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[发明专利] 基板处理装置 -CN201280009995.7 有效
发明人：
浜田智秀 ;木内彻
- 专利权人：
株式会社尼康
申请日：
2012-02-22
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公布日：
2013-11-06
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主分类号：
B65H23/032 文献下载
摘要： 本发明是关于一种基板处理装置(FPA)，具有供应滚筒(5b)、腔室(CB )、以及回收滚筒(6 b)。由树脂膜或不锈钢箔构成的挠性基板(S )，从供应滚筒(5b)被送出，通过腔室(CB )中而被回收滚筒(6 b)卷取。在腔室(CB )中，以转印装置(11)对基板(S )涂布液。供应滚筒(5b)沿往与基板(S )的运送方向(Y)正交的方向(X)延伸的第一轨(3)移动，回收滚筒(6 b)与供应滚筒(5b)同步地沿第二轨(4)移动。伴随这样的移动，基板(S )进出于腔室(CB )。在其他装置(FPA2)中，以电浆装置(12)处理基板(S )。处理 装置
[发明专利] 检查开关机构的两个开关间的通信链路的方法及相应检查装置 -CN201310409972.1 有效
发明人：
何中一 ;杜峰 ;马里奥·丹克特 ;陈维刚 ;卓越
- 专利权人：
西门子公司
申请日：
2013-09-10
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公布日：
2017-12-22
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主分类号：
H02H1/00 文献下载
摘要： 本发明涉及一种检查两个开关（CB 1，CB 3）间的通信链路（K1）的方法，所述开关直接串联，其中，每个开关（CB 1，CB 3）均检查流经所述接触元件的电能是否符合一规定条件，其中，所述上游开关（CB 1）的脱扣单元ETU具有一能源（EQP1），所述能源通过所述通信链路（K1）与所述下游开关（CB 3）的脱扣单元ETU的一开关装置（SO）构成一电路，为产生一形式为电压变化和/或电流变化的信号（S ），利用所述下游开关（CB 3）的开关装置（SO）来闭合或者断开所述电路。为实现一种技术上简单的方法及装置，本发明提出，在不符合条件的情况下在一规定时隙内a）由所述上游开关等待所述信号（S ），b）由所述下游开关产生所述信号（S ），且c）如果所述上游开关（CB 1）在所述时隙内检测到所述信号（S ），则所述通信链路（K1）正常。检查 开关 机构 两个 通信 方法 相应 装置
