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- [发明专利]用于控制蚀刻工艺的系统及方法-CN201680051259.6有效
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F·察赫
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科磊股份有限公司
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2016-09-16
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2022-04-05
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H01L21/67
- 一种用于控制蚀刻工艺的系统包含蚀刻工具、计量工具及控制器。所述蚀刻工具可经由一组控制参数控制且可执行含有所述组控制参数的多个蚀刻配方。所述控制器可引导所述蚀刻工具对多个计量目标执行多个蚀刻配方;引导所述计量工具产生指示关于所述多个计量目标的两个或两个以上蚀刻特性的计量数据;基于所述计量数据确定所述两个或两个以上蚀刻特性与所述组控制参数之间的一或多个关系;及基于所述一或多个关系产生用以约束所述两个或两个以上蚀刻特性中的一者且将所述两个或两个以上蚀刻特性中的其余者维持于经定义界限内的特定蚀刻配方。
- 用于控制蚀刻工艺系统方法
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