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- [实用新型]一种表面平整度检测光源-CN202121419690.6有效
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郭家键
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广东奥普特科技股份有限公司
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2021-06-24
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2022-03-04
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G01B11/30
- 本实用新型公开了一种表面平整度检测光源,包括:用于提供第一照射光的第一面光源,第一照射光经过第一栅格片后依次经过第一分光镜和第二分光镜反射,投射至待测表面形成第一条状光;用于提供第二照射光的第二面光源,第二照射光经过第二栅格片后,透过第一分光镜,再经过第二分光镜反射,投射至待测表面形成第二条状光;第一条状光与第二条状光在待测表面上叠加形成一网状光。通过对两个面光源分别设置栅格片,使得投射于待测表面的光得以叠加形成网状光,然后根据网状光的扭曲可以实现表面平整度的检测;由于不需要增设平整度检验仪,简化了平整度检测流程,提高了检测效率,同时也达到了控制检测成本的目的
- 一种表面平整检测光源
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