[实用新型]多晶成长炉连续加料器有效

专利信息
申请号: 200820131981.3 申请日: 2008-08-22
公开(公告)号: CN201372325Y 公开(公告)日: 2009-12-30
发明(设计)人: 徐忠龙;谢兆坤;徐文庆;何思桦 申请(专利权)人: 昆山中辰矽晶有限公司
主分类号: C30B28/06 分类号: C30B28/06
代理公司: 中科专利商标代理有限责任公司 代理人: 周国城
地址: 215300江苏省*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 多晶 成长 连续 料器
【权利要求书】:

1、一种多晶成长炉连续加料器,其装设于一多晶成长炉上,其特征在于,该多晶成长炉连续加料器包含有:

一外围盒体,其是与该多晶成长炉连通;

一填料筒,其是容设在该外围盒体内,该填料筒下方具一开口,该填料筒的外侧壁设有一定位槽;

一料止塞,其是容设于该外围盒体内且用以开闭该开口;

一升降机构,其是用以带动该填料筒与该料止塞上下移动;

一隔离阀,其是用以开关该外围盒体与该多晶成长炉机台间的通道;以及

一定位块,其是位于该外围盒体的内侧壁上且邻近该隔离阀,该定位块是与该定位槽相卡合,以限定该填料筒移动范围。

2、如权利要求1所述的多晶成长炉连续加料器,其特征在于,该升降机构为升降油压机构。

3、如权利要求1所述的多晶成长炉连续加料器,其特征在于,该外围盒体的材质为石英。

4、如权利要求1所述的多晶成长炉连续加料器,其特征在于,该填料筒供填入硅原料。

5、如权利要求1所述的多晶成长炉连续加料器,其特征在于,该填料筒与该料止塞间相互配合,以达到多次下料。

6、如权利要求1所述的多晶成长炉连续加料器,其特征在于,该外围盒体可开合。

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