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[发明专利]控制电路与体声波滤波器的集成方法和集成结构-CN201811601419.7在审
发明人：秦晓珊 -专利权人：中芯集成电路（宁波）有限公司上海分公司
申请日： 2018-12-26 - 公布日： 2020-07-03 - 主分类号： H03H9/02 文献下载
摘要：一种控制电路与体声波(BAW)滤波器的集成方法和集成结构。该集成方法包括：提供基底，基底形成有控制电路；在基底上形成第一空腔；提供BAW谐振结构，BAW谐振结构的表面设有输入电极、输出电极，BAW谐振结构包括第二空腔；将BAW谐振结构的表面朝向基底，使BAW谐振结构键合于基底且封闭第一空腔本发明在基底上形成控制电路和BAW滤波器所需要的空腔，再将已有BAW谐振结构安装于空腔，实现控制电路对BAW滤波器的控制，从而可以避免现有BAW滤波器作为分立器件集成于PCB导致的电连接工艺复杂、插入损耗大等问题
控制电路声波滤波器集成方法结构

[发明专利]非线性度降低的BAW器件-CN202080032009.4在审
发明人： M·希克;W·艾格纳;T·米特迈尔 -专利权人： RF360欧洲有限责任公司
申请日： 2020-04-23 - 公布日： 2021-12-10 - 主分类号： H03H9/02 文献下载
摘要：一种BAW器件，包括第一BAW谐振器(1)和第二BAW谐振器(2)。第一BAW谐振器和第二BAW谐振器分别包括第一电极(11、21)、第二电极(12、22)和压电层(13、23)，压电层分别布置在所属的BAW谐振器的第一电极与第二电极之间。两个BAW谐振器的第一电极、第二电极和压电层是基本一致构造的。第一导线(24)从第二BAW谐振器的第一电极延伸到BAW器件的第三电元件(3)、并且将第一电极与第三电元件电连接。第一盲导线(14)从第一BAW谐振器的第一电极延伸，与第一电极电连接并且除第一电极之外不与任何其他电元件电连接。第一盲导线被配置为使得其基本上以与第一导线影响第二BAW谐振器的声学和电容特性相同的方式影响第一BAW谐振器的声学和电容特性。
非线性降低 baw 器件

[发明专利]包括具有不同谐振频率的谐振器的BAW谐振器布置及制造方法-CN202080076625.X在审
发明人： M·希克;C·赛兰斯克;W·艾格纳 -专利权人： RF360欧洲有限责任公司
申请日： 2020-10-27 - 公布日： 2022-06-14 - 主分类号： H03H9/17 文献下载
摘要：在至少一个实施例中，电气部件包括：第一BAW谐振器(1)；第二BAW谐振器(2)，所述第二BAW谐振器电连接到所述第一BAW谐振器；以及载体基板(3)，所述载体基板具有其上布置有所述BAW谐振器的顶侧(所述第一和第二BAW谐振器各自包括底部电极(11、21)和顶部电极(12、22)。所述底部电极在每种情况下位于所述载体基板和所述相应顶部电极之间。第一压电层(13)布置在所述第一BAW谐振器的所述顶部电极和所述底部电极之间并且从所述第一BAW谐振器横向突出。所述第二BAW谐振器在横向邻近所述第一BAW谐振器的区域中安装在所述第一压电层上，并且包括在其顶部电极和其底部电极之间的第二压电层(23)。
包括具有不同谐振频率谐振器 baw 布置制造方法

[发明专利]多相振荡器-CN202210853208.2在审
发明人： B·巴赫尔;M·H·佩罗特;B·哈龙;斯瓦米纳坦·桑卡兰 -专利权人：德州仪器公司
申请日： 2022-07-07 - 公布日： 2023-02-03 - 主分类号： H03B5/36 文献下载
摘要：一种振荡器电路包含第一BAW振荡器(302)、第一耦合级(304)、第二BAW振荡器(306)及第二耦合级(308)。所述第一BAW振荡器(302)经配置以在一频率下产生第一输出信号。所述第一耦合级(304)耦合到所述第一BAW振荡器(302)，且经配置以放大所述第一输出信号。所述第二BAW振荡器(306)耦合到所述第一耦合级(304)，且经配置以在所述频率下产生第二输出信号。所述第二耦合级(308)耦合到所述第一BAW振荡器(302)及所述第二BAW振荡器(306)，且经配置以放大所述第二输出信号并驱动所述第一BAW振荡器(302)。
多相振荡器

[发明专利]BAW梯形滤波器的布局设计方法-CN201710408763.3有效
发明人：张大鹏;贾乐;周禄雄;王天雄;胡政东;韩超;王显波;文数文 -专利权人：四川省三台水晶电子有限公司
申请日： 2017-06-02 - 公布日： 2023-06-30 - 主分类号： H03H9/02 文献下载
摘要：本发明公开了BAW梯形滤波器的布局设计方法，包括：根据每个BAWR的有效面积，预设每个BAWR形状；根据BAW梯形滤波器电路结构，排列BAWR；压缩布局，减小BAW梯形滤波器的布局面积；对BAWR切趾、微调或旋转；对BAWR和G‑S‑G焊盘布线；检测布局是否满足设计准则；对BAW梯形滤波器进行声‑电磁联合仿真，检测布局设计结果；本布局设计流程步骤简化，可提高BAW梯形滤波器布局的设计效率，结合设计准则，最大限度地优化BAW梯形滤波器布局面积；其中，设计准则可保证BAW梯形滤波器性能，减少电磁耦合等干扰；对于不同的BAW梯形滤波器布局设计，只需修改设计准则的参数，增强通用性，减少重复劳动。
baw 梯形滤波器布局设计方法

[发明专利]包括高阻抗分流支路的体声波谐振滤波器及其形成方法-CN202180025718.4在审
发明人：索拉布·古普塔;毕志强;金大何;皮纳尔·帕特尔;凯瑟琳·W·戴维斯;埃马德·梅赫迪扎德 -专利权人：阿库斯蒂斯有限公司
申请日： 2021-05-18 - 公布日： 2022-11-18 - 主分类号： H03H9/00 文献下载
摘要：BAW谐振梯形拓扑通带滤波器可以包括多个串联支路，每个串联支路包括BAW串联谐振器。多个分流支路中的每一个可以包括BAW分流谐振器，其中多个串联支路被耦合到多个分流支路以提供BAW谐振梯形拓扑通带滤波器。高阻抗分流支路可以包括串联耦合在一起的多个高阻抗BAW分流谐振器，以为高阻抗分流支路提供大于BAW谐振梯形拓扑通带滤波器中其他分流支路的阻抗。
包括阻抗分流支路声波谐振滤波器及其形成方法

[发明专利]一种基于SAW和BAW的滤波器芯片及其制造工艺-CN202210496625.6在审
发明人：胡孝伟;代文亮;张竞颢;崔云辉;黄志远 -专利权人：上海芯波电子科技有限公司
申请日： 2022-05-09 - 公布日： 2022-07-12 - 主分类号： H03H9/56 文献下载
摘要：本发明适用于MEMS芯片制造工艺领域，提供了一种基于SAW和BAW的滤波器芯片及其制造工艺。一种基于SAW和BAW的滤波器芯片，其特征在于，所述基于SAW和BAW的滤波器芯片包括衬底、BAW模块、SAW模块；所述衬底上设置有引脚；所述BAW模块为多膜层的谐振结构，所述衬底和所述BAW模块之间设置有第一空腔；所述SAW模块包括SAW谐振层，所述SAW谐振层通过第一导线与所述BAW模块连接，所述第一导线通过第二导线与所述引脚连接；所述SAW模块和所述衬底之间设置有支撑柱，所述SAW模块和所述BAW模块之间设置第二空腔本发明设置了一种混合结构滤波器的叠层滤波器芯片，通过搭塔楼的方式将BAW和SAW的核心工作区域混合叠放，可以同时满足不同滤波频段的需求。
一种基于 saw baw 滤波器芯片及其制造工艺

[实用新型]一种基于SAW和BAW的滤波器芯片-CN202221186208.3有效
发明人：胡孝伟;代文亮;张竞颢;崔云辉;黄志远 -专利权人：上海芯波电子科技有限公司
申请日： 2022-05-09 - 公布日： 2022-08-16 - 主分类号： H03H9/54 文献下载
摘要：本实用新型适用于MEMS芯片制造技术领域，提供了一种基于SAW和BAW的滤波器芯片。一种基于SAW和BAW的滤波器芯片，其特征在于，所述基于SAW和BAW的滤波器芯片包括衬底、BAW模块、SAW模块；所述衬底上设置有引脚；所述BAW模块为多膜层的谐振结构，所述衬底和所述BAW模块之间设置有第一空腔；所述SAW模块包括SAW谐振层，所述SAW谐振层通过第一导线与所述BAW模块连接，所述第一导线通过第二导线与所述引脚连接；所述SAW模块和所述衬底之间设置有支撑柱，所述SAW模块和所述BAW模块之间设置第二空腔本实用新型设置了一种混合结构滤波器的叠层滤波器芯片，通过搭塔楼的方式将BAW和SAW的核心工作区域混合叠放，可以同时满足不同滤波频段的需求。
一种基于 saw baw 滤波器芯片

[发明专利]用于减小谐波失真的体声波谐振器及体声波滤波器-CN201810224679.0有效
发明人：李文喆;朴朵焌;李在昌;金泰润;林昶贤;李华善;李泰勋;黄炫民;李泰京 -专利权人：三星电机株式会社
申请日： 2018-03-19 - 公布日： 2022-02-18 - 主分类号： H03H9/02 文献下载
摘要：本发明提供一种用于减小谐波失真的体声波谐振器及体声波滤波器，所述体声波(BAW)谐振器包括：基板；第一BAW谐振器，包括设置在所述基板上的第一气腔，还包括堆叠在所述第一气腔上的第一电极、第一压电层和第二电极；第二BAW谐振器，包括设置在所述基板上的第二气腔，还包括堆叠在所述第二气腔上的第一电极、第二压电层和第二电极，其中，所述第二BAW谐振器并联连接到所述第一BAW谐振器并且具有与所述第一BAW谐振器的极性相反的极性；以及补偿电容器电路，连接在所述第一BAW谐振器与所述第二BAW谐振器之间。
用于减小谐波失真声波谐振器滤波器

[发明专利]堆叠到集成无源装置上的体声波谐振器-CN202210163790.X在审
发明人：杰弗里·D·加利波;凯利·M·莱亚尔 -专利权人： QORVO美国公司
申请日： 2022-02-22 - 公布日： 2022-08-30 - 主分类号： H03H9/17 文献下载
摘要：公开一种体声波(BAW)辅助滤波器结构，具有堆叠到集成无源装置(IPD)上的BAW谐振器。在本文公开的示例性方面中，所述BAW滤波器结构包含换能器，具有电极和所述电极之间的压电层。所述IPD电耦合到所述BAW谐振器且提供高频率的操作。在此配置中，所述BAW辅助滤波器结构具有低插入损耗且减缓归因于所述BAW谐振器堆叠到所述IPD上的电学紧密近程而导致的电气长度寄生损耗。此外，所述BAW辅助滤波器结构能够对高频率进行滤波，且提供改进的滤波器性能和滤波器转移函数的设计中的较大灵活性。
堆叠集成无源装置声波谐振器

[发明专利]具有改进的压电极化均匀性的体声波器件-CN202080100187.6在审
发明人：安德烈·亚埃尔布斯;阿尔托·图罗·伊尔马里·努尔梅拉 -专利权人：华为技术有限公司
申请日： 2020-04-24 - 公布日： 2022-12-09 - 主分类号： H03H3/02 文献下载
摘要：本公开涉及体声波(BAW)器件，特别是涉及BAW器件的制造。本公开相应地提供一种BAW器件及用于制造该BAW器件的方法，其中BAW器件具有改进的压电极化均匀性。为此，BAW器件(100)包括一个或多个种子元件(105)，布置在BAW器件的交错层(102)中并且与设置在交错层上的压电层(103)接触。
具有改进压电极化均匀声波器件

[发明专利]堆叠管芯体声波振荡器封装件-CN201910347644.0在审
发明人： R·A·杰克逊;K·P·瓦赫莱尔 -专利权人：德克萨斯仪器股份有限公司
申请日： 2019-04-28 - 公布日： 2019-11-08 - 主分类号： H01L25/16 文献下载
摘要：堆叠管芯振荡器封装件(100)包括：振荡器电路管芯(130)，其具有内部键合焊盘(130a)和外部键合焊盘(130c、130d)；以及体声波(BAW)谐振器管芯(120)，其具有压电换能器(220)，在相同侧上具有第一BAW键合焊盘和第二BAW键合焊盘(120a)，第一BAW键合焊盘和第二BAW键合焊盘(120a)耦合到横跨压电层的顶部电极层和底部电极层。第一金属凸块(111a)位于第一BAW键合焊盘上，并且第二金属凸块(111b)位于第二BAW键合焊盘上，其倒装键合到振荡器电路管芯的内部键合焊盘。聚合物材料(132)或(133)位于BAW和振荡器电路管芯之间的间隙的一部分中。
键合焊盘振荡器电路振荡器封装堆叠管芯体声波管芯金属凸块内部键合焊盘底部电极层顶部电极层聚合物材料谐振器管芯压电换能器倒装键合压电层耦合到横跨外部申请

[发明专利]一种基于SAW和BAW并列叠放的滤波器芯片及其制造工艺-CN202210529191.5在审
发明人：胡孝伟;代文亮;张竞颢;崔云辉;黄志远 -专利权人：上海芯波电子科技有限公司
申请日： 2022-05-16 - 公布日： 2022-08-30 - 主分类号： H03H9/64 文献下载
摘要：本发明适用于MEMS芯片制造技术领域，提供了一种基于SAW和BAW并列叠放的滤波器芯片及其制造工艺。一种基于SAW和BAW并列叠放的滤波器芯片，包括衬底、SAW谐振层、BAW谐振层和高阻片；所述衬底上设置有腔体或槽体，所述衬底通过支撑柱与所述高阻片连接，所述支撑柱与所述高阻片之间设置有所述SAW谐振层和所述BAW谐振层；所述SAW谐振层和所述BAW谐振层通过第一导线连接，且所述BAW谐振层设置在所述槽体或所述腔体上；所述衬底上或所述高阻片上设置有引脚，所述引脚通过第二导线分别与所述SAW谐振层和所述BAW通过设置包含SAW谐振层和BAW谐振层的混合结构滤波器芯片，使得混合滤波器芯片不仅能处理不同频段的声波，还能降低工艺设计的难度。
一种基于 saw baw 并列叠放滤波器芯片及其制造工艺

[发明专利]一种BAW滤波器自动布局方法及相关设备-CN202210309865.0有效
发明人：安嘉乐;高杨;李君儒;王健;谭鹏辉;孙成亮;孙博文;袁汉龙;刘德勇 -专利权人：武汉敏声新技术有限公司
申请日： 2022-03-24 - 公布日： 2023-08-25 - 主分类号： G06Q10/0631 文献下载
摘要：本申请实施例公开了一种BAW滤波器自动布局方法及相关设备，在不影响BAW滤波器性能的前提下，使得BAW滤波器布局具有更好的填充比和更为合理的矩形布局比例。本申请包括：获取设计参数；根据所述设计参数生成圆形容器，所述圆形容器为BAW体声波谐振器的替换形状；根据贪心遗传算法对所述圆形容器进行布局，以生成目标容器布局；将所述目标容器布局中的所述圆形容器替换为具体BAW谐振器的形状；以生成谐振器布局；根据压缩遗传算法对所述谐振器布局进行压缩；生成BAW滤波器布局。
一种 baw 滤波器自动布局方法相关设备

[发明专利]包括带阻谐振器的BAW谐振器滤波器-CN202080034291.X在审
发明人：沈亚;迈克尔·D·霍奇 -专利权人：阿库斯蒂斯有限公司
申请日： 2020-07-07 - 公布日： 2022-02-08 - 主分类号： H03H9/64 文献下载
摘要：本发明涉及一种BAW谐振器滤波器，可包括BAW谐振器带通滤波器梯型，该BAW谐振器带通滤波器梯型可配置为使BAW谐振器带通滤波器梯型的输入节点处所接收的通频带输入信号的频率分量传递到BAW谐振器带通滤波器梯型的输出节点第一串联带阻谐振器可串联耦合于BAW谐振器带通滤波器梯型的输入端口与输入节点之间，该第一串联带阻谐振器可在低于通频带的阻频带中具有第一反谐振频率峰值。第二串联带阻谐振器可串联耦合于BAW谐振器滤波器的输出端口与输出节点之间，该第二串联带阻谐振器可在阻频带中具有第二反谐振频率峰值。
包括谐振器 baw 滤波器

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