H01L21-70_.由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造

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主分类

分类号	描述

H	电学

H01	基本电气元件		查看

H01L	半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件		查看

H01L21-00	专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备		查看

H01L21-70	.由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造		查看

	H01L21-71	..限定在组H01L 21／70中的器件的特殊部件的制造	查看

	H01L21-77	..在公共衬底中或上面形成的由许多固态元件或集成电路组成的器件的制造或处理	查看

	H01L21-98	..由在一共用基片内或其上形成的多个固态组元组成的器件的组装；集成电路器件的组装	查看

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