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[发明专利]基于隧道磁阻检测的静电刚度调节Z轴谐振式微加速度计-CN202010558196.1在审
发明人：张瑞;王旭虎 -专利权人：中北大学
申请日： 2020-06-18 - 公布日： 2020-08-11 - 主分类号： G01P15/14 文献下载
摘要：基于隧道磁阻检测的静电刚度调节Z轴谐振式微加速度计，包括：支撑框架，键合基板，扭转支撑梁，扭转质量块，谐振质量块，磁阻元件，固定刚度调节电极，可动刚度调节电极，检测磁体和驱动磁体；支撑框架设置在键合基板上，扭转质量块设置在支撑框架上开设的第一质量块安装槽内，扭转质量块通过扭转支撑梁与支撑框架连接；谐振质量块设置在扭转质量块上开设的第二质量块安装槽内，谐振质量块的四个边角通过驱动组合梁与扭转质量块连接，磁阻元件设置在谐振质量块上，谐振质量块的X轴两端设置可动刚度调节电极；键合基板上设置有固定刚度调节电极，检测磁体和驱动磁体，分别对应调节电极露出孔、磁阻元件、驱动组合梁的位置设置。
基于隧道磁阻检测静电刚度调节谐振式微加速度计

[实用新型]基于隧道磁阻检测的静电刚度调节Z轴谐振式微加速度计-CN202021134339.8有效
发明人：张瑞;王旭虎 -专利权人：中北大学
申请日： 2020-06-18 - 公布日： 2020-12-15 - 主分类号： G01P15/14 文献下载
摘要：基于隧道磁阻检测的静电刚度调节Z轴谐振式微加速度计，包括：支撑框架，键合基板，扭转支撑梁，扭转质量块，谐振质量块，磁阻元件，固定刚度调节电极，可动刚度调节电极，检测磁体和驱动磁体；支撑框架设置在键合基板上，扭转质量块设置在支撑框架上开设的第一质量块安装槽内，扭转质量块通过扭转支撑梁与支撑框架连接；谐振质量块设置在扭转质量块上开设的第二质量块安装槽内，谐振质量块的四个边角通过驱动组合梁与扭转质量块连接，磁阻元件设置在谐振质量块上，谐振质量块的X轴两端设置可动刚度调节电极；键合基板上设置有固定刚度调节电极，检测磁体和驱动磁体，分别对应调节电极露出孔、磁阻元件、驱动组合梁的位置设置。
基于隧道磁阻检测静电刚度调节谐振式微加速度计

[发明专利]双轴和三轴惯性传感器及惯性感测方法-CN201380057287.5有效
发明人： A·A·塞西亚;P·希鲁文卡塔纳森;X·邹 -专利权人：剑桥企业有限公司
申请日： 2013-09-04 - 公布日： 2017-09-12 - 主分类号： G01P15/097 文献下载
摘要：一种惯性传感器，该惯性传感器包括框架；悬挂于框架的检验质量块；第一谐振元件对，该第一谐振元件对电耦合至检验质量块或电耦合至中间组件，该中间组件机械耦合至检验质量块，每个第一谐振元件相对于另一个耦合至检验质量块的对侧，第一谐振元件实质上彼此相同且当传感器不加速时，具有与检验质量块实质上相同的静电耦合；第一谐振元件和检验质量块实质上位于一个平面内，且其中检验质量块正交于平面的相对于第一谐振元件的移动改变检验质量块和第一谐振元件之间的静电耦合；驱动装置，耦合至第一谐振元件，使第一谐振元件中的每一者振动；以及传感器组件，检测第一谐振元件中每一者的谐振频率的偏移；以及处理装置，对第一谐振元件中每一者的偏移求和以提供与第一轴平行的检验质量块的加速度的测量
惯性传感器方法

[发明专利]一种静电谐振式加速度计及加速度测量方法-CN201810224198.X在审
发明人：何高法;周明举;孟杰 -专利权人：重庆科技学院
申请日： 2018-03-19 - 公布日： 2018-08-14 - 主分类号： G01P15/097 文献下载
摘要：本发明提供一种静电谐振式加速度计，该加速度计包括质量块和至少一个谐振器，所述谐振器上设置有电极，所述质量块为导体，所述质量块与所述谐振器之间被施加一定的直流电压，使谐振器受到一定的静电力，在某一频率下处于谐振状态本发明采用谐振器和质量块分离设计，谐振器和质量块之间的作用力为非接触长程静电力，确保谐振器的独立工作，提高了谐振器的品质因子和灵敏度。本发明中，感应加速度变化量的静电力作用在谐振器梁(或音叉梁)的横向，对谐振频率的影响大，加速度计灵敏度高。在制造工艺方面，本发明将谐振器和质量块分离制造，结构简单，制造成本低。
谐振器质量块谐振式加速度计静电静电力加速度计灵敏度加速度变化量加速度测量静电力作用分离设计加速度计品质因子谐振频率谐振器梁谐振状态直流电压制造成本制造工艺导体非接触灵敏度电极长程音叉施加制造

[发明专利]可调灵敏度的弱耦合谐振式微加速度计-CN201911097156.5有效
发明人：彭勃;张文明;胡开明;闫寒 -专利权人：上海交通大学
申请日： 2019-11-11 - 公布日： 2021-10-01 - 主分类号： G01P15/097 文献下载
摘要：一种可调灵敏度的弱耦合谐振式微加速度计，包括：第一质量块结构、第二质量块结构和谐振结构，谐振结构分别与第一质量块结构和第二质量块结构相连；所述的谐振结构包括：电压相同的第一敏感谐振器、第二敏感谐振器和耦合谐振器，以及灵敏度调节谐振器。第一质量块结构包括：第一质量块、第一固定锚点和第一弹性梁；第二质量块结构包括：第二质量块、第二固定锚点和第二弹性梁。本发明通过三自由度的弱耦合结构设计和测量振幅比的模态局部化原理大大提高了加速度计的极限灵敏度，并在基础上额外附加了一个谐振器，通过调节该谐振器和另外两个谐振器间的静电耦合负刚度来调节加速度计的灵敏度，将量程扩大了
可调灵敏度耦合谐振式微加速度计

[发明专利]频率选择和放大设备-CN201010243706.2有效
发明人：皮特·杰勒德·斯蒂内肯;金·范乐;约瑟夫·托马斯·马丁内斯·范贝克 -专利权人： NXP股份有限公司
申请日： 2010-08-02 - 公布日： 2011-03-30 - 主分类号： H04B1/16 文献下载
摘要：本发明提供了一种包括振荡器的频率选择设备，包括：谐振器质量块(m)，通过弹簧装置(60，62)连接至基板；以及压阻元件(62)，用于控制谐振器质量块的振荡，所述压阻元件(62)包括连接至谐振器质量块(m将电流驱动通过压阻元件(62)以控制谐振器质量块的振荡。提供输入以将信号耦合至谐振器质量块，其中将根据所述信号来选择期望频率范围；使用检测器来检测被振荡器放大的信号。
频率选择放大设备

[发明专利]MEMS陀螺仪-CN202110264305.3在审
发明人：李杨;阚枭;占瞻;杨珊;马昭;黎家健;洪燕;陈秋玉 -专利权人：瑞声科技（南京）有限公司;深圳导远科技有限公司
申请日： 2021-03-11 - 公布日： 2021-06-25 - 主分类号： G01C19/5684 文献下载
摘要：本发明提供了一种MEMS陀螺仪，包括换能器、锚点结构、谐振环和设置于所述谐振环与所述锚点结构之间的若干质量块，所述锚点结构与所述质量块之间通过弹性组件相连接，所述弹性组件能够提供所述质量块沿所述谐振环径向方向的回复力，所述质量块与所述谐振环之间通过第一弹性件相连接，所述第一弹性件能够提供所述谐振环沿所述谐振环周向方向的回复力，使所述谐振环与所述质量块间只发生沿周向方向的相对位移；所述质量块关于所述MEMS陀螺仪的中心呈圆周分布，且所述质量块关于所述中心旋转对称，所述质量块的个数为8的整数倍；所述换能器关于所述中心呈圆周分布，且所述换能器关于所述中心旋转对称，所述换能器的个数为8的整数倍。
mems 陀螺仪

[发明专利]基于负刚度效应的垂直轴硅微谐振式加速度计-CN201210202357.9有效
发明人：杨波;王寿荣;赵辉 -专利权人：东南大学
申请日： 2012-06-18 - 公布日： 2012-10-24 - 主分类号： G01P15/097 文献下载
摘要：本发明提供了一种基于负刚度效应的垂直轴硅微谐振式加速度计，该加速度计（100）包括第一外部质量块（101）、设置在第一外部质量块（101）内部且与第一外部质量块（101）相连的第一平面谐振器（103a）、设置在第一外部质量块（101）右方且与第一外部质量块（101）相连的第二外部质量块（102）、设置在第二外部质量块（102）内部且与第二外部质量块（102）相连的第二平面谐振器（103b）；本发明结构简单、与平面工艺兼容，避免了常规谐振加速计中细长谐振梁的设计、加工等难点，同时降低了应力、温度对加速度计性能的影响，同时其平面式结构特征便于实现多轴集成。
基于刚度效应垂直轴硅微谐振加速度计

[实用新型]一种静电谐振式加速度计-CN201820369166.4有效
发明人：何高法;周明举;孟杰 -专利权人：重庆科技学院
申请日： 2018-03-19 - 公布日： 2018-09-18 - 主分类号： G01P15/097 文献下载
摘要：本实用新型提供一种静电谐振式加速度计，该加速度计包括质量块和至少一个谐振器，所述谐振器上设置有电极，所述质量块为导体，所述质量块与所述谐振器之间被施加一定的直流电压，使谐振器受到一定的静电力，在某一频率下处于谐振状态本实用新型采用谐振器和质量块分离设计，谐振器和质量块之间的作用力为非接触长程静电力，确保谐振器的独立工作，提高了谐振器的品质因子和灵敏度。本实用新型中，感应加速度变化量的静电力作用在谐振器梁(或音叉梁)的横向，对谐振频率的影响大，加速度计灵敏度高。在制造工艺方面，本实用新型将谐振器和质量块分离制造，结构简单，制造成本低。
谐振器质量块本实用新型谐振式加速度计静电静电力加速度计灵敏度加速度变化量静电力作用分离设计加速度计品质因子谐振频率谐振器梁谐振状态直流电压制造成本制造工艺导体非接触灵敏度电极长程音叉施加制造

[发明专利]双轴MEMS谐振式加速度传感器结构-CN201611205923.6有效
发明人：石云波;刘俊;曹慧亮;任建军;唐军;马宗敏;黄堃;康强;冯恒振;寇志伟;连树仁;孙亚楠;韩兴宇 -专利权人：中北大学
申请日： 2016-12-23 - 公布日： 2018-11-23 - 主分类号： G01P15/02 文献下载
摘要：本发明涉及MEMS谐振式加速度传感器，具体是一种双轴MEMS谐振式加速度传感器结构。本发明解决了现有MEMS谐振式加速度传感器敏感方向单一的问题。双轴MEMS谐振式加速度传感器结构，包括中心质量块、第一至第四环岛质量块、第一至第四大锚块、第一至第十六Ω形支撑梁、第一至第四连接梁、第一至第八梳状微谐振器、第一至第八小锚块；其中，第一环岛质量块位于中心质量块的前方；第二环岛质量块位于中心质量块的后方；第三环岛质量块位于中心质量块的左方；第四环岛质量块位于中心质量块的右方。
双轴 mems 谐振加速度传感器结构

[发明专利]具有对称谐振器的流体性质测量装置-CN201180048543.5有效
发明人：克劳斯·黑泽勒;乔·古德布莱德 -专利权人：梅赫·萨伊尔;尤里·马蒂;于尔格·道尔;克劳斯·黑泽勒;乔·古德布莱德
申请日： 2011-09-06 - 公布日： 2013-06-12 - 主分类号： G01N11/16 文献下载
摘要：一种流体性质测量装置，包括对称谐振元件，所述对称谐振元件具有第一质量块与第二质量块，所述第二质量块与所述第一质量块相平衡并由扭转弹簧耦接到所述第一质量块，所述谐振元件具有位于所述第一质量块与所述第二质量块之间的节状支撑件此外，具有至少一个开口的室容纳所述第一质量块且不受机械限制，而且驱动感应组件适用于以扭转方式驱动所述第一质量块并感应所述第一质量块所产生的扭转移动。所述扭转弹簧穿过所述开口，所述开口围绕所述扭转弹簧在所述节状支撑件处得到密封，而且所述第二质量块可以被自由地放置在流体中，以进行流体性质测量。
具有对称谐振器流体性质测量装置

[实用新型]MEMS谐振器-CN201420148846.5有效
发明人：何昭文 -专利权人：中芯国际集成电路制造（北京）有限公司
申请日： 2014-03-28 - 公布日： 2015-03-18 - 主分类号： H03H9/24 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种MEMS谐振器，所述MEMS谐振器包括：锚部；围绕所述锚部，并且与所述锚部连接的质量块，所述质量块中开设有多个孔径；及围绕所述质量块，并且与所述质量块具有一定间隙的电极。在本实用新型提供的MEMS谐振器中，所述MEMS谐振器的频率可由质量块中开设的多个孔径予以改变。由此当需要不同频率的MEMS谐振器时，只需选取不同数量/大小的孔径即可，即通过改变MEMS谐振器的设计结构即可实现。相对于现有技术中，要得到不同频率的MEMS谐振器需要对MEMS谐振器的制造工艺做出改变而言，通过本实用新型的MEMS谐振器更加易于得到不同的频率。
mems 谐振器

[发明专利]一种硅微谐振式加速度计-CN201810095264.8在审
发明人：段晓敏;周骏 -专利权人：嘉兴市纳杰微电子技术有限公司
申请日： 2018-01-31 - 公布日： 2018-09-04 - 主分类号： G01P15/097 文献下载
摘要：本发明提供的一种硅微谐振式加速度计，微机械杠杆机构的力臂远离锚体的一端固定在质量块上，谐振器的运动部件与力臂连接，并由力臂带动产生位移，谐振器关于质量块的中线对称设置，相互对称的两个谐振器的运动部件在受力后位移方向相反，谐振器关于质量块的中线对称设置，使得两个谐振器工作模态的谐振频率相等，两个谐振器分布在质量块的两端可以大大减小谐振结构的互扰，减小加速度计的噪声水平，并且，由于谐振器位于质量块的两端，可大大减小由于质量块加工不对称引起谐振结构的不对称振动
谐振器质量块减小力臂硅微谐振式加速度计加速度计谐振结构运动部件中线对称不对称漂移方向相反杠杆机构工艺误差工作模态环境因素环境振动谐振频率噪声水平灵敏度微机械互扰锚体受力相等对称加工

[发明专利]一种用于工业风机的动力吸振器-CN202210196692.6在审
发明人：黄新武;宋合川 -专利权人：豪派福风机科技（苏州）有限公司
申请日： 2022-03-02 - 公布日： 2022-06-10 - 主分类号： F04D29/66 文献下载
摘要：第一类结构形式包括框架1、谐振质量块2、弹性元件3、阻尼元件4。第二类结构形式包括框架1、谐振质量块2、弹性元件3、阻尼场（比如流体或磁场）或摩擦阻尼。以上组成一个振动系统，谐振质量块2相对于框架1可在三个正交方向振动。谐振质量块2的质量m，以及弹性元件3的刚度系数k经过优化设计，使得谐振质量块2在三个方向上的固有频率等于风机主振动频率。当工业风机在运转中产生振动时，该振动通过固定连接传递到框架1，根据谐振原理，谐振质量块2将产生与风机主振动频率一致的振动，这个振动经过阻尼元件4或阻尼场进行能量转化，进而起到降低风机结构振动幅值的作用。
一种用于工业风机动力吸振器

[实用新型]宽频式钢轨谐振阻尼器-CN201721811906.7有效
发明人：吴天行;李恒义;曾向荣;高志升 -专利权人：安境迩（上海）科技有限公司
申请日： 2017-12-22 - 公布日： 2019-02-01 - 主分类号： E01B19/00 文献下载
摘要：宽频式钢轨谐振阻尼系统，包括弹性体，质量块和弹性扣压元件，其特征在于：弹性阻尼元件和质量块通过弹性扣压元件直接贴合安装于钢轨底部，弹性体布置于质量块上方，其中质量块数量为两个或多个，大小可相同或不同，以产生多个谐振频率
质量块钢轨扣压元件宽频弹性阻尼元件谐振阻尼器谐振频率谐振阻尼直接贴合

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