[实用新型]多晶成长炉连续加料器有效
申请号: | 200820131981.3 | 申请日: | 2008-08-22 |
公开(公告)号: | CN201372325Y | 公开(公告)日: | 2009-12-30 |
发明(设计)人: | 徐忠龙;谢兆坤;徐文庆;何思桦 | 申请(专利权)人: | 昆山中辰矽晶有限公司 |
主分类号: | C30B28/06 | 分类号: | C30B28/06 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人: | 周国城 |
地址: | 215300江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 多晶 成长 连续 料器 | ||
1、一种多晶成长炉连续加料器,其装设于一多晶成长炉上,其特征在于,该多晶成长炉连续加料器包含有:
一外围盒体,其是与该多晶成长炉连通;
一填料筒,其是容设在该外围盒体内,该填料筒下方具一开口,该填料筒的外侧壁设有一定位槽;
一料止塞,其是容设于该外围盒体内且用以开闭该开口;
一升降机构,其是用以带动该填料筒与该料止塞上下移动;
一隔离阀,其是用以开关该外围盒体与该多晶成长炉机台间的通道;以及
一定位块,其是位于该外围盒体的内侧壁上且邻近该隔离阀,该定位块是与该定位槽相卡合,以限定该填料筒移动范围。
2、如权利要求1所述的多晶成长炉连续加料器,其特征在于,该升降机构为升降油压机构。
3、如权利要求1所述的多晶成长炉连续加料器,其特征在于,该外围盒体的材质为石英。
4、如权利要求1所述的多晶成长炉连续加料器,其特征在于,该填料筒供填入硅原料。
5、如权利要求1所述的多晶成长炉连续加料器,其特征在于,该填料筒与该料止塞间相互配合,以达到多次下料。
6、如权利要求1所述的多晶成长炉连续加料器,其特征在于,该外围盒体可开合。
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