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- [发明专利]用于监控离子注入剂量的阻值监控方法-CN202311061756.2在审
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章开;张晓东
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江苏卓胜微电子股份有限公司
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2023-08-23
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2023-09-15
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H01L21/66
- 本申请涉及一种用于监控离子注入剂量的阻值监控方法,包括:提供试验片,试验片为未进行加工的晶圆;在对试验片进行离子注入之前,对试验片进行去氧热退火;自进行去氧热退火后的试验片的正面进行一次离子注入,且对正面进行一次离子注入后的试验片进行第一激活热退火;监控经过第一激活热退火的试验片的正面的方块电阻;将经过第一激活热退火的试验片进行翻面;自进行翻面后的试验片的背面进行二次离子注入,且对背面进行二次离子注入后的试验片进行第二激活热退火;监控经过第二激活热退火的试验片的背面的方块电阻在本申请中,去氧热退火将试验片内的间隙氧减少,间隙氧的消除可以有效减少其导致的试验片的正面与背面的阻值差异。
- 用于监控离子注入剂量阻值方法
- [发明专利]空调室内机-CN201610847847.2有效
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李健;王永涛
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青岛海尔空调器有限总公司
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2016-09-23
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2020-05-29
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F24F1/0059
- 本发明涉及空调室内机,其包括:机壳,具有进风口以及第一侧向出风口和第二侧向出风口;第一离子风发生装置和第二离子风发生装置,沿横向并排地设置于机壳的内部;竖向放置并沿前后方向延伸的第一换热装置和第二换热装置,分别设置于机壳内从第一离子风发生装置至第一侧向出风口和从第二离子风发生装置至第二侧向出风口的流动路径上。第一离子风发生装置配置成通过电场力促使经进风口进入的部分空气朝向第一换热装置流动、且促使经第一换热装置换热后的空气朝向第一侧向出风口流动,第二离子风发生装置配置成通过电场力促使经进风口进入的另一部分空气朝向第二换热装置流动、且促使经第二换热装置换热后的空气朝向第二侧向出风口流动。
- 空调室内
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