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农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

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B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[发明专利]阴极单元化的X射线源、静态CT成像系统及图像增强方法-CN202211626834.4在审
发明人：谷胜栋 -专利权人：科罗诺司医疗器械（上海）有限公司
申请日： 2022-12-16 - 公布日： 2023-05-23 - 主分类号： H01J35/08 文献下载
摘要：成像系统及图像增强方法，包括：真空管；发射电子束的阴极端，阴极端包括曝光电控模块以及矩阵排列地设置于曝光电控模块同一侧的多个电子发射单元，所有电子发射单元相互独立并且分别电性连接于曝光电控模块；被电子束轰击的阳极靶，阳极靶包括阳极主体以及成型于阳极主体的靶面，靶面位于所述电子发射单元的发射路径上；所述曝光电控模块在接收外部控制信号时使被选择的电子发射单元和曝光电控模块之间建立电压线路，电子发射单元逐一或逐行朝靶面发射电子，靶面在电子的轰击下将X射线反射至窗口。
阴极单元射线静态 ct 成像系统图像增强方法

[发明专利]一种X射线管U靶阳极及其制造方法-CN201410302390.8有效
发明人：李炬;李瑞文;张鹏程;刘天伟;张忠东;廖益传 -专利权人：四川材料与工艺研究所;四川艺精科技集团有限公司;丹东市无损检测设备有限公司
申请日： 2014-06-30 - 公布日： 2014-12-10 - 主分类号： H01J9/02 文献下载
摘要：本发明公开一种X射线管U靶阳极及其制造方法，用于X射线管制备。这种X射线管阳极，阳极靶材为金属U。含U靶阳极的X射线管的使用方法为，施加一定电压可发出短波长的X射线。本发明采用真空热压技术，在一定温度、一定压力下，在真空环境下，将铸造并热处理得到的U靶与铜基座实现紧密的、无缝的连接，既避免了界面的气体杂质的引入，又能利于U靶产生的热量的传输，避免了X射线管在运行过程因气体释放导致真空下降和热量聚集损坏靶材
一种射线阳极及其制造方法

[发明专利]一种用于空间X射线通信基于能量负载信号的X射线源-CN201910805248.8有效
发明人：黑大千;赵磊;金利民;贾文宝;单卿;凌永生 -专利权人：南京航空航天大学
申请日： 2019-08-29 - 公布日： 2020-12-01 - 主分类号： H01J35/10 文献下载
摘要：一种用于空间X射线通信基于能量负载信号的X射线源，其阴极组件包括电子发射源、供电杆、供电杆绝缘陶瓷、阴极盖、阴极筒，聚焦极组件包括聚焦极膜片和聚焦极筒，阳极组件包括阳极膜片和阳极筒，并通过阳极筒与多靶材透射窗组件连接，电场调制组件包括多瓣电极和电极支架，多靶材透射窗组件包括金属靶材、透射窗、靶焊接环。本发明利用快速响应的高频脉冲调制电场调制组件，产生调制电场，改变电子运动轨迹，轰击多靶材透射窗组件上的不同金属靶材，产生不同能量的特征X射线。
一种用于空间射线通信基于能量负载信号

[发明专利]双灯丝X射线管-CN201310600540.9无效
发明人：李冬雪;戴东辉;高波;夏海涛;隋莹莹;周立涛;姜淑芳;卢元成;孙怀东 -专利权人：丹东华日理学电气股份有限公司
申请日： 2013-11-25 - 公布日： 2014-02-19 - 主分类号： H01J35/04 文献下载
摘要：一种双灯丝X射线管，在X射线管壳体上装有冷却装置，在X射线管壳体内射线管阴极的位置处装有1#灯丝和2#灯丝，在射线管阳极的位置处装有双靶面阳极靶，在与双靶面阳极靶头部相对应位置处的Ｘ射线管壳体上设有1#本发明的双灯丝、对称靶面结构，延长X射线管使用寿命；单灯丝工作方式，根据需要选择工作的窗口，可避免旋转射线管带来的麻烦；亦可交替工作，实现对称双工位检测，延长休息工作时间比，延长了阳极靶的散热时间，维护射线管的工作性能
灯丝射线

[实用新型]阴极单元化的X射线发射装置及静态CT成像系统-CN202223398591.1有效
发明人：谷胜栋 -专利权人：科罗诺司医疗器械（上海）有限公司
申请日： 2022-12-16 - 公布日： 2023-09-01 - 主分类号： H01J35/10 文献下载
摘要：射线发射装置及静态CT成像系统，包括：真空管；发射电子束的阴极端，阴极端包括曝光电控模块以及矩阵排列地设置于曝光电控模块同一侧的多个电子发射单元，所有电子发射单元相互独立并且分别电性连接于曝光电控模块；被电子束轰击的阳极靶，阳极靶包括阳极主体以及成型于阳极主体的靶面，靶面位于所述电子发射单元的发射路径上；所述曝光电控模块在接收外部控制信号时使被选择的电子发射单元和曝光电控模块之间建立电压线路，电子发射单元逐一或逐行朝靶面发射电子，靶面在电子的轰击下将X射线反射至窗口。
阴极单元射线发射装置静态 ct 成像系统

[实用新型]一种用于激光辅助放电EUV光源用的末级电极结构-CN202020440395.8有效
发明人：徐强;崔金刚;李景奎 -专利权人：东北林业大学
申请日： 2020-03-31 - 公布日： 2020-09-01 - 主分类号： H01J61/04 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种用于激光辅助放电EUV光源用的末级电极结构，包括位于放电室的阳极、阴极与绝缘层，所述阳极的电极端采用圆锥形结构，所述阴极为圆柱体，其通过金属连接杆连有一个圆盘状的锡靶。所述阳极的电极端、放电室与锡靶均位于同一个水平面，激光通过聚焦系统照射在所述圆盘状锡靶的侧面中央位置，产生预电离等离子体。所述锡靶可沿其中心轴转动，从而保证激光每次打靶在图中的位置不变，但锡靶表面的相对位置改变，这就保证了每一次放电时锡靶表面状态的稳定性。所述阳极和锡靶之间的距离可调，从而保证放电时等离子体尺寸可以控制。
一种用于激光辅助放电 euv 光源电极结构

[实用新型]真空电弧镀膜设备-CN202221069767.6有效
发明人：杨恺;林海天;李立升;董得平 -专利权人：东莞市华升真空镀膜科技有限公司
申请日： 2022-05-05 - 公布日： 2022-08-30 - 主分类号： C23C14/32 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种真空电弧镀膜设备，包括真空腔室、设置于真空腔室内的基体、等离子体产生机构及阳极机构，等离子体产生机构包括阴极靶材及电弧源，电弧源用于使阴极靶材的工作表面产生电弧，从而使电弧熔化阴极靶材的工作表面以产生等离子体，阳极机构设置于基体与阴极靶材之间，用于吸收等离子体中的电子。本实用新型通过设置电弧源，电弧源能够使阴极靶材的工作表面产生电弧，从而使电弧熔化阴极靶材的工作表面以产生等离子体，等离子体朝向基体运动，以在其表面上形成薄膜；通过将阳极机构设置于阴极靶材与基体之间，阳极机构可吸收等离子体的电子
真空电弧镀膜设备

[发明专利]一种具有在线清洗功能的磁控溅射靶及其应用方法-CN200510063432.8有效
发明人：刘阳 -专利权人：北京实力源科技开发有限责任公司;刘阳
申请日： 2005-04-08 - 公布日： 2006-10-11 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：其磁控溅射靶的靶材可绕其中心轴线旋转，通过内部磁场控制，形成两组溅射跑道，并且，在局部空间中设置清洗阳极和布气装置，充入惰性气体，主溅射电源连接于靶材与镀膜机主阳极之间，进行溅射镀膜，辅助清洗电源连接于靶材与局部空间内的清洗阳极之间，对靶材表面溅射刻蚀清洗。由于靶材连续旋转而两组溅射跑道的相对方位不变，从而达到对整个靶面的连续在线清洗，从而保持靶面的溅射工作状态稳定，提高了化合物薄膜在工件上的沉积速率，基本保持了工艺重现性；本发明还便于对靶材进行离子刻蚀清洗，防止了工件表面污染和靶材之间的交叉污染。
一种具有在线清洗功能磁控溅射及其应用方法

[实用新型]磁控溅射设备及其靶台-CN201320161814.4有效
发明人：陈昊;罗海林;贺凡;肖旭东;顾光一 -专利权人：深圳先进技术研究院;香港中文大学
申请日： 2013-04-02 - 公布日： 2013-09-04 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：一种靶台，用于在衬底上通过磁控溅射法形成薄膜，包括靶材、金属支板、阳极板、阴极板及挡片；所述靶材固定于与所述衬底相对的位置；所述支板围绕于所述靶材周围并与所述靶材相对于所述衬底的面相垂直，同时与靶材的侧面形成间隙；所述阳极板垂直固定于所述支板上，所述阳极板位于所述靶材和衬底之间，且位于衬底上接收溅射粒子的面积之外；阴极板固定于所述靶材之下；所述挡片设置于所述靶材的周缘，并遮盖所述支板与所述靶材的侧面之间的间隙。
磁控溅射设备及其靶台

[发明专利]一种用于提高离子真空镀膜均匀性的离子镀膜源装置-CN202111597615.3在审
发明人：张心凤;夏正卫 -专利权人：安徽纯源镀膜科技有限公司
申请日： 2021-12-24 - 公布日： 2022-03-01 - 主分类号： C23C14/32 文献下载
摘要：本发明涉及一种用于提高离子真空镀膜均匀性的离子镀膜源装置，包括源底座，源底座上设置有源阳极管和靶材装置，真空腔室上具有连接装置，连接装置和源阳极管之间进行可拆卸式密封装配连接，靶材安装在靶材装置上，源阳极管上设置有用于敲击靶材的敲击装置，还包括对靶材上离化面的平整度进行修整的修面机构。本发明提供的上述技术方案，通过设置的修面机构，使得靶材离化面一直保持平整状态，提高了镀膜的均匀性，使镀膜工艺更稳定，并可大量镀膜，提高产量。
一种用于提高离子真空镀膜均匀镀膜装置

[实用新型]一种用于提高离子真空镀膜均匀性的离子镀膜源装置-CN202123283502.4有效
发明人：张心凤;夏正卫 -专利权人：安徽纯源镀膜科技有限公司
申请日： 2021-12-24 - 公布日： 2022-05-17 - 主分类号： C23C14/32 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种用于提高离子真空镀膜均匀性的离子镀膜源装置，包括源底座，源底座上设置有源阳极管和靶材装置，真空腔室上具有连接装置，连接装置和源阳极管之间进行可拆卸式密封装配连接，靶材安装在靶材装置上，源阳极管上设置有用于敲击靶材的敲击装置，还包括对靶材上离化面的平整度进行修整的修面机构。本实用新型提供的上述技术方案，通过设置的修面机构，使得靶材离化面一直保持平整状态，提高了镀膜的均匀性，使镀膜工艺更稳定，并可大量镀膜，提高产量。
一种用于提高离子真空镀膜均匀镀膜装置

[发明专利]一种极紫外脉冲发生调制器-CN201410109608.8有效
发明人：李保权 -专利权人：中国科学院空间科学与应用研究中心
申请日： 2014-03-21 - 公布日： 2014-06-18 - 主分类号： H01J61/04 文献下载
摘要：本发明涉及一种极紫外脉冲发生调制器，包括：电子源、调控栅极、聚焦电极和阳极靶；其中，电子源产生电子，调控栅极对电子源所产生电子的强度进行调控，形成电子脉冲；聚焦电极所形成的电场将电子脉冲聚焦；所述阳极靶加速电子脉冲，所述电子脉冲最终轰击阳极靶，生成极紫外脉冲射线；所述极紫外脉冲射线的波长范围在10nm-200nm。
一种紫外脉冲发生调制器

[实用新型]一种旋转阳极热屏蔽结构-CN202221251134.7有效
发明人：李建北;赵伟;秦臻 -专利权人：中国工程物理研究院流体物理研究所
申请日： 2022-05-20 - 公布日： 2022-09-09 - 主分类号： H01J35/10 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种旋转阳极热屏蔽结构，包括阳极靶、转子铜套和轴承，轴承通过转子铜套与阳极靶连接，在阳极靶与转子铜套之间设有热屏蔽体，所述热屏蔽体采用N层热屏蔽层依次堆叠的结构，所述N为≥1的正整数。
一种旋转阳极屏蔽结构

[实用新型]一种两端轴承结构医用X射线管的阳极组件-CN202023200859.7有效
发明人：王颂东;于山 -专利权人：思柯拉特医疗科技(苏州)有限公司
申请日： 2020-12-26 - 公布日： 2021-07-30 - 主分类号： H01J35/10 文献下载
摘要：本实用新型揭露了一种两端轴承结构医用X射线管的阳极组件，包括阳极靶盘以及贯穿所述阳极靶盘内部的第一轴承和第二轴承，所述第一轴承和所述第二轴承均为液态金属轴承，所述阳极靶盘的质心位于第一轴承和第二轴承的中间本实用新型阳极靶盘位于两个液态金属轴承的中间，使其受力均衡，保证该X射线管的可靠性，且该X射线管可以采用效率极高的冷却液；轴杆内部直通冷却液，且冷却液可以在轴杆内部与外部形成循环，能够及时有效地带走热量，提高轴承的可靠性；该结构能够有效地解决大热容量X射线管的散热问题，其阳极热容量能够做到7.5MHU及以上。
一种两端轴承结构医用射线阳极组件

[实用新型]一种磁控溅射镀膜装置-CN201320623578.3有效
发明人：何晏兵;曹永祥;仇泽军;李文铭;江培杰 -专利权人：芜湖长信科技股份有限公司
申请日： 2013-10-10 - 公布日： 2014-07-02 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本实用新型揭示了一种磁控溅射镀膜装置，包括靶材和磁场，所述的靶材一侧固定有辅助阳极钼杆。通过该装置对阳极罩进行更改，可以在溅射过程中较均匀地刻蚀靶材，使靶材表面溅射沟道较平滑，提高靶材的利用率，同时又可以避免基片车及基板玻璃表面堆积电子产生异常放电现象造成玻璃表面打黑现象。
一种磁控溅射镀膜装置

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