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- [发明专利]共享干泵系统的控制方法以及共享干泵系统-CN201811286292.4有效
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张璐
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北京北方华创微电子装备有限公司
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2018-10-31
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2021-07-09
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F04B49/06
- 本发明提供一种共享干泵系统的控制方法,共享干泵系统包括干泵和多个具有工艺腔的设备模块,多个设备模块包括至少一个第一设备模块和至少一个第二设备模块,第一设备模块还包括冷泵,控制方法包括:确定多个设备模块的优先级;接收到申请使用干泵的多个申请信号后,根据优先级以及接收到各个申请信号的时间对发送申请信号的多个设备模块使用干泵的次序进行排序;控制方法还包括在工艺阶段进行的以下步骤:当当前使用次序的设备模块为第一设备模块时,控制可控阀处于开启状态,当当前使用次序的设备模块为第二设备模块时,控制可控阀处于关闭状态。所述控制方法可以控制多个设备模块使用干泵的顺序,满足用户需求成为亟需解决的问题。
- 共享系统控制方法以及
- [实用新型]一种新型组合升华仪-CN202123040335.0有效
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邵江伟;刘宾
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合肥鼎材科技有限公司
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2021-12-02
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2022-05-10
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B01D7/00
- 本实用新型公开了一种新型组合升华仪,所述升华仪包括多台提纯升华设备(1)和一大功率真空泵组(2),各所述提纯升华设备(1)分别通过带有控制阀门(4)的连接管路(3)与所述大功率真空泵组(2)连接。本实用新型所提供给的组合升华仪,其设置有多台与大功率真空泵组连接的提纯升华设备,只需要开启总泵即可通过通往单台提纯升华设备的连接管路控制单台设备的使用,该组合后的升华仪有效减少单台机械泵和/或分子泵频繁开启的次数,采用可靠性极强的机械泵分子泵双级泵抽气系统,能有效减少提纯升华设备抽真空的时间,有效的减少了物料提纯升华的周期,因大功率真空泵组功率不同,可添加或减少提纯升华设备的数量。
- 一种新型组合升华
- [实用新型]一种催化剂加工用原材料混合设备-CN202222274042.7有效
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汤群;廖仕杰
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山东拓瑞多新材料有限公司
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2022-08-29
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2023-04-21
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B01F35/71
- 本实用新型涉及混合设备技术领域,且公开了一种催化剂加工用原材料混合设备,包括混合设备本体,混合设备本体的上侧壁面固定安装有抽料泵和绝缘箱,抽料泵连接有电源,抽料泵的输出端贯穿混合设备本体的上侧壁面,抽料泵的输入端连接在储料箱内,绝缘箱呈凹型,绝缘箱右侧端下侧壁面固定安装在抽料泵的上侧壁面。开启抽料泵,抽料泵的输出端会将储料箱中的原材料抽出,再通过抽料泵的输出端将原材料排进混合设备本体的内部,随着而原材料在混合设备本体内的上升,当原材料和浮块接触并且使浮块上升时,活动杆会在活动槽的内部上升,最后活动杆和活动槽内自动断电机构接触时,抽料泵断开电源,并且抽料泵停止抽料。
- 一种催化剂工用原材料混合设备
- [实用新型]一种真空泵N+1系统装置-CN201721228892.6有效
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范小超;熊颖斌;谭建
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中航(重庆)微电子有限公司
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2017-09-22
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2018-05-22
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F04B41/06
- 本实用新型公开了一种真空泵N+1系统装置,包括:若干炉管设备;若干真空泵,每一真空泵分别与一炉管设备相连接,每一真空泵和一炉管设备之间设有一单向阀;若干预警装置,每一真空泵设置有一预警装置;一真空备泵,若干炉管设备均与真空备泵相连接,真空备泵与若干炉管设备之间均设有一电磁阀,真空备泵与若干预警装置均信号连接,若干预警装置分别与若干电磁阀信号连接;一排放装置,若干真空泵和真空备泵均与排放装置相连接。本实用新型加装后真空泵N+1系统装置后,当系统中某一台后机台真空泵出现异常时,所对应的主机台真空将不在后影响,避免产品因真空异常造成回灌而报废。
- 一种真空泵系统装置
- [实用新型]一种多缸泵送设备-CN201921634941.5有效
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刘永红;李庶;崔杨
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日昌升建筑新材料设计研究院有限公司
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2019-09-27
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2020-06-26
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F04B9/103
- 本实用新型公开了一种多缸泵送设备,涉及流体输送泵领域,主要包括泵送单元、液压单元和电控系统,每一组泵送单元均配备一套液压单元形成一组液压泵送系统,多组液压泵送系统并联排列,由电控系统控制液压泵将液压油输入液压缸,推动液压缸活塞向前运动,通过连杆传递动力到泵送活塞,推动浆料排入进出料三通管,吸入单向阀关闭同时排出单向阀打开,浆料由出料管道排出,实现泵送排料。本实用新型的有益效果为:采用多缸连动,且由同一电控系统控制,保证设备工作的连续性和平稳性,增加设备输送效率;降低了设备因间断性泵送动作造成的浆料固液分离风险,并降低了堵管风险;泵送换向装置结构简单,提升设备可靠性,降低设备使用的维护成本。
- 一种多缸泵送设备
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