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- [发明专利]分离方法和分离装置-CN201480041378.4有效
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松冈亮;藤泽彰利;野一色公二
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株式会社神户制钢所
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2014-07-14
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2017-08-15
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B01D53/14
- 本发明提供一种分离方法,具备如下工序吸收工序,在该吸收工序中,在吸收装置内使原料气体和吸收液相互接触,使吸收液吸收该原料气体中的目标成分;再生工序,在该再生工序中,在再生装置内加热在所述吸收工序中吸收有所述目标成分的吸收液,由此使所述目标成分从该吸收液中释放而使该吸收液再生;再生后分离工序,在该再生后分离工序中,将在所述再生工序中释放的所述目标成分的气体和再生的吸收液的混合流体分离为所述目标成分的气体和吸收液;以及压缩工序,在该压缩工序中,在所述吸收工序和所述再生工序之前压缩原料气体,在所述再生工序中,将在所述压缩工序中压缩的原料气体供给至所述再生装置,使之与吸收液进行热交换,由此加热该吸收液,在所述吸收工序中,将处于通过所述压缩工序进行了压缩的状态且在所述再生装置中与吸收液进行了热交换后的原料气体作为被吸收液吸收所述目标成分的原料气体而供给至吸收装置
- 分离方法装置
- [发明专利]处理液再生方法及含于处理液的金属的回收方法-CN200810096747.6无效
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中田胜利;田中幸雄;柏井俊彦
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住友精密工业株式会社
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2008-05-09
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2008-11-12
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C22B3/00
- 本发明提供能够以低成本有效地除去基板处理用处理液中含有的金属成分,再生该处理液的处理液再生方法等。包括:在进行基板处理的处理区域中,使处理液通过内部填充有吸附金属离子的吸附材料的可移式容器(1)内,将该处理液中的金属成分吸附于吸附材料而分离、除去的处理液再生工序;将使处理液通过的可移式容器(1)输送至从处理区域隔离的区域即再生吸附材料的吸附材料再生区域的第一输送工序;在吸附材料再生区域中,使洗提液通过从处理区域输送的可移式容器(1)内,洗提吸附于吸附材料的金属,再生该吸附材料的吸附材料再生工序;将再生了吸附材料的可移式容器(1)从吸附材料再生区域回送至处理区域的第二输送工序,在处理液再生工序中,使用吸附材料再生后的可移式容器(1)。
- 处理再生方法金属回收
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