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[发明专利]一种超临界流体萃喷造粒系统及方法-CN201310117684.9有效
发明人：全灿;李红梅;李海庭 -专利权人：中国计量科学研究院
申请日： 2013-04-07 - 公布日： 2013-07-24 - 主分类号： B01J2/02 文献下载
摘要：本发明涉及纳米颗粒领域中用到的一种提取及分离造粒的系统，进一步地说，是涉及一种超临界流体萃喷造粒系统及方法。本发明的系统包括超临界流体输送单元、超临界流体萃取单元、超临界流体造粒单元、超临界流体自控单元、实时检测单元；所述超临界流体输送单元出口连接所述超临界流体萃取单元的入口，所述超临界流体萃取单元出口连接所述超临界流体造粒单元的入口，所述超临界流体造粒单元上连接所述实时检测单元；所述超临界流体自控单元用于控制所述超临界流体输送单元、超临界流体萃取单元、超临界流体造粒单元、实时检测单元的运作。
一种临界流体萃喷造粒系统方法

[发明专利]一种超临界流体卷染工艺-CN201610031977.9有效
发明人：王威强;陈银;曲延鹏;刘燕;王胜德 -专利权人：山东大学
申请日： 2016-01-18 - 公布日： 2017-09-29 - 主分类号： D06B3/32 文献下载
摘要：本发明涉及纺织品染色领域，尤其涉及一种超临界流体卷染工艺。由超临界流体媒质液化储存子系统、超临界流体染色子系统中间蓄热子系统、加注控制子系统和管路实施。其工艺步骤包括1、超临界流体染色子系统初始化；2、超临界流体媒质加注和超临界化；3、超临界流体染色；4、超临界流体媒质回送和与剩余染料分离；5、残余超临界流体媒质排空；6、将染色后的被染物卸出。本发明提供的超临界流体卷染工艺，流程简便、设备投资小、运行费用低、准备时间短、超临界流体染色效率高。
一种临界流体卷染工艺

[发明专利]新型流体分流筒-CN201510839287.1在审
发明人：王竞甜 -专利权人：王竞甜
申请日： 2015-11-27 - 公布日： 2017-06-09 - 主分类号： B01D11/02 文献下载
摘要：新型流体分流筒，其特征在于所述的新型流体分流筒包括分流筒、分流腔、超临界流体分布器、积液腔、排液腔、超临界流体进口管、超临界流体进口管控制阀、超临界流体出口管、超临界流体出口管控制阀；其中分流筒内设有一超临界流体分布器，超临界流体分布器内形成分流腔，超临界流体分布器与分流筒之间形成积液腔与排液腔，积液腔与排液腔之间设有隔板，积液腔一侧分流筒上开设有超临界流体进口管，其上设有超临界流体进口管控制阀，排液腔一侧分流筒上开设有超临界流体出口管，其上设有超临界流体出口管控制阀。本发明的优点本发明所述的新型流体分流筒，结构合理，设计巧妙，使超临界流体分流设备具有连续地送入分流物和连续排出分流物的功能，实现了连续化操作，提高生产加工效率，节省能源，降低成本，安全可靠，人员劳动强度降低
新型流体分流

[实用新型]一种超临界流体土壤修复系统-CN202120826834.3有效
发明人：陈林;陈嘉祥;冯永昌 -专利权人：中国科学院工程热物理研究所
申请日： 2021-04-21 - 公布日： 2021-12-24 - 主分类号： B09C1/02 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种超临界流体土壤修复系统，所述系统包括：超临界流体注入模块，用于向系统中补充超临界流体；压缩模块，与所述超临界流体注入模块连接，用于对超临界流体施加压力；萃取模块，与所述压缩模块连接，用于进行超临界流体与待修复土壤的萃取；以及分离模块，与所述萃取模块和超临界流体注入模块连接，用于将萃取后的超临界流体和污染物分离，其中，所述压缩模块包括用于对超临界流体进行压缩的压缩机。本实用新型所提供的超临界流体土壤修复系统在现有超临界土壤修复技术的基础上，提出了一种压缩机驱动的超临界流体土壤修复循环方式，能更好的解决现有技术中使用柱塞泵为代表的高压泵难以满足大流量的问题。
一种临界流体土壤修复系统

[发明专利]一种超低排放超临界流体卷染工艺-CN201610402696.X有效
发明人：曲延鹏;郭盼盼;陈银;王威强;刘燕 -专利权人：山东大学
申请日： 2016-06-06 - 公布日： 2018-01-12 - 主分类号： D06B3/32 文献下载
摘要：本发明涉及纺织品染色领域，尤其涉及一种超低排放超临界流体卷染工艺。由超临界流体媒质液化储存、双卷染器超临界流体染色、超临界流体寄存、超临界流体抽回、中间蓄热、加注控制六个子系统和管路实施；其工艺步骤包括1、卷染器A初始化；2、卷染器A加注超临界流体媒质和超临界化；3、卷染器A超临界流体卷染；4、卷染器B初始化；5、卷染器A卸除被染物以及卷染器B初次加注超临界流体媒质、超临界化和染色；6、卷染器B卸除被染物以及卷染器A再次初始化与加注超临界流体媒质、超临界化和染色；7本发明流程简便、设备投资小、运行费用低、准备时间短、染色效率高、流体媒质超低排放。
一种排放临界流体卷染工艺

[发明专利]一种超临界流体换热用复合管壳式换热器-CN202211667959.1在审
发明人：郭烈锦;欧国标;葛志伟;金辉;陈渝楠;程珂 -专利权人：西安交通大学
申请日： 2022-12-23 - 公布日： 2023-03-28 - 主分类号： F28D7/16 文献下载
摘要：本发明公开了一种超临界流体换热用复合管壳式换热器，前壳体上设有超临界水入口，后壳体上设有超临界水出口；前管箱上设有超临界流体入口，后管箱上设有超临界水第一出口，主壳体上设有超临界流体第二入口与超临界流体第二出口；运行过程中，高温超临界流体经前管箱流经内管，并从后管箱流出，然后由超临界流体第二入口进入主壳体并横掠换热管束，换热管环形空间的超临界水与内管及换热管外的超临界流体完成双重换热。
一种临界流体换热用复合管壳换热器

[实用新型]一种采用超临界流体静态染色的装置-CN201220448514.X有效
发明人：郭晓洁;包桂莲 -专利权人：广东出色无水印染科技有限公司
申请日： 2012-09-04 - 公布日： 2013-04-17 - 主分类号： D06B9/02 文献下载
摘要：本实用新型公开一种采用超临界流体静态染色的装置，所述装置包括上染系统和超临界流体静态显色固色系统；所述上染系统包括上染装置及与所述上染装置连接的染料池；所述超临界流体静态显色固色系统包括超临界流体供应装置、与所述超临界流体供应装置连接的一台或一台以上并联的超临界流体显色固色釜、与所述超临界流体显色固色釜连接的超临界流体回收装置。本实用新型所述超临界流体静态染色装置，在显色固色过程中，超临界流体处于静止状态，省去了复杂的超临界流体循环流动设备，使得设备的投入和能量消耗大大减小。同时，显色固色过程超临界流体处于静止状态，不会发生染料迁移现象，染色质量容易控制，更换染色颜色时，不必清洗染色系统。
一种采用临界流体静态染色装置

[发明专利]匀相超临界流体反应方法及装置-CN201710089852.6有效
发明人：张鼎张;张冠张;蔡宗鸣;施志承;潘致宏 -专利权人：中山大学
申请日： 2017-02-20 - 公布日： 2020-05-22 - 主分类号： B01J19/00 文献下载
摘要：一种匀相超临界流体反应方法，用以解决现有技术中超临界流体反应方法无法用于匀相反应的问题。本发明的一种匀相超临界流体反应方法，包括：提供一个超临界流体及一个溶质；使该超临界流体及溶质流入一个分子筛组件中，并于该分子筛组件中均匀混合，以形成一个匀相超临界流体；及使该匀相超临界流体流入一个反应腔体中本发明另外提供一种匀相超临界流体反应装置，用以进行上述匀相超临界流体反应方法。
匀相超临界流体反应方法装置

[发明专利]基板干燥装置-CN202010501307.5在审
发明人：申熙镛;李泰京;尹炳文 -专利权人：无尽电子有限公司
申请日： 2020-06-04 - 公布日： 2020-12-04 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明涉及一种基板干燥装置，其包括：腔室，其提供用于干燥基板的干燥空间；超临界流体产生及储存单元，其产生并储存被供应到腔室内的干燥空间的超临界流体；以及超临界流体供应调节单元，其安装在超临界流体产生及储存单元与腔室之间的供应管线中并且调节储存在超临界流体产生及储存单元中的、待供应至腔室的超临界流体，其中所述超临界流体供应调节单元包括：确定是否供应储存在超临界流体产生及储存单元中的超临界流体的主开闭阀，调节经过主开闭阀的超临界流体的流量的计量阀，以及安装在主开闭阀和计量阀之间并降低由超临界流体经过主开闭阀而施加在计量阀上的压差的孔口
干燥装置

[发明专利]基板处理装置、基板处理系统以及处理基板的方法-CN201410090605.4有效
发明人：赵庸真;高镛璿;金庆燮;金光秀;金石训;吴政玟;李根泽;张原浩;田溶明 -专利权人：三星电子株式会社
申请日： 2014-03-12 - 公布日： 2019-01-25 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：该基板处理系统可以包括构造为用超临界流体处理基板的处理装置以及构造为提供超临界流体到处理装置的供给装置。处理装置可以包括超临界工艺区和预超临界工艺区，在该超临界工艺区中基板用超临界流体处理，在预超临界工艺区中超临界流体膨胀然后被提供到超临界工艺区中以在超临界工艺区中产生超临界状态。
处理装置系统以及方法

[发明专利]基板处理装置、基板处理系统以及处理基板的方法-CN201811608953.0有效
发明人：赵庸真;高镛璿;金庆燮;金光秀;金石训;吴政玟;李根泽;张原浩;田溶明 -专利权人：三星电子株式会社
申请日： 2014-03-12 - 公布日： 2023-06-27 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：该基板处理系统可以包括构造为用超临界流体处理基板的处理装置以及构造为提供超临界流体到处理装置的供给装置。处理装置可以包括超临界工艺区和预超临界工艺区，在该超临界工艺区中基板用超临界流体处理，在预超临界工艺区中超临界流体膨胀然后被提供到超临界工艺区中以在超临界工艺区中产生超临界状态。
处理装置系统以及方法

[发明专利]一种低排放超临界流体卷染工艺-CN201610406735.3有效
发明人：王威强;王胜德;陈银;曲延鹏;刘燕 -专利权人：山东大学
申请日： 2016-06-06 - 公布日： 2018-01-09 - 主分类号： D06B9/02 文献下载
摘要：本发明涉及纺织品染色领域，尤其涉及一种低排放超临界流体卷染工艺。由超临界流体媒质液化储存子系统、双卷染器超临界流体染色子系统、超临界流体寄存子系统、中间蓄热子系统、加注控制子系统和管路实施；其工艺步骤包括1、卷染器A初始化；2、卷染器A加注超临界流体媒质和超临界化；3、卷染器A超临界流体卷染；4、卷染器B初始化；5、卷染器A卸除被染物以及卷染器B初次加注超临界流体媒质、超临界化和染色；6、卷染器B卸除被染物以及卷染器A再次初始化与加注超临界流体媒质、超临界化和染色本发明流程简便、设备投资小、运行费用低、准备时间短、染色效率高、流体媒质排放小。
一种排放临界流体卷染工艺

[实用新型]药液和超临界流体的混合装置-CN201820545197.0有效
发明人：申寅澈;姜炳州;金大珉;金东旻 -专利权人：凯斯科技股份有限公司
申请日： 2018-04-17 - 公布日： 2019-02-05 - 主分类号： B01F11/02 文献下载
摘要：本实用新型的目的在于提供一种药液和超临界流体的混合装置，其防止混合装置的腔室内部的污染的同时，迅速且顺畅地实现药液和超临界流体之间的混合，从而可缩短基板清洗时间。用于实现所述目的的本实用新型的药液和超临界流体的混合装置是用于混合药液和超临界流体的混合装置，药液和超临界流体用于清洗基板，药液和超临界流体的混合装置包括：腔室，其获得所述药液和超临界流体的供给，并实现药液和超临界流体的混合；以及振动产生部，其设置于所述腔室的外部，通过在所述腔室内部的药液和超临界流体中引起振动而实现混合。
超临界流体混合装置本实用新型腔室内部腔室振动产生部防止混合混合药液基板清洗清洗基板引起振动外部污染

[发明专利]一种改进的超临界抗溶剂法制备聚合物载药颗粒装置-CN201810554543.6有效
发明人：焦真;王卫芳;程江瑞;宋俊颖;韩赛 -专利权人：东南大学
申请日： 2018-06-01 - 公布日： 2021-03-09 - 主分类号： B01J2/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种改进的超临界抗溶剂法制备聚合物载药颗粒装置，包括超临界流体供应支路、溶液供应支路、超临界流体浸渍支路、压力控制系统和制粒系统，本发明的装置对于难溶于超临界流体的药品，可将含有聚合物和药品的溶液与超临界流体在制粒罐中通过超临界抗溶剂法制备聚合物载药颗粒；对于易溶于超临界流体的药品，可用抗溶剂法制得聚合物颗粒后，利用超临界浸渍技术制备聚合物载药颗粒。本发明装置实现了超临界溶液浸渍系统和超临界抗溶剂系统的耦合，可使在超临界流体中各种溶解性能的药品均能实现在聚合物颗粒中的高效负载。
一种改进临界溶剂法制聚合物颗粒装置

[发明专利]一种基板处理装置及基板处理方法-CN201310215172.6有效
发明人：金基峰;金鹏;宋吉勋;权五珍 -专利权人：细美事有限公司
申请日： 2013-05-31 - 公布日： 2017-07-18 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明提供一种利用超临界流体的基板处理装置。所述基板处理装置包括壳体；支撑构件，所述支撑构件设置在所述壳体内以支撑基板；超临界流体供应单元，所述超临界流体供应单元中存储有超临界流体；供应管，所述供应管用于将所述超临界流体供应单元连接到所述壳体；由所述供应管分支出来的排气管，以排放所述供应管中残留的超临界流体；用于调节从所述超临界流体供应单元供应到所述壳体内的超临界流体流量的供应阀设置在所述供应管中；用于打开或关闭所述排气管的开关阀设置在所述排气管中。
一种处理装置方法

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