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- [发明专利]玻璃基板的制造方法-CN201280050824.9有效
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西山荣
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株式会社NSC
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2012-10-09
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2014-07-09
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C03C15/00
- 本发明提供一种可以在单片方式的化学研磨装置中将1片薄片状的玻璃基材分割为多个玻璃基板的玻璃基板的制造方法。本发明是适用于以对连续地搬送的多个玻璃基板进行化学研磨处理的方式构成的化学研磨装置的玻璃基板的制造方法。化学研磨装置至少具备搬送部及研磨处理部。在该化学研磨装置中,通过分别调整从上侧向玻璃基材喷射的化学研磨液的量、和从下侧向玻璃基材喷射的化学研磨液的量,而使形成于第一主面的分区槽及形成于第二主面的分区槽在从玻璃基材的厚度方向的中心偏离规定量的位置贯通
- 玻璃制造方法
- [发明专利]石英玻璃坩埚-CN200980104583.X无效
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神田稔
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日本超精石英株式会社
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2009-02-04
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2011-02-09
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C03B20/00
- 本发明提供一种石英玻璃坩埚,该石英玻璃坩埚的外表面层由天然石英玻璃形成,内面层由合成石英玻璃形成。直筒部具有朝向上方并向外侧展开的形状,优选的,向外侧展开部分的下端和上端的内径差是0.1%以上,并且,角部的合成石英玻璃内面层的层厚是角部中央部分壁厚的20%以上~80%以下,直筒部及底部的合成石英玻璃内面层薄于角部的合成石英玻璃内面层本发明提供一种即使是大口径的坩埚也在提拉时的高温下上难以产生内倒变形的石英玻璃坩埚。
- 石英玻璃坩埚
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