[发明专利]温度受控体的温度控制方法及其装置和高低温处理系统

权利要求书

1.一种温度受控体的温度控制装置，其特征在于：

通过控制温度用液体和温度受控体之间的热交换控制所述温度受控体的温度，

所述温度受控体的温度控制装置具备：

加压装置，对所述控制温度用液体实施加压使其沸点上升；

加热装置，加热所述控制温度用液体使其温度上升至在常压下的沸点以上的温度；

热交换装置，使温度上升至所述控制温度用液体在常压下的沸点以上的该控制温度用液体与所述温度受控体之间进行热交换。

2.一种高低温处理系统，其特征在于：

在处理部中在高温领域或者低温领域对被处理体实施规定的处理时，通过用一种冷却液在所述处理部中循环使所述冷却液与所述被处理体之间进行热交换，从而控制所述被处理体的温度，

所述高低温处理系统具备：

加压·加热装置，使所述冷却液的沸点上升且对沸点上升后的所述冷却液加热并使其在所述处理部中循环；和

冷却装置，使所述冷却液冷却并使其在所述处理部中循环；

当在所述高温领域对所述被处理体进行处理时使用所述加压·加热装置，当在所述低温领域对所述被处理体进行处理时使用所述冷却装置。

3.如权利要求2所述的高低温处理系统，其特征在于：

所述的加压·加热装置具有：存储所述冷却液的容器；对所述容器内加压的加压装置；配置在从所述容器到所述处理部的循环通路上且对所述冷却液加热的加热装置。

4.如权利要求3所述的高低温处理系统，其特征在于：

所述加压·加热装置具有：配置在从所述处理部到所述容器的所述循环通路上且对所述冷却液进行冷却的冷却装置。

5.如权利要求3或4所述的高低温处理系统，其特征在于：

所述加压装置是通过配管向所述容器内供给加压气体的气体供给源。

6.如权利要求5所述的高低温处理系统，其特征在于：

在所述配管上设置有所述加压气体的压力控制装置。

7.如权利要求6所述的高低温处理系统，其特征在于：

对所述加压气体的压力进行检测的压力检测装置设置在所述配管上的所述压力控制装置的上游侧。

8.如权力要求3～7的任意一项所述的高低温处理系统，其特征在于：

所述容器具有：检测所述容器内的压力的第二压力检测装置、和将所述容器内的压力维持在规定的设定值的安全阀。

9.如权力要求2～8的任意一项所述的高低温处理系统，其特征在于：

所述循环通路在所述处理部的出入口侧分别分支为向所述冷却装置侧的通路和向所述加压·加热装置侧的通路，在各个分支路上设置有相互进行相反动作的第一、第二开关阀，在所述处理部的入口侧的各分支路的第一开关阀分别是以将流入口和流出口逆向的方式配置的。

10.如权力要求2～9的任意一项所述的高低温处理系统，其特征在于：

在所述处理部的入口侧的循环通路上设置有温度检测装置以及第三压力检测装置。

11.一种温度受控体的温度控制方法，其特征在于：

通过控制温度用液体和温度受控体之间的热交换控制所述温度受控体的温度，

具有：

对所述控制温度用液体实施加压使其沸点上升的工序；

使所述控制温度用液体的温度上升至其在常压下的沸点以上的温度的工序；

使温度上升至在常压下的沸点以上的温度后的所述控制温度用液体与所述温度受控体之间发生热交换的工序。

12.如权力要求11所述的温度受控体的温度控制方法，其特征在于：

给存储所述控制温度用液体的容器内供给加压气体对所述控制温度用液体加压。

13.如权力要求11或12所述的温度受控体的温度控制方法，其特征在于：

在对所述温度受控体实施规定处理的处理部中进行所述热交换。

14.如权力要求12或13所述的温度受控体的温度控制方法，其特征在于：

使所述控制温度用液体在所述容器和所述处理部之间循环。