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- [发明专利]位置测量装置-CN202010651930.9在审
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T.贝克;J.米特莱特纳;W.普克尔
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约翰内斯·海德汉博士有限公司
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2020-07-08
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2021-01-08
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G01B21/04
- 为此,承载本体(1)具有至少三个在进给方向上延伸的表面(O1、O2、O3),这些表面中的每一个承载第一测量刻度(T11‑T13)和第二测量刻度(T21‑T23)。第一测量刻度(T11‑T13)和第二测量刻度(T21‑T23)分别具有刻度线的序列,其中第一测量刻度(T11‑T13)的刻度线相对于第二测量刻度(T21‑T23)的刻度线倾斜。为了扫描测量刻度(T11‑T13、T21‑T23),设置有多个扫描单元(A11‑A13、A21‑A23),其相对于测量刻度(T11‑T13、T21‑T26)如此布置,从而产生共同的热中性点(P)。
- 位置测量装置
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