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[发明专利]基于电路板测量流水式的飞针测试机组及测试方法-CN202211073689.1在审
发明人：李清友;王劲 -专利权人：深圳市东方宇之光科技股份有限公司
申请日： 2022-09-02 - 公布日： 2022-11-04 - 主分类号： G01R31/28 文献下载
摘要：本申请公开了基于电路板测量流水式的飞针测试机组及测试方法。该基于电路板测量流水式的飞针测试机组包括：多台处于同一水平线的两两相接的飞针测试机，飞针测试机之间通过水平行进的水平传输装置进行连接，水平传输装置用于将进入飞针测试机组中的第一台飞针测试机的电路板，按序通过所有飞针测试机，其中：每一飞针测试机包括：支持框和设置在支持框上的至少八个偶数个飞针测试模块，支持框形成内封闭平面，且所有飞针测试模块均匀地滑动分布在内封闭平面的两侧。该基于电路板测量流水式的飞针测试机组可对连续进入飞针测试机组的多块电路板实现同时测试，从而提高电路板的测试效率。
基于电路板测量流水测试机组方法

[实用新型]基于电路板测量流水式的飞针测试机组-CN202222338774.8有效
发明人：李清友;王劲 -专利权人：深圳市东方宇之光科技股份有限公司
申请日： 2022-09-02 - 公布日： 2022-12-20 - 主分类号： G01R31/28 文献下载
摘要：本申请公开了基于电路板测量流水式的飞针测试机组。该基于电路板测量流水式的飞针测试机组包括：多台处于同一水平线的两两相接的飞针测试机，飞针测试机之间通过水平行进的水平传输装置进行连接，水平传输装置用于将进入飞针测试机组中的第一台飞针测试机的电路板，按序通过所有飞针测试机，其中：每一飞针测试机包括：支持框和设置在支持框上的至少八个且为偶数个飞针测试模块，支持框形成内封闭平面，且所有飞针测试模块均匀地滑动分布在内封闭平面的两侧。该基于电路板测量流水式的飞针测试机组可对连续进入飞针测试机组的多块电路板实现同时测试，从而提高电路板的测试效率。
基于电路板测量流水测试机组

[发明专利]飞针测试机的运动轴的控制方法及定位精度的补偿方法-CN201710667348.X有效
发明人：谭艳萍;王星;翟学涛;杨朝辉;高云峰 -专利权人：大族激光科技产业集团股份有限公司;深圳市大族数控科技有限公司
申请日： 2017-08-07 - 公布日： 2019-09-17 - 主分类号： G01R31/28 文献下载
摘要：本发明涉及一种飞针测试机的运动轴的控制方法及定位精度的补偿方法。上述的飞针测试机的运动轴的定位精度的补偿方法包括根据飞针测试机的测试区域设定矩阵区域；设定测试点矩阵在X轴方向和在Y轴方向的定位误差的允许值；将飞针测试机的X轴运动至测试点A与测试点B之间连线的中点；采用激光干涉仪测试飞针测试机的Y轴运动的定位精度数据；将飞针测试机的Y轴运动至测试点A或测试点B；采用激光干涉仪测试飞针测试机的X轴运动的定位精度数据。上述的补偿方法对飞针测试机的XY轴在测试区域的整个平面内进行补偿，保证了飞针测试机具有较高的测试精度，解决了飞针测试机的测试精度较低的问题。
测试运动控制方法定位精度补偿

[发明专利]电路板分割式的飞针测试机组及测试方法-CN202210998271.5在审
发明人：李兴光;魏文章 -专利权人：深圳市东方宇之光科技股份有限公司
申请日： 2022-08-19 - 公布日： 2022-10-21 - 主分类号： G01R1/073 文献下载
摘要：本申请公开了一种电路板分割式的飞针测试机组及测试方法。该电路板分割式的飞针测试机组，包括：多台处于同一水平线的两两相接的n台飞针测试机，飞针测试机之间通过水平行进的水平传输装置进行连接，水平传输装置用于将进入飞针测试机组中的第一台飞针测试机的长度为m的电路板，按序通过n台飞针测试机，其中，每一飞针测试模块设置在内封闭平面长度的(m/n)*(x‑1)至(m/n)*x之间，用于测试电路板长度的m/n*(x‑1)至(m/n)*x。该电路板分割式的飞针测试机组可实现一块电路板由多台飞针测试机完成分割式测试，从而提高电路板的测试效率。
电路板分割测试机组方法

[实用新型]电路板分割式的飞针测试机组-CN202222199100.4有效
发明人：李兴光;魏文章 -专利权人：深圳市东方宇之光科技股份有限公司
申请日： 2022-08-19 - 公布日： 2022-11-25 - 主分类号： G01R1/073 文献下载
摘要：本申请公开了一种电路板分割式的飞针测试机组。该电路板分割式的飞针测试机组，包括：多台处于同一水平线的两两相接的n台飞针测试机，飞针测试机之间通过水平行进的水平传输装置进行连接，水平传输装置用于将进入飞针测试机组中的第一台飞针测试机的长度为m的电路板，按序通过n台飞针测试机，其中，每一飞针测试模块设置在内封闭平面长度的(m/n)*(x‑1)至(m/n)*x之间，用于测试电路板长度的m/n*(x‑1)至(m/n)*x。该电路板分割式的飞针测试机组可实现一块电路板由多台飞针测试机完成分割式测试，从而提高电路板的测试效率。
电路板分割测试机组

[发明专利]飞针测试机的运动轴的定位精度的测试系统及其测试方法-CN201710667311.7有效
发明人：谭艳萍;王星;翟学涛;杨朝辉;高云峰 -专利权人：大族激光科技产业集团股份有限公司;深圳市大族数控科技有限公司
申请日： 2017-08-07 - 公布日： 2020-04-21 - 主分类号： G01R31/28 文献下载
摘要：本发明涉及一种飞针测试机的运动轴的定位精度的测试系统及其方法。上述的飞针测试机的运动轴的定位精度的测试系统包括激光器组件、转角镜组、反射镜组以及单分光镜组。激光器组件产生激光束；转角镜组传播激光束；反射镜组用于反射激光束，使激光束反射回激光器组件；单分光镜组传播激光束；上述的飞针测试机的运动轴的控制方法及定位精度的补偿方法，保证了飞针测试机具有较高的测试精度，解决了飞针测试机的测试精度较低的问题；此外，上述的飞针测试机的运动轴的定位精度的补偿方法容易操作实施且成本较低。
测试运动定位精度系统及其方法

[实用新型]飞针测试机-CN201621434633.4有效
发明人：廉成;李宁;王星;翟学涛;高云峰 -专利权人：大族激光科技产业集团股份有限公司;深圳市大族数控科技有限公司
申请日： 2016-12-23 - 公布日： 2017-09-29 - 主分类号： G01R31/28 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种飞针测试机。上述飞针测试机用于对电路板进行测试，飞针测试机包括基板、夹紧机构以及输送机构；基板用于放置电路板；夹紧机构设于基板上，夹紧机构用于将电路板夹紧于基板上；输送机构包括第一驱动组件、推板、第二驱动组件和传送组件第一驱动组件设于基板上，推板滑动连接于基板上，推板连接于第一驱动组件的动力输出端，第一驱动组件驱动推板相对于基板沿第一方向运动；第二驱动组件设于推板上，第二驱动组件驱动传送组件相对于基板沿第二方向运动；上述的飞针测试机，使传送组件的动力输出端远离电路板，以防飞针测试机的测试机构与夹紧组件产生干涉，解决了飞针测试机的测试机构容易与夹紧组件产生干涉的问题。
测试

[发明专利]飞针测试机运动防撞机构-CN201710208275.8有效
发明人：高慧莹;党景涛;吕磊;左宁 -专利权人：北京半导体专用设备研究所(中国电子科技集团公司第四十五研究所)
申请日： 2017-03-31 - 公布日： 2020-02-07 - 主分类号： G01R31/28 文献下载
摘要：一种飞针测试机运动防撞机构，包括测针Ⅰ、测针Ⅱ运动部件以及测针Ⅰ、测针Ⅱ连接板。测针Ⅰ运动部件上安装有电子缓冲器以及信号接收器；测针Ⅱ运动部件上安装有防撞阻尼器以及位置检测器。测针Ⅰ、测针Ⅱ运动部件、防撞阻尼器、电子缓冲器、位置检测器和信号接收器共同构成防撞阻尼装置。本发明结构简洁，采用了机械、电控和程控三种防护方法防撞。飞针测试机工作中，当测针Ⅰ与测针Ⅱ在X向相向运动的绝对距离超过安全距离时则防撞阻尼装置工作，防撞阻尼装置避免了飞针测试机在X向测针的碰撞。利用本发明的飞针测试机运动防撞机构，飞针测试机工作安全可靠，自动化程度和防撞可靠性高，提高了测试机测试工作效率和使用寿命。
测试机运撞机

[发明专利]飞针测试机测试方法、装置、飞针测试机及存储介质-CN201910001924.6有效
发明人：欧阳云轩;王星;翟学涛;杨朝辉;高云峰 -专利权人：深圳市大族数控科技股份有限公司
申请日： 2019-01-02 - 公布日： 2021-06-01 - 主分类号： G01R31/28 文献下载
摘要：本发明涉及一种飞针测试机测试方法、装置、飞针测试机及存储介质，包括以下步骤：接收对载板上安放的PCB板进行测试的测试指令，所述载板上排布有多片PCB板，所述载板放置在飞针测试机的测试区域；根据所述测试指令从所述多片PCB板；对所述基准PCB板的位置进行检测，得到所述基准PCB板的位置信息；获取所述多片PCB板在所述载板的排布信息；根据所述基准PCB板的位置信息以及所述排布信息确定各片非基准PCB板的位置信息；所述飞针测试机根据多片所述PCB板的位置信息分别对多所述片PCB板进行测试，得到测试结果。本发明实施例的飞针测试机测试方法提高了飞针测试机的测试效率。
测试方法装置存储介质

[发明专利]一种晶圆测试系统和晶圆测试方法-CN201410715648.7有效
发明人：杜天敏 -专利权人：华进半导体封装先导技术研发中心有限公司
申请日： 2014-11-28 - 公布日： 2018-02-27 - 主分类号： G01R31/26 文献下载
摘要：本发明公开了一种晶圆测试系统和晶圆测试方法，所述系统包括飞针测试机和载板，飞针测试机用于对待测晶圆进行测试，载板用于在飞针测试机上承载待测晶圆，并提供与飞针测试机的夹板框相对应的对位标记以及载板版图，载板版图与待测晶圆的版图配合形成待测试版图文件，待测试版图文件导入所述飞针测试机的软件操作系统后形成测试图形文件。本发明能够通过飞针测试机对各类转接板晶圆或无源集成器件的晶圆进行自动化测试，且对不同版图的晶圆测试，无需购买自动探针台，并且不用根据不同版图的待测晶圆定制相应的昂贵探针卡，提高了灵活性，降低了成本，缩短了周期
一种测试系统方法

[实用新型]一种对多台飞针测试机自动上下料机构及飞针测试生产线-CN201720842005.8有效
发明人：麦伟东;王加勇;曾建威;康敏优;黄达许 -专利权人：深圳市迈创力科技有限公司
申请日： 2017-07-12 - 公布日： 2018-01-19 - 主分类号： G01R31/28 文献下载
摘要：本实用新型公开一种对多台飞针测试机自动上下料机构及飞针测试生产线；所述一种对多台飞针测试机上下料机构，包括基座、可在所述基座上滑动的机械手移动平台、固定在所述机械手移动平台上的机械手、置在所述基座一侧的待测板传送机和已测板传送机；所述飞针测试生产线包括一种对多台飞针测试机上下料机构和不少于两台飞针测试机。本实用新型通过将用于上下料的机械手设置在可移动的平台上，通过电机驱动移动平台，实现对多台飞针测试机上下料，有效提升了机械手的使用频率，降低设备投入，从而降低生产成本。
一种多台飞针测试自动上下机构生产线

[发明专利]基于悬臂式结构测试电路板的飞针测试机及测试方法-CN202210855855.7在审
发明人：梁大伟;李清友 -专利权人：深圳市东方宇之光科技股份有限公司
申请日： 2022-07-21 - 公布日： 2022-08-26 - 主分类号： G01R31/28 文献下载
摘要：本申请公开了一种基于悬臂式结构测试电路板的飞针测试机及测试方法，其中，该基于悬臂式结构测试电路板的飞针测试机包括：支持框，包括：与地面垂直设置的两条竖直支持架，以及分别与竖直支持架上下两端水平连接的两条水平支持臂，将支持框形成内封闭平面；至少八个偶数个飞针测试模块，所有飞针测试模块均匀地分布在内封闭平面的两侧，其中，所有飞针测试模块通过悬臂式结构均匀滑动地设置在水平支持臂上；电路板夹持结构，可拆卸式地设置在竖直支持架上，以使至少两个同时处于工作状态的飞针测试模块对电路板实现线路测试。该分针测试机可有效提高电路板测试效率，减少飞针测试机的占地面积且减少能耗。
基于悬臂结构测试电路板方法

[发明专利]飞针测试机的运动轴的控制方法及定位精度的校正方法-CN201710666755.9有效
发明人：谭艳萍;王星;翟学涛;杨朝辉;高云峰 -专利权人：大族激光科技产业集团股份有限公司;深圳市大族数控科技有限公司
申请日： 2017-08-07 - 公布日： 2019-09-17 - 主分类号： G01R31/28 文献下载
摘要：本发明涉及一种飞针测试机的运动轴的控制方法及定位精度的校正方法。上述的飞针测试机的运动轴的定位精度的校正方法包括：根据飞针测试机的测试区域设计校正板，其中，校正板上开设有网格状的测试点矩阵，测试点矩阵的四个顶点分别为测试点A、测试点B、测试点C和测试点D，测试点A和测试点B的连线方向为X轴方向；设定测试点矩阵在X轴方向和在Y轴方向的定位误差的允许值；用自动光学检测仪测试测试点矩阵的每个测试点相对于测试点A与测试点B其中之一的坐标数据；将校正板放置于测试区域。校正后的飞针测试机的XY轴的精度为测试时的定位精度，保证了飞针测试机具有较高的测试精度，解决了飞针测试机的测试精度较低的问题。
测试运动控制方法定位精度校正

[发明专利]一种硅通孔转接板晶圆测试系统和硅通孔转接板晶圆测试方法-CN201410398989.6无效
发明人：杜天敏 -专利权人：华进半导体封装先导技术研发中心有限公司
申请日： 2014-08-13 - 公布日： 2014-12-03 - 主分类号： G01R31/26 文献下载
摘要：本发明公开了一种硅通孔转接板晶圆测试系统和硅通孔转接板晶圆测试方法，所述系统包括飞针测试机和电路板，其中，所述飞针测试机用于对待测硅通孔转接板晶圆进行测试，所述电路板用于将所述待测硅通孔转接板晶圆固定到所述飞针测试机上，并提供与飞针测试机的架板框对准的对位标记。本发明能够通过飞针测试机对硅通孔转接板晶圆进行自动化测试，且可以对不同版图的硅通孔转接板晶圆进行测试，无需购买自动化测试设备和自动探针台，并且不用根据不同版图的硅通孔转接板晶圆定制相应的昂贵的探针卡，提高了测试效率，提供了一种低成本测试方案。
一种硅通孔转接板晶圆测试系统方法

[发明专利]平面式飞针测试机-CN201611086775.0有效
发明人：谭艳萍;王星;翟学涛;杨朝辉;高云峰 -专利权人：大族激光科技产业集团股份有限公司;深圳市大族数控科技有限公司
申请日： 2016-11-30 - 公布日： 2019-11-05 - 主分类号： G01R31/28 文献下载
摘要：本发明涉及一种平面式飞针测试机。上述的平面式飞针测试机用于对电路板进行测试，平面式飞针测试机包括上料机构、测试主机、下料机构以及送料机构；上料机构用于放置电路板；测试主机用于对电路板进行电性测试并发出测试信号；下料机构用于对测试后的电路板进行下料；送料机构位于上料机构与下料机构之间，送料机构包括第一机架、第一传送组件和第二传送组件，测试主机、第一传送组件和第二传送组件均设置于第一机架上；第一传送组件和第二传送组件均与测试主机通信连接；第一传送组件用于将位于上料机构上的电路板输送至测试主机上上述的平面式飞针测试机的整体结构较为紧凑且简单；由于平面式飞针测试机的结构较为紧凑，占地面积较小。
传送组件飞针测试机平面式电路板测试主机上料机构送料机构下料机构紧凑测试测试信号电性测试通信连接下料

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