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[发明专利]真空开关的凸轮联锁机构-CN200910182419.2无效
发明人：吴建春;汤智 -专利权人：江阴市云峰电器设备有限公司
申请日： 2009-09-14 - 公布日： 2011-04-20 - 主分类号： H01H33/66 文献下载
摘要：本发明涉及一种真空开关的凸轮联锁机构，包括接地主轴(1)、真空主轴(6)、隔离主轴(8)、真空主轴隔离凸轮机构面板(7)、真空主轴联锁凸轮(12)、隔离主轴联锁凸轮(9)、滚轮(14)、接地主轴凸轮(2)、隔离主轴凸轮(10)、接地隔离联锁滚轮(3)、接地隔离联锁连接片固定件(11)、接地隔离联锁连接杆(5)和联锁固定件支撑杆(13)，真空主轴(6)和隔离主轴(8)安装在真空主轴隔离凸轮机构面板(7)上，所述真空主轴联锁凸轮(12)和隔离主轴联锁凸轮(9)分别安装在真空主轴(6)和隔离主轴(8)上，所述接地主轴凸轮(2)和隔离主轴凸轮(10)分别安装在接地主轴(1)和隔离主轴(8)上。本发明只有在真空主轴处于分闸状态下时，才能够操作隔离主轴和接地主轴，在接地主轴合闸的情况下不能操作真空主轴。
真空开关凸轮联锁机构

[实用新型]真空开关的凸轮联锁机构-CN200920040254.0无效
发明人：吴建春;汤智 -专利权人：江阴市云峰电器设备有限公司
申请日： 2009-04-16 - 公布日： 2010-01-20 - 主分类号： H01H33/666 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种真空开关的凸轮联锁机构，包括接地主轴(1)、真空主轴(6)、隔离主轴(8)、真空主轴隔离凸轮机构面板(7)、真空主轴联锁凸轮(12)、隔离主轴联锁凸轮(9)、滚轮(14)、接地主轴凸轮(2)、隔离主轴凸轮(10)、接地隔离联锁滚轮(3)、接地隔离联锁连接片固定件(11)、接地隔离联锁连接杆(5)和联锁固定件支撑杆(13)，真空主轴(6)和隔离主轴(8)安装在真空主轴隔离凸轮机构面板(7)上，所述真空主轴联锁凸轮(12)和隔离主轴联锁凸轮(9)分别安装在真空主轴(6)和隔离主轴(8)上，所述接地主轴凸轮(2)和隔离主轴凸轮(10)分别安装在接地主轴(1)和隔离主轴(8)上。本实用新型只有在真空主轴处于分闸状态下时，才能够操作隔离主轴和接地主轴，在接地主轴合闸的情况下不能操作真空主轴。
真空开关凸轮联锁机构

[发明专利]一种基于公自转装载托盘的连续镀膜生产线-CN201810914521.6有效
发明人：朱选敏;郭爱云 -专利权人：武汉科瑞达真空科技有限公司
申请日： 2018-08-13 - 公布日： 2020-12-29 - 主分类号： C23C14/56 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于公自转装载托盘的新型连续镀膜生产线，包括公自转托盘、入料模块、真空隔离阀模块、进片真空工艺模块、镀膜真空工艺模块、出片真空工艺模块、出料模块，所述进片真空工艺模块的一端安装有真空隔离阀模块，所述进片真空工艺模块的另一端通过真空隔离阀模块与镀膜真空工艺模块的一端隔离，所述镀膜真空工艺模块的另一端通过真空隔离阀模块与出片真空工艺模块的一端隔离，所述出片真空工艺模块的另一端安装有真空隔离阀模块；采用独立的进出片腔体设计，由独立的真空隔离阀模块进行真空隔离，传送系统采用导轮导杆摩擦传送，平稳性好；实现了镀膜的全自动化生产，减少了人员的参与状态，提高了产品的成品率。
一种基于自转装载托盘连续镀膜生产线

[实用新型]一种减少异常开腔次数的离子注入机-CN201320149336.5有效
发明人：吕俊;许松源;孙伦郑;张虎;王艾华;赵建华 -专利权人：中电电气（南京）光伏有限公司
申请日： 2013-03-29 - 公布日： 2013-10-23 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：本实用新型公开一种减少异常开腔次数的离子注入机，包括真空部分和自动传送部分，所述真空部分包括高真空区和通过第一真空隔离阀和第二真空隔离阀设置的缓冲区，所述高真空区内设有工艺反应腔室，所述高真空区内设置有第三真空隔离阀，所述第三真空隔离阀设置在工艺反应腔室与第二真空隔离阀之间，将工艺反应腔室与第二真空隔离阀隔离；本实用新型（1）在处理故障时可以实现工艺反应腔室的缓冲区隔离；（2）缩短因缓冲区与高真空区的阀漏故障问题处理及复机的时间
一种减少异常开腔次数离子注入

[实用新型]一种新型真空负荷或真空接触器隔离开关-CN200720151439.X无效
发明人：涂大石 -专利权人：涂大石
申请日： 2007-06-27 - 公布日： 2008-03-26 - 主分类号： H01H33/66 文献下载
摘要：一种新型真空负荷或真空接触器隔离开关，其主要是由真空负荷开关或真空接触器开关、隔离开关及安装有滚轮的底座构成；真空负荷开关或真空接触器开关通过安装在真空灭弧室上的静触头及绝缘子而与隔离开关连接；而隔离开关中的隔离刀臂又是包括动刀臂及折叠动刀臂由于隔离刀臂可折叠，所以节省空间。
一种新型真空负荷接触器隔离开关

[实用新型]医用手机透明防护罩-CN202020393424.X有效
发明人：洪志明;古宇能;曾杨玲;蔡俊平 -专利权人：深圳市中医院
申请日： 2020-03-24 - 公布日： 2020-12-22 - 主分类号： B65D25/54 文献下载
摘要：本实用新型涉及医疗用具的技术领域，公开了医用手机透明防护罩，包括隔离罩以及操作台，操作台上设有具有粘性的贴合块，手机放置在贴合块上被阻碍前后移动；操作台设有真空器，隔离罩具有透明膜，透明膜用于隔绝手机屏幕，透明膜位于隔离罩的上端，且平行于操作台的上表面；操作台设有真空器，隔离罩具有真空口，真空器管道连通真空口，当隔离罩放置在操作台上，且真空器连通真空口时，真空器将隔离罩内的空气抽走，透明膜从内往外逐渐与手机接触紧贴；通过设置隔离罩以及操作台，将手机放置在隔离罩中，操作台的真空器抽吸隔离罩中的空气，从而使得隔离罩中真空，降低了细菌感染的危险。
医用手机透明防护罩

[发明专利]激光真空隔窗组件的安装机构-CN202211389425.7在审
发明人：卢礼华;张鹏;赵航;于福利;曹永智;陈家轩;高强 -专利权人：哈尔滨工业大学
申请日： 2022-11-08 - 公布日： 2023-04-25 - 主分类号： H01S3/00 文献下载
摘要：本发明提供了一种激光真空隔窗组件的安装机构，涉及大型激光装置技术领域。具体包括真空隔离框体、锁紧组件，所述锁紧组件与所述真空隔离框体相连接，所述锁紧组件用于连接真空隔窗组件，所述锁紧组件适于将所述真空隔窗组件压紧在所述真空隔离框体上或带动所述真空隔窗组件脱离所述真空隔离框体由于本发明激光真空隔窗组件的安装机构中锁紧组件能够将真空隔窗组件压紧在真空隔离框体上或带动真空隔窗组件脱离真空隔离框体，通过操作锁紧组件即可完成真空隔窗组件的拆装，操作过程简单、效率高。
激光真空组件安装机构

[发明专利]一种隔离联动真空负荷开关的断合方法-CN201811026819.X有效
发明人：李季 -专利权人：珠海沃顿电气有限公司
申请日： 2018-09-04 - 公布日： 2020-07-14 - 主分类号： H01H9/26 文献下载
摘要：本发明公开了一种隔离联动真空负荷开关的断合方法，负荷开关的进线端及出线端设置有隔离开关和真空灭弧器，第一转子用于控制隔离开关通断，第二转子用于控制真空灭弧器通断，操作机构用于控制隔离开关及真空灭弧器联动；隔离开关合闸T时间后真空灭弧器合闸；操作机构还控制隔离开关的分闸动作及真空灭弧器的分闸动作联动。设置隔离开关及真空灭弧器两处断口，真空负荷开关具有较高的开断电压，满足高电压等级要求；隔离开关及真空灭弧器两处断口联动断合，负荷开关不易起电弧；隔离开关及真空灭弧器两处断口可以为几毫秒级的先后合闸，隔离开关合闸瞬态所产生的电弧被快速熄灭后，真空灭弧器安全合闸。
一种隔离联动真空负荷开关方法

[实用新型]一种带上下隔离的真空负荷开关-CN202122569803.7有效
发明人：苏太育;张春玉;江若凡;董燕天;倪欢欢 -专利权人：福建华开电力科技有限公司
申请日： 2021-10-25 - 公布日： 2022-06-10 - 主分类号： H01H3/40 文献下载
摘要：本实用新型涉及真空负荷开关，公开了一种带上下隔离的真空负荷开关，包括下隔离开关操作副轴和设置在下隔离开关操作副轴上方的下隔离开关操作轴，以及设置在下隔离开关操作轴上方的上隔离开关操作轴，上隔离开关操作轴的上端设置有真空负荷开关操作轴，真空负荷开关操作轴的上方设置有上隔离开关操作副轴，真空负荷开关操作轴的外表面上设置有真空负荷开关机构，上隔离开关操作副轴的外表面上设置有上隔离开关机构，下隔离开关操作副轴的外表面上设置有下隔离开关机构，当停电操作时，逆时针转动真空负荷开关转钮，真空负荷开关齿状块带动单侧齿状环形长块向下移动，观察指示窗观察到圆形凸块与上隔离开关放置槽和下隔离开关放置槽相脱离。
一种上下隔离真空负荷开关

[发明专利]一种工艺腔室及半导体处理设备-CN202310118681.0在审
发明人：郭士选;王炳元;苏恒毅;李一曼 -专利权人：北京北方华创微电子装备有限公司
申请日： 2023-01-31 - 公布日： 2023-05-02 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：本申请公开了一种工艺腔室及半导体处理设备，工艺腔室包括腔室本体，以及设置于腔室本体内的承载组件和隔离组件；承载组件包括基盘以及真空机械卡盘，真空机械卡盘叠设于基盘的底面，真空机械卡盘通过真空吸附将晶圆吸附固定于基盘的上方；隔离组件套设在承载组件的外侧，用于将承载组件与隔离组件的外侧环境进行绝缘隔离，隔离组件包括上隔离环，上隔离环套设在基盘和真空机械卡盘的外侧，并且上隔离环的底面低于真空机械卡盘的顶面，本申请上隔离环从侧面对真空机械卡盘进行了隔离，从而可以避免真空机械卡盘的顶角与外界环境直接正对，降低了真空机械卡盘的顶角发生放电的风险，从而可以提高晶圆边缘刻蚀的良率。
一种工艺半导体处理设备

[实用新型]一种浸渗用抽真空隔离罐组件-CN201921748127.6有效
发明人：王磊;陈钢毅;刘海洋 -专利权人：津伦（天津）精密机械股份有限公司
申请日： 2019-10-17 - 公布日： 2020-06-30 - 主分类号： B01D46/24 文献下载
摘要：本实用新型涉及抽真空隔离罐技术领域，公开了一种浸渗用抽真空隔离罐组件，包括隔离罐支架、隔离罐、钢丝网架、过滤网、第一抽真空管、第二抽真空管、夹套抽真空管、手阀和真空泵，隔离罐固定在隔离罐支架顶部，所述隔离罐顶端装有密封盖，钢丝网架水平安装在隔离罐内部，钢丝网架将隔离罐的内腔分割成上下两个腔室，钢丝网架上包裹有高目数的过滤网；隔离罐内部的上腔室通过第一抽真空管与真空泵连通，隔离罐内部的下腔室通过第二抽真空管与夹套抽真空管的上部连通，夹套抽真空管的顶部安装有法兰盘，夹套抽真空管的顶部通过法兰盘与浸渗罐连通。
一种浸渗用抽真空隔离组件

[发明专利]一种污染物隔离装置以及真空度监测设备-CN201811217881.7有效
发明人：胡启琼 -专利权人：苏州能讯高能半导体有限公司
申请日： 2018-10-18 - 公布日： 2022-02-01 - 主分类号： B01J3/00 文献下载
摘要：本发明提供了一种污染物隔离装置以及真空度监测设备，涉及真空设备技术领域，该污染物隔离装置包括真空管壳、第一隔离板、第二隔离板以及连接件，第一隔离板和第二隔离板间隔设置在真空管壳内，且第一隔离板和第二隔离板之间具有隔离腔，连接件设置在隔离腔内并分别与第一隔离板和第二隔离板连接，第一隔离板上开设有第一流通孔，第二隔离板上开设有第二流通孔，第一流通孔的孔径大于或等于第二流通孔的孔径。相较于现有技术，本发明提供一种污染物隔离装置，可以有效防止产物对真空规等仪器的影响，避免设备的副产物对真空规等仪器进行污染，确保真空规等仪器测试值的准确性，延长真空规等仪器的使用寿命。
一种污染物隔离装置以及真空监测设备

[实用新型]一种冷冻消融针的无尾真空管的焊接系统-CN201921586676.8有效
发明人：刘朋;肖剑;史岩 -专利权人：海杰亚(北京)医疗器械有限公司
申请日： 2019-09-23 - 公布日： 2020-06-19 - 主分类号： B23K15/06 文献下载
摘要：本实用新型提供一种冷冻消融针的无尾真空管的焊接系统，该焊接系统包括隔离室、焊接装置、密封套定位机构以及负压源；通过隔离室与负压源连通使隔离室形成真空环境，所述焊接装置、所述密封套定位机构以及无尾真空管均位于所述隔离室内，无尾真空管放入隔离室内时，无尾真空管的隔热腔与隔离室连通，将焊接装置移动到相应的焊接位置处以焊接无尾真空管，利用密封套定位机构能够将无尾真空管的隔热腔与隔离室隔离，从而在真空环境下实现无尾真空管的抽真空和焊接密封以形成真空状态的隔热腔在利用本实用新型的焊接系统的整个工作过程中，无尾真空管始终位于隔离室内，无尾真空管不需要在工序间进行转运也就没有因工序间转运而造成的污染。
一种冷冻消融真空管焊接系统

[发明专利]真空管道高速交通移动隔离门设置-CN200910306188.1无效
发明人：张耀平;刘本林;赵勇 -专利权人：张耀平;西京学院
申请日： 2009-08-27 - 公布日： 2010-02-10 - 主分类号： E21F17/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种真空管道(或真空隧道)高速交通之真空环境移动隔离门设置，属于真空管道交通之真空环境边界构造的技术领域。本案的移动隔离门设置主要用于真空管道交通系统的气闸站，在气闸站隔离门的密封面上设置带有门室的环形沟道，同时设置有移动门槽，移动门槽底部安装移动轨道，与移动门的滚轮配合使用。当密封门/移动隔离门移动到门室中，气闸站隔离门即打开，反之则关闭。本案的移动门可用于真空管道运输系统气闸站的隔离门，也可用于真空管道交通主管道线路的分段隔离，以及其他需要对真空环境进行隔离的位置。
真空管道高速交通移动隔离设置

[实用新型]真空负荷开关-CN201320163226.4有效
发明人：赵永和 -专利权人：浙江巨力电气有限公司
申请日： 2013-03-19 - 公布日： 2013-08-14 - 主分类号： H01H33/66 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种真空负荷开关，包括隔离端口、真空灭弧室、隔离端口绝缘轴、真空灭弧室绝缘轴、壳体、操作机构、操作手柄，隔离端口与真空灭弧室分别一一对应设置在壳体两端，隔离端口绝缘轴和真空灭弧室绝缘轴设置在隔离端口与真空灭弧室之间，分别用于驱动隔离端口与真空灭弧室的开断，操作机构设置在壳体一侧，操作机构驱动隔离端口绝缘轴和真空灭弧室绝缘轴动作，操作手柄连接在操作机构外侧。真空灭弧室和隔离端口通过绝缘轴串联，两个绝缘轴均通过操作机构驱动，分闸后形成双断口，绝缘性能优越。
真空负荷开关

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