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[发明专利]一种用于MOEMS扫描微镜的光学偏转角测试方法-CN202211515348.5在审
发明人：周凡;田波;孙丽丽;周玉柱;赵晓雷 -专利权人：华东光电集成器件研究所
申请日： 2022-11-30 - 公布日： 2023-03-31 - 主分类号： G01M11/02 文献下载
摘要：本发明公开一种用于MOEMS扫描微镜的光学偏转角测试方法，包括以下步骤：将不施加驱动信号的MOEMS扫描微镜放置在载台上，将其调整定位并固定，使MOEMS扫描微镜镜面处于水平状态，MOEMS扫描微镜定位位置对应于PSD位置模块标定的0°点；给MOEMS扫描微镜施加驱动信号，使其发生顺逆方向往复偏转；激光器射出光束照射在MOEMS扫描微镜上，经过反射后，由PSD位置模块接收反射的激光，并识别受光点位置，通过数据处理转换得到MOEMS扫描微镜的顺逆光学偏转角。本发明有效测量相对于MOEMS扫描微镜的镜面处于水平状态时顺逆偏转的具体角度，准确评估其镜面偏转情况，同时，还可以快速准确的定位MOEMS扫描微镜，提高整个测试效率。
一种用于 moems 扫描光学偏转测试方法

[发明专利]使用MOEMS可动闪耀光栅阵列的光谱仪-CN200910190980.5无效
发明人：张智海;莫祥霞;王伟;郭媛君 -专利权人：重庆大学
申请日： 2009-09-25 - 公布日： 2010-03-10 - 主分类号： G01J3/28 文献下载
摘要：本发明提出了一种体积小、结构简单、成本低廉的使用MOEMS可动闪耀光栅阵列的光谱仪；包括光源；准直装置，使来自光源的光束平行；光栅或棱镜，接收光束并使光束色散；成像装置，将色散光束成像到MOEMS可动闪耀光栅阵列上，并将MOEMS可动闪耀光栅阵列衍射得光束成像到探测器；MOEMS可动闪耀光栅阵列及其驱动电路，用于衍射色散光束；所述MOEMS可动闪耀光栅阵列包括多个并列的MOEMS可动闪耀光栅，所述多个MOEMS可动闪耀光栅可在驱动电路的控制下分组进行偏转动作
使用 moems 闪耀光栅阵列光谱仪

[发明专利]MOEMS扫描光栅微镜系统-CN201510904374.0有效
发明人：温志渝;周颖;刘海涛 -专利权人：重庆大学
申请日： 2015-12-09 - 公布日： 2016-02-03 - 主分类号： G02B26/08 文献下载
摘要：一种MOEMS扫描光栅微镜系统，包括MOEMS扫描光栅微镜和后端闭环控制电路两部分。MOEMS扫描光栅微镜采用正方形设计，主要由扫描光栅、扭转梁、固定边框、电磁式驱动器和磁电式角度传感器通过MEMS加工技术一体化三维集成于单晶硅片。磁电式角度传感器采用正方形、表层镀金多圈渐开式设计。MOEMS扫描光栅微镜与磁电式角度传感器同时采用正方形设计可以保证在MOEMS扫描光栅微镜扫描过程中产生实时、动态的最大角度输出信号。同时电磁式驱动器和磁电式角度传感器的最佳匝数比设计，可以在低电压驱动MOEMS扫描光栅微镜扫描的基础上实现角度输出信号的最大化。后端闭环控制电路可以实现对MOEMS扫描光栅微镜的精确控制。
moems 扫描光栅系统

[发明专利]MOEMS扫描光栅微镜控制系统-CN201810049844.3有效
发明人：温志渝;唐杰;余龙华 -专利权人：重庆大学
申请日： 2018-01-18 - 公布日： 2020-08-04 - 主分类号： G05B19/042 文献下载
摘要：本发明提出一种MOEMS扫描光栅微镜的控制系统。它主要由传感器信号获取模块、数字信号处理闭环控制模块、扫描光栅微镜驱动器组成，通过数字式控制方法实现对MOEMS扫描光栅微镜的闭环控制，基于FPGA开发放大器自适应控制调节、微镜运动姿态分析、传感器信号频谱分析、滑模PID自校准、DDS驱动信号发生器、外存储控制器的知识产权核，实现了MOEMS扫描光栅微镜的数字式控制，具有很高的灵活性、可移植性，集成度高的特点。设计放大电路、信号转换器、滤波器，完成MOEMS扫描光栅微镜的高精度控制，具有优良的抗干扰特性，提高了系统稳定性，可适用于电磁式、压电式等不同驱动方式的MOEMS扫描光栅微镜中。
moems 扫描光栅控制系统

[发明专利]集成角度传感器的大面积压电驱动微镜-CN200910104403.X无效
发明人：温志渝;罗彪;温中泉;贺学锋 -专利权人：重庆大学
申请日： 2009-07-22 - 公布日： 2009-12-30 - 主分类号： G02B26/08 文献下载
摘要：本发明提出一种集成角度传感器的压电驱动扫描微镜，它包括集成在同一基片材料上的MOEMS微镜反射镜面、MOEMS微镜驱动器、MOEMS微镜角度传感器三部分。微镜驱动器由多根压电梁并联构成，微镜驱动器对称分布在MOEMS微镜反射镜面的两边，通过基片材料形成的梁结构与MOEMS微镜反射镜面连成一体，微镜镜面进行驱动和支撑；微镜角度传感器在微镜反射镜面和微镜驱动器连接位置处
集成角度传感器大面积压电驱动

[发明专利]一种高精度光声光谱检测装置-CN202310620909.6在审
发明人：侯昌伦;于莹 -专利权人：杭州电子科技大学
申请日： 2023-05-30 - 公布日： 2023-09-15 - 主分类号： G01N21/17 文献下载
摘要：本发明公开了一种高精度光声光谱检测装置，包括光源、光声腔、MOEMS微音器、主控板和光探测器；其中，光声腔用于放置待检测物质，光源发射的激光入射到光声腔中，用于使待检测物质产生光声信号；光探测器用于检测和反馈光源的波动；MOEMS微音器设置在光声腔内，通过检测MOEMS微音器中微结构梁的振动幅度实现光声信号的频率检测；MOEMS微音器通过锁相放大电路与主控板连接，光源通过光源驱动电路与主控板连接，所述的光探测器与主控板连接
一种高精度声光检测装置

[发明专利]基于MOEMS器件的双联动仿人眼激光扫描成像系统-CN201510453995.1有效
发明人：曹杰;郝群;程阳;穆嘉星;王鹏;程杭林 -专利权人：北京理工大学
申请日： 2015-07-29 - 公布日： 2017-10-31 - 主分类号： G01S17/89 文献下载
摘要：本发明属于激光三维成像领域，特别是涉及一种基于MOEMS器件的双联动仿人眼扫描激光三维成像系统。该系统采用双联动MOEMS实现仿人眼视网膜结构的扫描方式，同时根据MOEMS器件特性，通过算法控制MOEMS器件驱动电压，形成仿人眼的变分辨率扫描轨迹，实现对目标可变分辨率成像。
基于 moems 器件联动仿人眼激光扫描成像系统

[发明专利]一种自适应调谐红外多光谱探测微系统-CN201710211973.3有效
发明人：张东亮;胡小燕;刘大川;林霄;王伟平;丁子瑜;刘杰;汪志强 -专利权人：中国电子科技集团公司信息科学研究院
申请日： 2017-04-01 - 公布日： 2020-05-26 - 主分类号： G01J3/28 文献下载
摘要：本发明公开了一种自适应调谐红外多光谱探测微系统，包括：可调谐MOEMS滤光片，将输入的宽谱信号光进行通带滤光，输出窄带信号光；红外探测器，接收窄带信号光，通过光电转换输出电流信号；探测器读出电路，将红外探测器输出的电流信号进行处理并输出数字电压电信号；图像信号处理与自适应谱段选择算法处理模块，对探测器读出电路输出的数字电压信号进行处理，并加载自适应谱段选择算法，输出可调谐MOEMS滤光片数字电压控制信号、经过自适应谱段选择算法选取后获得的最佳信噪比谱段的图像信号和经过自适应算法处理得到运动目标的速度、方位信息；其中数字电压控制信号被反馈到可调谐MOEMS滤光片，实现对可调谐MOEMS滤光片光通带中心波长的调节。
一种自适应调谐红外光谱探测系统

[发明专利]一种带有状态监测的MOEMS引信安解装置-CN202111364119.3有效
发明人：曹云;孔啸宇;朱恒伯;刘浩田;席占稳;聂伟荣 -专利权人：南京理工大学
申请日： 2021-11-17 - 公布日： 2023-07-18 - 主分类号： F42C15/40 文献下载
摘要：本发明公开了一种带有状态监测的MOEMS引信安解装置，包括基底层、设置在基底层上的结构层和光纤组；结构层通过支撑锚点固定在基底层上；光纤组设有输入端和输出端；所述输入端和输出端之间设有错开位和对准位，且保险状态下处于错开位本发明提高了MOEMS引信安解系统在非待发状态下的安全性和设备整体可靠性，并可在非可视环境下对MOEMS引信安解装置进行黑盒测试，丰富了MOEMS引信安解系统的测试手段。
一种带有状态监测 moems 引信装置

[发明专利]一种MOEMS光开关抗高过载结构的网格设计方法-CN202110511479.5有效
发明人：代俊;张崇飞;谢晋;王齐伟;熊壮;唐彬;刘莹;邵瑞文;董伟康 -专利权人：北京理工大学
申请日： 2021-05-11 - 公布日： 2022-07-15 - 主分类号： G02B6/35 文献下载
摘要：本发明涉及一种MOEMS光开关抗高过载结构的网格设计方法。包括以下内容：MOEMS光开关由器件层(包括输入光纤、输出光纤、可动式微镜、电热保险机构和电热驱动机构)、埋氧层和衬底层组成。衬底层被设计成镂空的网格状结构，在不影响器件层可动式微镜运动的前提下为器件层提供一种限位止挡结构，当MOEMS光开关受到垂直于器件层表面的高过载冲击时，衬底层的网格状结构可以限制可动式微镜、电热保险机构和电热驱动机构该方向上的运动本发明要解决的技术问题为：提高MOEMS光开关的抗高过载能力，具有以下优点：(1)抗过载能力强；(2)结构尺寸小；(3)工作稳定、可靠性好。
一种 moems 开关过载结构网格设计方法

[发明专利]一种基于微反射镜的非接触式三维人体扫描仪-CN201110245738.0有效
发明人：许武军;范红;陶梦月;倪虎生;李媛媛 -专利权人：东华大学
申请日： 2011-08-25 - 公布日： 2012-02-15 - 主分类号： A41H1/00 文献下载
摘要：本发明提供了一种基于微反射镜的非接触式三维人体测量装置，其特征在于：包括呈正方形分布的四根立柱，四根立柱分别位于正方形的四个顶点处，在正方形对角线的交点与测量台的中心重叠，在每根立柱上安装有一台线激光发生器、一个反射式MOEMS微型扫描镜和两台工业相机，反射式MOEMS微型扫描镜的中心线落在被测人体的中间位置，并且每台工业相机的视场均能覆盖被测人体，每根立柱上的两台工业相机相对反射式MOEMS微型扫描镜上下以特定角度对称放置，线激光发生器置于反射式MOEMS微型扫描镜与位于其上方的工业相机之间。
一种基于反射接触三维人体扫描仪

[发明专利]一种基于电热驱动式微镜的硅基MOEMS光开关装置-CN201910287022.3有效
发明人：代俊;李凯权;吴娇娇;常辉;熊壮;谢晋;隋丽;石庚辰 -专利权人：北京理工大学
申请日： 2019-04-11 - 公布日： 2020-11-27 - 主分类号： G02B6/35 文献下载
摘要：本发明公开一种基于电热驱动式微镜的硅基MOEMS光开关装置，属于引信全电子安全系统领域。本发明公开一种基于电热驱动式微镜的硅基MOEMS光开关装置，主要由输入光纤、输出光纤、可动式微镜、电热保险机构和电热驱动机构组成。MOEMS光开关的通和断是通过固定式光纤和可动式微镜组成的反射式光路的通和断实现，可动式微镜的运动通过电热驱动器机构实现，微镜上设计有保险槽和定位槽，利用电热保险机构卡入保险槽和定位槽实现对微镜的保险和定位，确保MOEMS光开关的通或断状态。
一种基于电热驱动式微 moems 开关装置

[发明专利]微镜阵列可编程菲涅尔波带片-CN201510175464.0在审
发明人：张智海;路远;张聪;张文凯 -专利权人：重庆大学
申请日： 2015-04-15 - 公布日： 2015-07-15 - 主分类号： G02B5/18 文献下载
摘要：本发明涉及MOEMS光调制器技术领域，更具体的说，本发明涉及一种MOEMS微镜阵列可编程菲涅尔波带片:利用MOEMS微镜对光的振幅调制能力和阵列调制器对光场的二维空间调制能力，通过编程控制MEOMS微镜阵列中特定分组单元的开关
阵列可编程菲涅尔波带片

[发明专利]基于MOEMS扫描镜的激光测距方法及激光雷达系统-CN202210693385.9在审
发明人：王海伟 -专利权人：英孚莱（无锡）智能传感技术有限公司
申请日： 2022-06-17 - 公布日： 2022-09-20 - 主分类号： G01S7/481 文献下载
摘要：本发明公开了一种激光雷达系统，其原理为：激光器高重频发射激光，MOEMS二维微扫描镜高速扫描，激光照射MOEMS二维微扫描镜扫描激光覆盖整个发射视场，激光照射到目标后，回波由接收光学系统被面阵探测器探测控制系统的MOEMS驱动时序与面阵探测器选通输出相同步，在不同的扫描位置选通相对应的探测单元输出回波信号，其余单元关闭不输出，这样有效降低了需要处理的数据量，抑制了噪声。
基于 moems 扫描激光测距方法激光雷达系统

[实用新型]一种基于MOEMS光开关装置的激光起爆控制系统-CN202221996410.2有效
发明人：代俊;曹骏;谢晋;何涛;熊壮;邵瑞文;华泽;张德 -专利权人：北京理工大学
申请日： 2022-08-01 - 公布日： 2023-03-03 - 主分类号： F42C13/02 文献下载
摘要：本发明公开一种基于MOEMS光开关装置的激光起爆控制系统，包括控制电路、磁阻传感器、MOEMS光开关装置和激光起爆装置，MOEMS光开关装置上设计有输入光纤、输出光纤、可动式微镜、两个电热保险机构、电热驱动机构
一种基于 moems 开关装置激光起爆控制系统

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