[实用新型]偏振横向剪切干涉仪

权利要求书

1.一种偏振横向剪切干涉仪，特征在于由偏振分束器(1)、双折射晶体平板(2)、偏振方向旋转组件(3)、变倍镜组(4)、图像传感器(5)和计算机(6)组成，其位置关系是：沿入射光束行进的方向依次为所述的偏振分束器(1)、双折射晶体平板(2)和偏振方向旋转组件(3)，在所述的偏振分束器(1)沿入射光束行进的反方向的反射光路中依次设置所述的变倍镜组(4)和图像传感器(5)，该图像传感器(5)的输出端与所述的计算机(6)相连，所述双折射晶体平板(2)的主平面与所述的偏振分束器(1)出射的线偏振光的偏振方向成45°角，所述偏振方向旋转组件(3)是后表面镀有高反射膜(32)的四分之一波片(31)，或是四分之一波片(31)和平面反射镜的组合体，所述四分之一波片(31)的快轴方向与所述双折射晶体平板(2)的主平面成45°角。

2.根据权利要求1所述的偏振横向剪切干涉仪，其特征在于所述的偏振分束器是镀有偏振分光膜的立方分束棱镜，或具有分束功能的双折射棱镜。

3.根据权利要求1所述的偏振横向剪切干涉仪，其特征在于所述双折射晶体平板(2)具有使其在主截面内旋转的旋转机构，该双折射晶体平板(2)是光轴平行于其表面的单轴晶体平板，或光轴垂直于其表面的单轴晶体平板。