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- [发明专利]一种薄膜处理装置及其方法-CN202111653272.8在审
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姜勇;庞云玲;闫韬;陈恩毅
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中微半导体设备（上海）股份有限公司
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2021-12-30
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2023-07-11
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C23C16/455
- 本发明公开了一种薄膜处理装置及其方法，该装置包含：反应腔室、进气隔板和排气隔板；进气法兰组件，其包含多个与反应空间对应的主反应气体喷口和与净化空间对应的辅助气体喷口；气体导流组件，其包含多个与进气隔板的辅助气体进气通道连通的辅助气体导流管道，各辅助气体导流管道中的气流独立可调；主反应气体经主反应气体喷口输送到反应空间，辅助气体经辅助气体喷口、辅助气体导流管道、辅助气体进气通道导入进气隔板上方。其优点是：该装置中主反应气体和辅助气体在进入晶圆处理区域之前已开始了混合过程，结合对各辅助气体导流管道内的辅助气体的独立调控，以实现对混合气体组分均匀性的精确调控，有利于获得更好的成膜均匀度和薄膜质量。
- 一种薄膜处理装置及其方法
- [发明专利]测定沿着管道设置的流量计的误差的方法-CN201380049481.9有效
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安德里亚·西库罗;安德里亚·扎纳克
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皮德罗菲奥伦蒂尼有限公司
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2013-09-20
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2018-10-30
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G01F25/00
- 本发明是一个用来测量沿管道（2）流动的基准气体流动速率的系统（1），其包括：一个供给单元（3）用来供给含有示踪气体的辅助气体；一个供给管道（4），在热力学供应条件下，引导辅助气体在管道（2）内流动；一个单元（6），用来测量在供给管道（4）内流动的辅助气体的流动速率；一个管道（7），用来从管道（2）引入辅助气体的点的下游处来提取基准气体和辅助气体的混合物；一个装置（9），用来探测混合物中示踪气体的浓度；一个处理单元（10）实时地连接到测量单元（6）和探测装置（9），该处理单元（10）被设置用来计算基准气体流动速率，该流动速率是作为在混合物中流动的辅助气体和示踪气体浓度的函数。供给管道（4）包括一个渐缩喷嘴（11），并且设置供给单元（3），使得辅助气体在喷嘴（11）内达到声速。测量单元（6）包括一个传感器单元（12a、12b），用来探测辅助气体的热力学供应条件，还包括一个部件（13），基于热动力供应条件以及喷嘴（11）的几何形状来计算辅助气体的流动速率。
- 测定气体流动速率系统以及使用测量正常操作没有管道断开确定流量计误差
- [发明专利]一种泡沫除湿热泵烘干机-CN202011290451.5在审
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郭振明;郭振军
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天津五洲同创空调制冷设备有限公司
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2020-11-18
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2021-02-09
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F26B11/04
- 本发明是一种泡沫除湿热泵烘干机，包括机箱，机箱内腔分为热泵机组室、辅助处理室和烘干室；热泵机组室内设有冷凝器、节流装置、蒸发器和压缩机，冷凝器连有气体入口管道、气体出口管道，气体出口管道上设有循环风机；辅助处理室内设有辅助换热器、除湿除尘器，辅助换热器的入口与气体出口管道相连且出口连有鼓风管道，除湿除尘器的入口连有除湿烘干管道且出口与气体入口管道相连，鼓风管道、除湿烘干管道均伸入烘干室内。本发明烘干室回收的湿热气体先经过除湿除尘器进行初步的脱水除尘作业，再进入冷凝器中进行换热冷凝，效率更高，换热后的干热气体经过辅助换热器，使得进入烘干室内的气体温度更高，能够更加快速高效的烘干物料。
- 一种泡沫湿热烘干机
- [实用新型]一种泡沫除湿热泵烘干机-CN202022666154.8有效
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郭振明;郭振军
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天津五洲同创空调制冷设备有限公司
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2020-11-18
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2021-08-06
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F26B11/04
- 本实用新型是一种泡沫除湿热泵烘干机，包括机箱，机箱内腔分为热泵机组室、辅助处理室和烘干室；热泵机组室内设有冷凝器、节流装置、蒸发器和压缩机，冷凝器连有气体入口管道、气体出口管道，气体出口管道上设有循环风机；辅助处理室内设有辅助换热器、除湿除尘器，辅助换热器的入口与气体出口管道相连且出口连有鼓风管道，除湿除尘器的入口连有除湿烘干管道且出口与气体入口管道相连，鼓风管道、除湿烘干管道均伸入烘干室内。本实用新型烘干室回收的湿热气体先经过除湿除尘器进行初步的脱水除尘作业，再进入冷凝器中进行换热冷凝，效率更高，换热后的干热气体经过辅助换热器，使得进入烘干室内的气体温度更高，能够更加快速高效的烘干物料。
- 一种泡沫湿热烘干机
- [实用新型]无焰燃烧炉的热备系统-CN202023165789.6有效
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李军;熊晋伟;马雪松
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威特益（北京）技术有限公司
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2020-12-24
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2021-09-21
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F23G7/06
- 本实用新型提供一种无焰燃烧炉的热备系统，包括含可燃气的气体输送管道、辅助燃料气输送管道、辅助燃烧空气输送管道、冷却空气输送管道、燃烧炉、烟气输送管道、烟气输送装置和控制器；含可燃气的气体输送管道安装有含可燃气的气体控制装置；辅助燃料气输送管道安装有辅助燃料气控制装置；辅助燃烧空气输送管道安装有辅助燃烧空气控制装置。在含可燃气的气体流量或热值低于设定最低工作值时，通过含可燃气的气体控制装置、辅助燃料气控制装置和辅助燃烧空气控制装置依次切断输送，燃烧炉进入保温热备用状态，只有自然散热损失，没有烟气排放携带热量损失，大大节省了燃料的消耗
- 燃烧系统
- [实用新型]离心泵用辅助自吸装置-CN202221346143.4有效
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张衡;王宏元
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太仓爱格泵有限公司
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2022-05-31
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2022-11-18
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F04D9/02
- 本实用新型公开了一种离心泵用辅助自吸装置，包括：喷射器，所述喷射器包括混合室，相对连接于所述混合室上的拉瓦尔喷嘴和扩散室，设于所述混合室上的抽气口；第一辅助管道，所述第一辅助管道的一端与离心泵相连，所述第一辅助管道的另一端与所述抽气口相连；在所述第一辅助管道上设有第一阀门；压缩气体管道，所述压缩气体管道与所述拉瓦尔喷嘴的入口相连，所述压缩气体管道用于向所述拉瓦尔喷嘴内通入压缩气体，以使在所述拉瓦尔喷嘴的出口形成负压，从所述抽气口吸入所述离心泵内的气体该辅助自吸装置能够在泵启动前，自动抽吸离心泵内的气体，省去灌泵操作，提高离心泵启动效率。
- 离心泵辅助装置
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