[发明专利]一种复杂形状散热器元件的制备方法

权利要求书

1.一种复杂形状的散热器元件的制备方法，其特征在于以金属或陶瓷粉末为原料，以粉末微注射成形技术制备具有复杂形状的散热器元件；所涉及金属粉末为铜粉、铜合金粉、铁粉、镍粉、铁镍合金粉、钴粉、可伐合金粉末、钼粉、钼合金粉、钨粉、钨合金粉、铝粉、铝合金粉，陶瓷粉末为氧化铍粉、氮化硼粉、氮化铝粉、碳化硅粉末，粉末的平均粒度不大于20微米；有机物混合物为热塑性有机混合物体系，包括工业石蜡30～70％wt，高密度聚乙烯10～30％wt，低密度聚丙烯10～30％wt，硬脂酸0～15％wt；金属或陶瓷粉末与有机物混合物混炼的温度为110～145℃，时间为40～90mins，得到金属或陶瓷粉末均匀分布的喂料；采用粉末微注射成形技术获得具有微结构的散热器元器件的预成形坯，通过基于有机物在溶剂中的溶解以及加热时的热解机理进行脱脂工序，除去有机物，然后通过烧结作用，得到具有复杂形状的散热器元件。

2.按照权利要求1所述的一种复杂形状的散热器元件的制备方法，其特征在于：当模腔的微小结构的横截面最小尺寸不小于0.4mm时，采用微细电火花技术加工模腔，模腔的材料选择模具钢；当模腔的微小结构的横截面最小尺寸小于0.4mm时，采用感应耦合等离子体刻蚀技术加工模腔，模腔的材料为单晶硅。

3.按照权利要求1所述的一种复杂形状的散热器元件的制备方法，其特征在于：权利要求1所述的金属或陶瓷粉末喂料，在注射温度为160～175℃，注射压力为30～100MPa的条件下注射，得到散热器元件的注射坯体。

4.按照权利要求1所述的一种复杂形状的散热器元件的制备方法，其特征在于：脱脂过程是经三氯乙烯或乙醇溶液的溶剂脱脂，烘干后进行热脱脂，在溶剂脱脂和热脱脂的共同作用下，去除有机物混合物。

5.按照权利要求1所述的一种复杂形状的散热器元件的制备方法，其特征在于：所述的脱脂坯体在700～850℃预烧结半小时，得到多孔的预成形坯体，然后在流动氨分解气体中，以1～1.5℃/min的速度升至1300-1350℃，保温90-120min。

6.按照权利要求1所述的一种复杂形状的散热器元件的制备方法，其特征在于：所述的脱脂坯体在微波烧结炉中，以流动氢气为保护气氛，碳化硅粉末为烧结介质，或在真空状态下，以25℃/min的升温速率加热到850-1750℃，保温20min至6小时。