯
向该反应室中通入10sccm~200sccm的有机气体进行反应1~300分钟,同时调整所述惰性的气体的通入速度按10sccm/分钟~50sccm/分钟变化,得到石墨烯。
上述实施例石墨烯制备方法所使用的设备为化学气相沉积装置,该化学气相沉积装置内设置有热丝加热器,该热丝加热器的功率在5KW以上,热丝具体可为:钽丝、钨丝、钼丝等,温度可从室温至2200℃调节,具体没有限制。该衬底没有限制,例如,铜箔、铁箔或镍箔等。
具体地,步骤S01中,将衬底放入化学气相沉积装置的反应室中,依次通过机械泵、罗茨泵及分子泵抽真空,逐级将反应室的真空度降低至10-3Pa以下,维持该真空度1~30分钟。该衬底既是石墨烯生长的支撑材料,还是石墨烯制备的催化剂,无需额外制备催化剂,简化生长工艺,且反应完成后石墨烯表面不会带上金属颗粒,无需进行后续提纯。
具体地,步骤S02中,关闭分子泵并加热,将衬底温度调整至500℃~1300℃,温度达到后,向反应室中气流量为10sccm~200sccm的惰性的气体;该惰性的气体没有限制,例如,氮气、氦气、氩气、氢气等,保持1分钟~60分钟,使反应室中保持无氧气氛。
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