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- [发明专利]制造微机电元件的方法以及该微机电元件-CN201510108718.7有效
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海基·库斯玛
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村田电子有限公司
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2006-11-21
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2015-09-16
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B81C1/00
- 本发明涉及一种制造微机电元件的方法以及该微机电元件。制造微机电元件的方法包括:由覆盖部件密封微机电芯片部件,覆盖部件包含用于穿过所述覆盖部件提供电连接的引入结构;借助于第一结合构件将微机电芯片部件结合至电子电路部件的第一表面,用以将微机电芯片部件和电子电路部件彼此结合,其中所述微机电芯片部件的所述覆盖部件面对所述电子电路部件,并且所述电子电路部件的所述第一表面大于所述微机电芯片部件,靠近所述微机电芯片部件,在所述电子电路部件的所述第一表面上制造用于所述微机电元件的外部连接的第二结合构件,所述第二结合构件为凸起连接件,其中所述突起连接件的高度至少等于所述微机电芯片部件和所述第一结合构件的总高度。
- 制造微机元件方法以及
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