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[发明专利]特征尺寸测量用扫描电镜的气浮系统和扫描电镜-CN202111049008.3在审
发明人：彭超 -专利权人：长江存储科技有限责任公司
申请日： 2021-09-08 - 公布日： 2022-01-04 - 主分类号： G01B11/00 文献下载
摘要：该发明公开了一种特征尺寸测量用扫描电镜的气浮系统和扫描电镜，所述气浮系统包括：量测腔体、监测装置、气浮装置和控制装置，监测装置用于实时监测量测腔体的位置；气浮装置包括固定气浮垫和多个调整气浮垫，固定气浮垫设在量测腔体的底部以用于承载量测腔体，调整气浮垫设在量测腔体的底部以用于承载量测腔体和调整量测腔体的位置，调整气浮垫的进气口连接有电磁阀以控制调节进气量；控制装置分别与监测装置和气浮装置相连，以根据监测装置的监测信息控制电磁阀的开关以调节调整气浮垫的进气量气浮系统能够及时快速地调整量测腔体使其保持平衡，且不需要频繁更换阀门，还能够实现提前预警并做出预防动作。
特征尺寸测量扫描电镜系统

[发明专利]传动装置-CN201610796396.4有效
发明人：谷晓欣;刘红兵;赵建强;李金明 -专利权人：北京海普瑞森科技发展有限公司
申请日： 2016-08-31 - 公布日： 2018-06-26 - 主分类号： B23Q5/40 文献下载
摘要：本发明公开了一种传动装置，包括气浮部分和壳体部分；气浮部分包括：螺杆、环形石墨、气源接头和气浮固定件，环形石墨相对地设置在气浮固定件的两侧，气源接头设置在气浮固定件上，气浮固定件设置有连通气源接头和环形石墨的气道，螺杆与气浮固定件驱动连接；壳体部分包括：左端盖、C型环和右端盖；左端盖与C型环和右端盖形成容纳气浮部分的空间。本双气浮隔震传动装置采用双气浮传动，有效的减小了丝杠带来的震动，从而大大提高了切削的光洁度，符合我国现代化技术领域的发展方向。
气浮固定件传动装置环形石墨气源接头右端盖左端盖壳体螺杆光洁度连通气源驱动连接切削传动隔震减小气道丝杠容纳震动

[实用新型]传动装置-CN201621034765.8有效
发明人：谷晓欣;刘红兵;赵建强;李金明 -专利权人：北京海普瑞森科技发展有限公司
申请日： 2016-08-31 - 公布日： 2017-04-26 - 主分类号： B23Q5/40 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种传动装置，包括气浮部分和壳体部分；气浮部分包括螺杆、环形石墨、气源接头和气浮固定件，环形石墨相对地设置在气浮固定件的两侧，气源接头设置在气浮固定件上，气浮固定件设置有连通气源接头和环形石墨的气道，螺杆与气浮固定件驱动连接；壳体部分包括左端盖、C型环和右端盖；左端盖与C型环和右端盖形成容纳气浮部分的空间。本双气浮隔震传动装置采用双气浮传动，有效的减小了丝杠带来的震动，从而大大提高了切削的光洁度，符合我国现代化技术领域的发展方向。
传动装置

[实用新型]一种气搅拌式气浮池-CN202022459892.5有效
发明人：王志宏;黄中;其他发明人请求不公开姓名 -专利权人：泸州山水秀美环保科技有限公司
申请日： 2020-10-29 - 公布日： 2021-07-20 - 主分类号： C02F1/24 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种气搅拌式气浮池，包括气浮池体，设置在气浮池体中的气搅拌结构，设置在气浮池体中的气浮分离结构，设置在气浮池体中的外排结构，以及设置在气浮池体外且分别与气搅拌结构、气浮分离结构和外排结构相连接的气泵本实用新型提供一种气搅拌式气浮池，通过发散性的思维，使得药液与反排液的混合能够通过气泡的运动完成，故而很好的替代了搅拌装置，降低了设备的生产与使用成本，还能很好的提高设备的使用安全性，更好的促进了企业与行业的发展
一种搅拌式气浮池

[发明专利]一种可垂直运动的精密气浮转台-CN202111503298.4在审
发明人：龚林;王斌;牛增渊;丁辉 -专利权人：江苏集萃精凯高端装备技术有限公司
申请日： 2021-12-10 - 公布日： 2023-06-13 - 主分类号： B25H1/14 文献下载
摘要：本发明公开了一种可垂直运动的精密气浮转台，包括有垂向运动模块以及设置在所述垂向运动模块上的气浮转台，所述垂直运动模块与气浮转台同轴设置；所述气浮转台包括有支撑旋转体、被所述支撑旋转体包围的气浮轴承以及设置在所述气道轴承中部的电机组件；所述垂直运动模块包括有丝杠、套设在丝杠上的丝杠套以及带动丝杠套旋转的第二电机；所述第二电机带动丝杠套旋转，丝杠将丝杠套的旋转运动转化为垂直运动，并带动所述气浮转台做垂直运动；将第一电机设置在气浮转台的中部，可以增大气浮转台的气浮面，增加了气浮转台的承载力和刚度，从而进一步提升了气浮转台的精度；在所述气浮转台的下面设置垂直运动模块，气浮转台可以进行垂向运动。
一种垂直运动精密转台

[发明专利]一种结合气浮球轴承与气浮平面止推轴承的单球式气浮滑轮装置-CN202110907749.4有效
发明人：冯文煜;霍明英;于泽;赵策;李铮;齐乃明;林桐 -专利权人：哈尔滨工业大学
申请日： 2021-08-09 - 公布日： 2022-04-29 - 主分类号： B64G7/00 文献下载
摘要：一种结合气浮球轴承与气浮平面止推轴承的单球式气浮滑轮装置，属于航天航空领域，本发明为解决传统配重法在航天器地面模拟试验中竖直方向上的零重力模拟精度由于受到摩擦影响而无法得到很好提升的问题。本发明包括气浮回转球组件、气浮回转球窝组件和回转侧气浮止推支撑组件；气浮回转球组件位于气浮回转球窝组件上，同时气浮回转球组件两侧由回转侧气浮止推支撑组件夹持支撑。
一种结合球轴承平面轴承单球式气浮滑装置

[实用新型]气浮装置及玻璃基板传送装置-CN201521142301.4有效
发明人：刘福涛 -专利权人：芜湖东旭光电装备技术有限公司;东旭科技集团有限公司;东旭集团有限公司
申请日： 2015-12-31 - 公布日： 2016-05-25 - 主分类号： B65G51/04 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种气浮装置及玻璃基板传送装置，其中的气浮装置包括机架(3)及所述机架(3)上安装的多根间隔设置的气浮条(1)，至少一根所述气浮条(1)与所述机架(3)之间设置有能够调节所述气浮条(1)本实用新型提供的气浮装置及玻璃基板传送装置通过调节装置可调节气浮条的高度，从而可使得多根气浮条组成的气浮条组达到所需的平面度要求。
装置玻璃传送

[发明专利]一种精密运动气浮支撑装置-CN202111110723.3在审
发明人：吴剑威;赵鹏越;刘江;王继尧;郑健;赵博;谭久彬 -专利权人：哈尔滨工业大学
申请日： 2021-09-22 - 公布日： 2021-12-24 - 主分类号： F16C32/06 文献下载
摘要：本发明涉及精密运动技术领域，公开了一种精密运动气浮支撑装置，其包括基座、导轨和支撑框架，导轨水平设置于基座上并与基座固定连接，支撑框架套设于导轨上并可沿导轨滑动，支撑框架包括底部气浮板、顶部气浮板和侧向气浮板，侧向气浮板设有两块，两块侧向气浮板对称设置，侧向气浮板内设有侧向气路，侧向气浮板表面设有与侧向气路相连通的侧向进气孔和侧向排气孔，底部气浮板内设有底面气路，底部气浮板表面设有与底面气路相连通的底面进气孔和底面排气孔与现有技术相比，该精密运动气浮支撑装置的结构设计简单可靠，进排气孔与气路设计能够有效降低气源的空间占用量，支撑框架具有良好的运动姿态与运动精度，操作人员的使用体验好。
一种精密运动支撑装置

[实用新型]PCB板开料装置-CN201720040018.3有效
发明人：张义红 -专利权人：惠州市和鑫达电子科技有限公司
申请日： 2017-01-13 - 公布日： 2017-08-04 - 主分类号： B26D7/20 文献下载
摘要：一种PCB板开料装置，包括工作台及气浮珠装置，工作台开设有多个安装孔，气浮珠装置包括多个气浮珠组件，各气浮珠组件一一对应容置于一安装孔内，每一气浮珠组件包括安装筒、气浮珠及推片，在一个气浮珠组件中，安装筒的外侧壁与安装孔的内侧壁连接，安装筒的端部开设有推顶口，推片的边缘滑动设置于安装筒的内侧壁上，气浮珠容置于安装筒内，且气浮珠与推片抵持，且气浮珠朝向推顶口设置，推顶口的口径小于气浮珠的直径，气浮珠包括珠芯及硅胶套，珠芯容置于硅胶套内，硅胶套具有中空球体结构，本实用新型的一种PCB板开料装置通过把原来的玻珠改成气浮珠，且在气浮珠上设置耐磨性能较好的硅胶套，进而能够更好地保护产品且不易使产品刮损。
pcb 板开料装置

[实用新型]一种煤化工废水气浮预处理系统-CN201820590689.1有效
发明人：徐瑞萍;林华;任轶凌;张红静 -专利权人：鲁南煤化工研究院
申请日： 2018-04-24 - 公布日： 2018-12-28 - 主分类号： C02F9/06 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种煤化工废水气浮预处理系统，包括一级气浮装置、二级气浮装置和三级气浮装置，其中所述一级气浮装置为二氧化碳喷溶气浮装置，所述二级气浮装置为三段式电絮凝气浮装置，所述三级气浮装置为氮气共絮凝气浮装置，所述三个气浮装置依序串联连接。
气浮装置煤化工废水气浮预处理二级气浮电絮凝气浮装置氮气负荷承受能力后续处理工序本实用新型大型煤化工系统整体三段式溶气絮凝二氧化碳补充生产

[实用新型]一种具有载物补偿功能的气浮导轨平台-CN201620499787.5有效
发明人：赵鼎成;王文;裘荣波;时光;卢科青;范宗尉 -专利权人：杭州电子科技大学
申请日： 2016-05-26 - 公布日： 2016-12-07 - 主分类号： B23Q1/38 文献下载
摘要：本实用新型公开了具有载物补偿功能的气浮导轨平台。高精度导轨研究成为热门。本实用新型中气浮块的气浮轴套安装孔孔壁开设气嘴安装孔；气浮轴套安装孔内设置气浮轴套；气浮块的传感器安装孔内设置线性位移传感器；气嘴安装孔内放置气嘴，供气模块给气嘴供气；载物台与所有气浮模块的气浮块固定，驱动模块驱动载物台；气浮轴套的导轨安装孔与导轨间隙配合；气浮轴套的外圆面开设多个环形槽；每个环形槽底部开设通气孔组；通气孔组为沿圆周等角度但不均布的多个通气孔；每个通气孔内设置一个小孔节流器；所有环形槽的侧部相通，并与气浮块的气嘴安装孔连通。本实用新型能实时获取气浮模块高度信号，并对载物台高度进行实时补偿，提高加工精度。
一种具有补偿功能导轨平台

[实用新型]多重排渣气浮装置-CN202021696252.X有效
发明人：黄雄 -专利权人：湖北七朵云环保科技有限公司
申请日： 2020-08-14 - 公布日： 2021-05-04 - 主分类号： C02F1/24 文献下载
摘要：多重排渣气浮装置，包括气浮池，所述的气浮池内设有隔板，气浮池的一端设有收渣箱，气浮池靠近隔板的一端设有进水管，进水管上设有加料管和第一水泵，进水管延伸至气浮池内的一端位于隔板与气浮池形成的加压腔中，气浮池上设有与加压腔配合的密封板，密封板上设有曝气搅拌结构，气浮池上设有排渣结构和滤渣结构，气浮池靠近收渣箱一侧的底部设有第一排液管，第一排液管上设有第一控制阀。采用上述结构，实现了气浮垃圾处理时，也能对沉淀在污水中的垃圾进行高效处理收集，提升了污水处理效率；采用曝气装置配合搅拌，提升了曝气效果，从而提升了气浮法污水处理效率；整个装置结构合理稳定，便于操作使用，
多重排渣气浮装置

[实用新型]一种气浮沉淀一体装置-CN201820412921.2有效
发明人：涂云鹏;周志毅 -专利权人：浙江鹏达环保科技有限公司
申请日： 2018-03-26 - 公布日： 2019-04-09 - 主分类号： C02F1/24 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种气浮沉淀一体装置，包括依次设置的反应区、气浮接触区、气浮分离区与清水池；所述反应区外接进水管，所述反应区与气浮接触区之间连接过水管，且气浮接触区内安装有释放器，气浮接触区下方设有竖流式沉淀池；所述气浮接触区与气浮分离区之间设置导流板隔板，且气浮分离区底部设有若干泥斗，气浮分离区上部设有刮沫机与泥槽；所述气浮分离区与清水池通过下部的集水管连通，且清水池上部外接出水管并设置水位控制阀；还包括溶气罐，所述溶气罐一端通过水泵连接清水池，溶气罐另一端与气浮接触区的释放器连接。
气浮分离区气浮接触区清水池反应区溶气罐一体装置释放器沉淀隔板竖流式沉淀池本实用新型水位控制阀外接进水管水泵连接依次设置出水管导流板刮沫机过水管集水管泥槽泥斗气浮外接连通

[实用新型]溶气气浮装置-CN00250278.X无效
发明人：施海良;张晓钟;李彗 -专利权人：北京嘉乐康环保技术有限公司
申请日： 2000-09-18 - 公布日： 2001-09-12 - 主分类号： C02F1/24 文献下载
摘要：一种溶气气浮装置，气浮池9包括主气浮区10和辅气浮区8，主气浮区10位于气浮池9的右端。气浮池9的左端设有溢流槽2。刮渣机5装于气浮池9的上部。刮渣机5下方装有与排渣口18相连螺旋输送器4。溶气泵12装于主气浮区10的外侧。清水出口1和污水进口11分别装于气浮池9的左右两侧。清水回流口19和溶气释放头14分别与溶气泵12连通。挡板17下部与气浮池9底部之间具有间隙16。本实用新型耗能少，噪音小，成本低，安装方便，溶气释放头不易堵塞。
溶气气浮装置

[发明专利]分级气浮废水处理系统-CN201910943779.3在审
发明人：郭定江;刘兵;唐波 -专利权人：四川恩特普环保科技有限公司
申请日： 2019-09-30 - 公布日： 2020-03-27 - 主分类号： C02F1/24 文献下载
摘要：本发明公开了一种分级气浮废水处理系统，包括初级气浮处理单元以及至少一个次级气浮处理单元；初级气浮处理单元包括：初级气浮室、与初级气浮室进料口相连的初级循环溶气管路系统、初级进液管路，所所述初级溶气泵外接空气供给源并且与初级进液管路相连；次级气浮处理单元包括：次级气浮室、与次级气浮室进料口相连的次级循环溶气管路系统、次级进液管路，所述次级溶气泵外接空气供给源并且与次级进液管路相连，所述次级进液管路与初级清液出口相连；当次级气浮处理单元数量为两个及两个以上时，次级气浮处理单元之间通过上一次级气浮处理单元的次级清液出口与下一次级气浮处理单元的次级进液管路连接。
分级废水处理系统