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[实用新型]一种钟罩式气相化学用沉积炉-CN202222520598.X有效
发明人：王勇 -专利权人：成都四盛科技有限公司
申请日： 2022-09-23 - 公布日： 2023-03-28 - 主分类号： C23C16/54 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种钟罩式气相化学用沉积炉，包括钟罩式气相化学沉积炉、固定压板和安装机构，所述钟罩式气相化学沉积炉直接置于用于支撑的底座上端的中部，连接柱，所述连接柱固定连接在底座上端的左右两侧，所述固定压板用于对钟罩式气相化学沉积炉的下端压紧固定，所述安装机构对称设置在钟罩式气相化学沉积炉的左右两端。该钟罩式气相化学用沉积炉，能够非常便捷的对钟罩式气相化学沉积炉进行夹持固定，防止钟罩式气相化学沉积炉在使用过程中产生晃动，紧固性好，结合固定压板对钟罩式气相化学沉积炉的下端进行压紧限位，使得钟罩式气相化学沉积炉的密封性更好
一种钟罩式气相化学沉积

[实用新型]一种钟罩式气相化学沉积炉-CN201921269635.6有效
发明人：王勇;朱雪峰;何飞 -专利权人：成都四盛科技有限公司
申请日： 2019-08-07 - 公布日： 2020-04-17 - 主分类号： C23C16/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种钟罩式气相化学沉积炉，包括基座、钟罩沉积炉本体、水平螺纹柱和插销，所述基座上设置有钟罩沉积炉本体，所述水平螺纹柱贯穿调节窗，且水平螺纹柱上安装有紧固螺母，并且水平螺纹柱固定在操作板上该钟罩式气相化学沉积炉，采用新型的结构设计，使得本装置可以对钟罩沉积炉本体进行限位固定，令钟罩沉积炉本体不会轻易晃动移位，且能与基座紧密贴合接触，避免由于接触不紧密造成的气密性不足。
一种钟罩式气相化学沉积

[实用新型]一种设有散热结构的钟罩式气相化学沉积炉-CN201921136235.8有效
发明人：冷春艳 -专利权人：冷春艳
申请日： 2019-07-19 - 公布日： 2020-05-05 - 主分类号： C23C16/44 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种设有散热结构的钟罩式气相化学沉积炉，包括沉积炉本体和探针天线，所述沉积炉本体的边侧安装有向下倾斜分布的进气管，所述探针天线垂直安装在沉积炉本体的顶端，且探针天线的内部空腔中设置有同样垂直分布的竖杆，所述沉积炉本体的边侧安装有电动机，且电动机和垂直分布的转轴相连接，所述石英钟罩的内弧面上设置有冷却杆，且冷却杆的中心处固定安装在竖杆底端，并且石英钟罩的底端设置有桨叶，所述探针天线的底端设置有排气口。该设有散热结构的钟罩式气相化学沉积炉，通过对现有倒置放置的钟罩内外部结构的添加和改动，实现了钟罩本身的高效散热，同时对吹入沉积炉的反应气体具备聚拢作用，设计更加合理。
一种设有散热结构钟罩式气相化学沉积

[实用新型]一种钟罩式化学气相沉积炉-CN202021338521.5有效
发明人：贺鹏博;周帆 -专利权人：湖南铠欣新材料科技有限公司
申请日： 2020-07-09 - 公布日： 2021-05-14 - 主分类号： C23C16/44 文献下载
摘要：本实用新型提供一种钟罩式化学气相沉积炉。钟罩式化学气相沉积炉，包括：基座；沉淀炉本体，所述沉淀炉本体设在基座的顶部；四个支杆，四个所述支杆均固定安装在基座的顶部，四个所述支杆呈矩形列阵分布；两个对杆，两个所述对杆分别转动安装在四个所述支杆之间本实用新型提供的钟罩式化学气相沉积炉具有使用方便、便有将沉淀炉本体压牢、保证沉淀炉整体的密闭性的优点。
一种钟罩式化学沉积

[实用新型]一种钟罩式化学气相沉积设备-CN201920048291.X有效
发明人：程亚南;王锴宁;时昌温;连克科 -专利权人：郑州科佳电炉有限公司
申请日： 2019-01-11 - 公布日： 2019-11-26 - 主分类号： C23C16/52 文献下载
摘要：本实用新型提出了一种钟罩式化学气相沉积设备，包括反应柜，反应柜与所述控制柜连接，反应柜内上端设有钟罩壳，钟罩壳内设有钟罩保温层，钟罩保温层内设有钟罩箱，钟罩保温层内壁与钟罩箱外侧形成空腔，钟罩箱上设有通气孔，反应柜内部底端上设有与液压油泵连接的升降平台，升降平台上端设有从下至上依次连接的壳体封闭板、保温封闭板、箱体封闭板，钟罩壳左右两侧设有通向空腔的进气管，进气管上设有转接头，反应柜左右两侧设有通向空腔的出气管，出气管上下两端设有球阀，出气管上设有与冷水机连接的水冷管，钟罩保温层前后两侧设有通向空腔的硅钼棒；本实用新型适合尺寸较大的产品，带有升降设备，进气出气均匀。
钟罩反应柜空腔保温层出气管本实用新型升降平台左右两侧进气管上端化学气相沉积设备保温层内壁壳体封闭上下两端升降设备箱体封闭液压油泵依次连接出气封闭板硅钼棒控制柜冷水机水冷管通气孔钟罩式转接头底端进气球阀保温

[发明专利]一种气相沉积清理行星盘的系统及其清洗方法-CN201410456414.5有效
发明人：谈步亮;刘韵吉;杨敏红;何慧强;陈道友 -专利权人：桑德斯微电子器件（南京）有限公司
申请日： 2014-09-09 - 公布日： 2014-12-10 - 主分类号： C23C16/44 文献下载
摘要：本发明公开了一种气相沉积清理行星盘的系统及其清洗方法，属于芯片工装设备领域。包括蒸发机台、冷泵、机械泵、高压柜和晶控仪，所述的蒸发机台包括钟罩，所述的钟罩将三角架、轨道、行星盘、烘烤灯和电子枪封闭在钟罩内部形成腔体，钟罩内部的腔体与外部的氦气压缩机、冷泵、机械泵和高压柜连接。在旋转过程中对行星盘进行气相沉积，沉积表面均匀光滑。使用物理方法的气相沉积方法，使用镍和铝进行气相沉积，对环境无影响，环保无污染，仪器的使用寿命长，耗时短，效率高。
一种沉积清理行星系统及其清洗方法

[实用新型]一种气相沉积清理行星盘的系统-CN201420516651.1有效
发明人：谈步亮;刘韵吉;杨敏红;何慧强;陈道友 -专利权人：桑德斯微电子器件（南京）有限公司
申请日： 2014-09-09 - 公布日： 2014-12-24 - 主分类号： C23C16/44 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种气相沉积清理行星盘的系统，属于芯片工装设备领域。包括蒸发机台、冷泵、机械泵、高压柜和晶控仪，所述的蒸发机台包括钟罩，所述的钟罩将三角架、轨道、行星盘、烘烤灯和电子枪封闭在钟罩内部形成腔体，钟罩内部的腔体与外部的氦气压缩机、冷泵、机械泵和高压柜连接。在旋转过程中对行星盘进行气相沉积，沉积表面均匀光滑。使用物理方法的气相沉积方法，使用镍和铝进行气相沉积，对环境无影响，环保无污染，仪器的使用寿命长，耗时短，效率高。
一种沉积清理行星系统

[发明专利]抽真空式钟罩式光亮退火炉保护气回收循环利用系统-CN201310146999.6无效
发明人：俞江 -专利权人：苏州品源气体设备有限公司
申请日： 2013-04-24 - 公布日： 2013-07-24 - 主分类号： C21D1/773 文献下载
摘要：本发明公开了一种抽真空式钟罩式光亮退火炉保护气回收循环利用系统，它包括多个钟罩式炉体，所述的钟罩式炉体上设置有出气管路，所述的出气管路上设置有回气阀，所述的出气管路连通于保护气回收装置，所述的保护气回收装置的进气口与钟罩式炉群的回气管路相连通，所述的回气管路与钟罩式炉体相连通,所述的钟罩式炉体上设置排气管路，所述的排气管路与真空泵连通，泵体与放空管路连通。从而，避免了保护气直接燃烧掉或对大气排空，大大节省了能源，适应节能减排发展方向，经济效益和社会效应显著，堪称是具有新颖性、创造性、实用性的好技术。
真空式钟罩式光亮退火炉保护回收循环利用系统

[发明专利]一种厌氧消化兼储气和稳压的装置-CN201710630333.6在审
发明人：陈仁义 -专利权人：陈仁义
申请日： 2017-07-28 - 公布日： 2017-10-10 - 主分类号： C12M1/107 文献下载
摘要：本发明公开了一种厌氧消化兼储气和稳压的装置，包括钟罩，所述钟罩为一罐体，并分为上半部分和下半部分，上半部分为储气室，下半部分为厌氧消化池和水槽，且水槽设置在厌氧消化池的外壁与钟罩的内壁之间，所述钟罩顶部设置有气体排空管和负压安全装置，气体排空管和负压安全装置连接储气室，所述厌氧消化池内设置有布水器、气固液三相分离器和出气管，出气管一端连通储气室，另一端经厌氧消化池底部与外界相连，所述气固液三相分离器底部连接有排水管，排水管经厌氧消化池从钟罩侧面与外界相连，所述水槽装清水作为钟罩水封水槽。
一种消化兼储气稳压装置

[发明专利]钟罩式光亮退火炉保护气回收循环利用工艺及其装置-CN201010237270.6有效
发明人：俞江;杨旭锋 -专利权人：苏州品源气体设备有限公司
申请日： 2010-07-27 - 公布日： 2011-01-26 - 主分类号： C21D9/663 文献下载
摘要：本发明涉及钟罩式光亮退火炉保护气回收循环利用工艺及其装置，钟罩式光亮退火炉群的回流保护气经冷却冷凝器进行油和气的冷却冷凝，冷凝冷却后的保护气进入汽水分离器除去大部分的水和油，经过冷却除水除油后的保护气进入前级缓冲罐，保护气经过前级缓冲罐缓冲后通过罗茨鼓风机进行增压，增压后的保护气经过吸油器吸油和除氧器除氧，除氧器反应生成水放出热量，保护气再由冷却器冷却和冷凝器除水，冷却除水后的保护气进入汽水分离器分离掉水，保护气再进入吸附再生式干燥装置进行深度除水并去除杂质，纯气经后级缓冲罐减压稳压后供给钟罩式光亮退火炉群。实现将钟罩式光亮退火炉群的回流保护气进行回收净化，且再作为保护气进入退火炉循环利用。
钟罩式光亮退火炉保护回收循环利用工艺及其装置

[发明专利]一种用于微波等离子体化学气相沉积装置的石英钟罩-CN201610052136.6在审
发明人：李成明;赵云;安康;刘金龙;黑立富;魏俊俊;陈良贤 -专利权人：北京科技大学
申请日： 2016-01-26 - 公布日： 2016-04-27 - 主分类号： C23C16/44 文献下载
摘要：本发明公开了一种用于微波等离子体化学气相沉积装置的石英钟罩，所述石英钟罩，为下端圆柱形筒，上端为带有多个石英圆环的半球形封口；所述石英圆环呈水平阵列分布于半球形封口的中下部，且石英圆环的外径与圆柱形筒的外径相同应用本发明在微波等离子体化学气相沉积的过程中，能有效提高石英钟罩的散热能力，降低石英钟罩的温度，减缓活性基团在半球形封口内表面上的沉积，降低沉积物对等离子体放电的影响及对试样污染的倾向，有时降低石英钟罩温度，也会减轻等离子体对石英钟罩的刻蚀，采用本发明可适当提高输入的微波功率，提高试样的沉积速率和质量。
一种用于微波等离子体化学沉积装置石英钟

[实用新型]一种钟罩式化学气相沉积炉-CN201920665747.7有效
发明人：甘维 -专利权人：甘维
申请日： 2019-05-09 - 公布日： 2020-03-31 - 主分类号： C23C16/44 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种钟罩式化学气相沉积炉，包括底座、第二炉体、第一连接齿轮和电机，所述底座的上方设置有第一炉体，且第一炉体的顶部连接有炉盖，并且炉盖的上方设置有连接口，所述第二炉体设置于第一炉体的内部，该钟罩式化学气相沉积炉，第二炉体内部设置有连接杆，且连接杆左侧连接的刮板和第二炉体为贴合连接，当第二炉体转动时，可以通过刮板将第二炉体内壁上留有的杂质进行刮除，实现对第二炉体进行清理的目的，为工作人员的操作带来便利
一种钟罩式化学沉积

[发明专利]一种具有气相淬火功能的烧结炉及其淬火工艺-CN202011478793.X有效
发明人：唐鹿 -专利权人：江西科技学院
申请日： 2020-12-15 - 公布日： 2022-08-23 - 主分类号： F27B17/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种具有气相淬火功能的烧结炉，包括钟罩、设置于钟罩内部的烧结腔、与钟罩相连通的淬火腔以及回转装置，钟罩上设置有钟罩门、进气口以及排气口，钟罩内还设置有一环形腔，以连接烧结腔和淬火腔；烧结腔包括：进料门、出料门、设置于烧结腔底部的承载台和加热元件；承载台上设置有凹槽，加热元件内嵌于凹槽和烧结腔内壁；淬火腔包括腔室门、侧壁门、叉桨装置以及若干支撑钎和轮廓传感器；淬火腔上设置有进气通道和排气通道；本发明提供的气氛炉烧结不仅可以实现对样品进行气氛烧结和退火处理，同时也可以实现对样品的气相淬火工艺，从而提供材料的性能。
一种有气淬火功能烧结炉及其工艺

[发明专利]钟罩式光亮退火炉保护气回收循环利用系统-CN201310146998.1无效
发明人：俞江 -专利权人：苏州品源气体设备有限公司
申请日： 2013-04-24 - 公布日： 2013-08-28 - 主分类号： C21D1/74 文献下载
摘要：本发明公开了一种钟罩式光亮退火炉保护气回收循环利用系统，它包括多个光亮退火炉，所述的光亮退火炉上设置有出气管路，所述的出气管路上设置有回气阀，所述的出气管路连通于保护气回收装置，所述的保护气回收装置的出气口与钟罩式炉群的进气管路相连通本发明提供的一种钟罩式光亮退火炉保护气回收循环利用系统，实现将钟罩式光亮退火炉群的回流保护气进行回收处理净化，并且再作为保护气进入退火炉循环利用。从而，避免了保护气直接燃烧掉或对大气排空，大大节省了能源，适应节能减排发展方向，经济效益和社会效应显著，堪称是具有新颖性、创造性、实用性的好技术。
钟罩式光亮退火炉保护回收循环利用系统

[实用新型]钟罩式光亮退火炉保护气回收循环利用系统-CN201320210696.1有效
发明人：俞江 -专利权人：苏州品源气体设备有限公司
申请日： 2013-04-24 - 公布日： 2013-11-06 - 主分类号： C21D1/74 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种钟罩式光亮退火炉保护气回收循环利用系统，它包括多个光亮退火炉，所述的光亮退火炉上设置有出气管路，所述的出气管路上设置有回气阀，所述的出气管路连通于保护气回收装置，所述的保护气回收装置的出气口与钟罩式炉群的进气管路相连通本实用新型提供的一种钟罩式光亮退火炉保护气回收循环利用系统，实现将钟罩式光亮退火炉群的回流保护气进行回收处理净化，并且再作为保护气进入退火炉循环利用。从而，避免了保护气直接燃烧掉或对大气排空，大大节省了能源，适应节能减排发展方向，经济效益和社会效应显著，堪称是具有新颖性、创造性、实用性的好技术。
钟罩式光亮退火炉保护回收循环利用系统

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