[实用新型]多种化学品药液分离、重复使用装置

权利要求书

1、一种多种化学品药液分离、重复使用装置，其特征在于：该装置主要设有药液杯、旋转马达、导向电机、回收液罐、再生液罐，导向电机与一段管路连接，管路上端与药液杯连通，管路下端通过导向电机旋转不同的方向与下面的至少一个收集杯口中心对应；回收液罐与再生液罐的一个入口通过管路相连，再生液罐的出口插设有管路，该管路另一端至药液杯上方，与晶片对应。

2、按照权利要求1所述的多种化学品药液分离、重复使用装置，其特征在于：还包括配比液罐、补酸控制器，再生液罐的另一入口通过管路与配比液罐相连，在该管路上装有泵；补酸控制器的输入端通过传感器置于回收液罐中，补酸控制器的输出端连接所述的泵，控制泵的开启或关闭。

3、按照权利要求1所述的多种化学品药液分离、重复使用装置，其特征在于：在回收液罐与再生液罐的入口相连的管路上安装有泵。

4、按照权利要求1所述的多种化学品药液分离、重复使用装置，其特征在于：在再生液罐出口插设的管路上安装有泵。

5、按照权利要求1所述的多种化学品药液分离、重复使用装置，其特征在于：在回收液罐与再生液罐的入口相连的管路上安装排污管，在该排污管上安装排废阀。

6、按照权利要求1所述的多种化学品药液分离、重复使用装置，其特征在于：收集杯为三个，第一个收集杯与一个回收液罐连通，第二个收集杯与另一个回收液罐连通，第三个收集杯连接排污管。

7、按照权利要求1所述的多种化学品药液分离、重复使用装置，其特征在于：药液杯的内侧设置旋转马达，承片台安装于旋转马达的轴上，晶片放置在承片台上。