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[发明专利]一种动量编码X射线衍射图样匹配校正方法及其应用-CN202210755833.3在审
发明人：杨海瑞;喻虹 -专利权人：国科大杭州高等研究院
申请日： 2022-06-29 - 公布日： 2022-10-11 - 主分类号： G01N23/207 文献下载
摘要：本发明的一种动量编码X射线衍射图样匹配校正方法及应用，提供了一种包括生成模拟衍射图样，对模拟衍射图样计算信息度量，根据测量衍射图样的信息度量，计算模拟衍射图样的信息度量的变换因子，测量衍射图样与变换因子修正的模拟衍射图样数据集进行位置与旋转匹配，输出检测结果并生成X射线衍射校正图样。本发明应用于动量编码X射线衍射分析中，能极大地提高物体损伤检测速度与准确率，并且降低曝光时间要求，减少物体辐射损伤，应用于动量编码X射线衍射成像方法中，提供细节增强校正的衍射图样，可大大提高成像质量，具有极大的应用前景
一种动量编码射线衍射图样匹配校正方法及其应用

[发明专利]一种动量编码X射线衍射图样匹配校正方法及其应用-CN202210676910.6在审
发明人：杨海瑞;喻虹 -专利权人：国科大杭州高等研究院
申请日： 2022-06-15 - 公布日： 2023-01-17 - 主分类号： G01N23/207 文献下载
摘要：本发明的一种动量编码X射线衍射图样匹配校正方法及应用，提供了一种包括生成模拟衍射图样，对模拟衍射图样计算信息度量，根据测量衍射图样的信息度量，计算模拟衍射图样的信息度量的变换因子，测量衍射图样与变换因子修正的模拟衍射图样数据集进行位置与旋转匹配，输出检测结果并生成X射线衍射校正图样。本发明应用于动量编码X射线衍射分析中，能极大地提高物体损伤检测速度与准确率，并且降低曝光时间要求，减少物体辐射损伤，应用于动量编码X射线衍射成像方法中，提供细节增强校正的衍射图样，可大大提高成像质量，具有极大的应用前景
一种动量编码射线衍射图样匹配校正方法及其应用

[发明专利]衍射光学元件和具有该衍射光学元件的光学装置-CN201410276365.7有效
发明人：李尚勋;李桃源 -专利权人： LG伊诺特有限公司
申请日： 2014-06-19 - 公布日： 2019-07-26 - 主分类号： G02B5/18 文献下载
摘要：本发明涉及衍射光学元件和具有该衍射光学元件的光学装置。提供了一种衍射光学元件，其中衍射图样被形成在至少一个表面上，其中衍射图样的高度从该一个表面的中心向边缘改变，并且形成在中心处的第一衍射图样元件的高度和形成在边缘处的第二衍射图样元件的高度是不同的，并且提供了一种具有该衍射光学元件的光学装置
衍射光学元件具有装置

[发明专利]一种获得任意形状孔径产生衍射图样的方法-CN201510479796.8在审
发明人：王彦斌;王国良;陈前荣;张文攀;李华;任广森;朱荣臻;郝永旺;刘艳芳 -专利权人：中国人民解放军63892部队
申请日： 2015-08-07 - 公布日： 2016-03-02 - 主分类号： G06T11/00 文献下载
摘要：本发明涉及任意形状孔径经光辐照后产生衍射图样的技术。公开的一种获得任意形状孔径产生衍射图样的方法，首先制作出任意想要形状的孔径图样；其次将孔径图样在Windows画图工具的空白界面上粘贴，并将孔径周围填充成黑色，然后，调用MATLAB软件获得其对应的灰度矩阵，最后调用MATLAB软件对上述矩阵进行傅立叶变换，再通过fftshift函数得到孔径图样对应的频域分布，取模的平方，得上述孔径产生的夫琅禾费衍射图样。本发明解决了标量衍射理论难以获得矩形、圆形孔径以外其他形状孔径产生夫琅禾费衍射图样的难题，并且具有操作简单、快速准确等优点。增进人们对于光衍射现象的认识，极大地丰富光的衍射理论。
一种获得任意形状孔径产生衍射图样方法

[发明专利]用于使零级减少的光学设计-CN201410024778.6有效
发明人： A·施庞特 -专利权人：普莱姆森斯有限公司
申请日： 2008-12-07 - 公布日： 2014-04-30 - 主分类号： G02B27/44 文献下载
摘要：一种投影图样的装置（10），包括：第一衍射光学元件（DOE）（12），被配置为衍射输入光束（20），以便在表面（24）的第一区（22）产生第一衍射图样（23），第一衍射图样包括零级光束（32）。第二DOE（14），被配置为衍射零级光束，以便在表面的第二区（27）产生第二衍射图样（29），所述第一区和第二区共同至少部分地覆盖表面。
用于使零级减少光学设计

[发明专利]用于使零级减少的光学设计-CN200880119911.9有效
发明人： A·施庞特 -专利权人：普莱姆森斯有限公司
申请日： 2008-12-07 - 公布日： 2011-03-09 - 主分类号： G02B27/44 文献下载
摘要：一种投影图样的装置(10)，包括：第一衍射光学元件(DOE)(12)，被配置为衍射输入光束(20)，以便在表面(24)的第一区(22)产生第一衍射图样(23)，第一衍射图样包括零级光束(32)。第二DOE(14)，被配置为衍射零级光束，以便在表面的第二区(27)产生第二衍射图样(29)，所述第一区和第二区共同至少部分地覆盖表面。
用于使零级减少光学设计

[发明专利]一种宽带光源的大视场相干衍射成像方法、装置及系统-CN202211718927.X在审
发明人：曹伟;刘瑞凡;游骐骏;陆培祥 -专利权人：华中科技大学
申请日： 2022-12-30 - 公布日： 2023-06-23 - 主分类号： G02B21/06 文献下载
摘要：本发明公开了一种宽带光源的大视场相干衍射成像方法、装置及系统，利用衍射矩阵和最小二乘共轭梯度法将宽带衍射图样单色化以减小衍射图样等效带宽，提出了一种可以使叠层相干衍射成像技术在宽带光源入射情况下，空间分辨率大幅提升的方法衍射矩阵的构建只与衍射图样大小和光谱信息有关，不受光谱采样密度的影响，因此避免了对光谱有限密度采样的结果失真问题。同时，经过处理后获得的单色化衍射图样直接作用于合适的叠层相干衍射成像迭代算法，无需任何插值以及衍射图样叠加操作，降低了重构所需时间，提升了空间分辨率精度。利用单色化处理改善相干衍射成像中对窄带光谱的需求，在使用宽带光源的情况下，极大的保留了其空间分辨能力。
一种宽带光源视场相干衍射成像方法装置系统

[发明专利]用于谱滤波的基于泰伯效应的近场衍射-CN201480019691.8有效
发明人： E·勒斯尔;T·克勒 -专利权人：皇家飞利浦有限公司
申请日： 2014-11-12 - 公布日： 2017-03-08 - 主分类号： G21K1/06 文献下载
摘要：本发明涉及一种用于对X射线射束(B)进行谱滤波的光栅布置和方法，所述光栅布置包括色散元件(10)，其包括棱镜，所述棱镜被配置为使X射线射束(B)衍射成包括第一方向(D1)的第一射束分量(BC1)和包括第二方向(D2)的第二射束分量(BC2)，所述第二方向相对于所述第一方向倾斜；第一光栅(20)，其被配置为生成第一射束分量(BC1)的第一衍射图样(DP1)和第二射束分量(BC2)的第二衍射图样(DP2)，所述第二衍射图样(DP2)相对于所述第一衍射图样(DP1)移位；以及第二光栅(30)，其包括至少一个开口(31)，所述至少一个开口沿从第一衍射图样(DP1)或第二衍射图样(DP2)的强度的最大值(MA)到最小值(MI)
用于滤波基于效应近场衍射

[发明专利]鉴别具有衍射结构的真实性标记的装置-CN01809114.8有效
发明人：艾尼姆·弗朗兹－伯格霍尔兹;罗兰·加特曼;哈罗德·霍普纳;托马斯·劳尔;戴特勒夫·马腾斯;古泽尔·戴斯曼;杨兹邵;罗伯特·马森;托马斯·佛郎兹;托马斯·莱特纳;约格·艾博哈德 -专利权人：联邦印刷有限公司
申请日： 2001-05-25 - 公布日： 2003-07-02 - 主分类号： G06K19/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种用于鉴别文件上具有衍射结构的真实性标记的装置，文件被置于检验设备的检测面上并被一个光源照射，其中被检测的真实性标记使光源的射线发生衍射，并照射到设备的鉴别单元上。为了与被鉴别衍射图样的类型和位置无关，建议将由被检测文件导出的衍射图样投射到一个投影面上。此投射的衍射图样被一台(矩阵或行扫描的)摄像机检测和鉴别。
鉴别具有衍射结构真实性标记装置

[发明专利]衍射光学元件光学性能的测量装置及测量方法-CN201210189191.1有效
发明人：胡中华;朱菁;杨宝喜;肖艳芬;彭雪峰;陈明;曾爱军;黄惠杰 -专利权人：中国科学院上海光学精密机械研究所
申请日： 2012-06-08 - 公布日： 2012-10-17 - 主分类号： G01M11/02 文献下载
摘要：一种用于投影光刻照明系统的衍射光学元件光学性能的测量装置及测量方法，该测量装置包括照明单元、能量监测单元、衍射光学元件固定支架、衍射图样测量单元和能量利用率测量单元。通过测量衍射光学元件产生的衍射图样及各级衍射光斑的能量分布，可准确地评价衍射光学元件的光学性能。本发明不仅可以实现对衍射光学元件产生的远场衍射图样的直接测量，而且可以实现对待测衍射光学元件的能量利用率、零级衍射效率及高阶衍射效率的测量。本测量装置结构简单，操作方便，测量结果准确可靠。
衍射光学元件性能测量装置测量方法

[实用新型]一种测量夫琅和费单缝衍射光强分布的实验装置-CN201620444647.8有效
发明人：田凯;董雪峰;孙彩霞;王博;王宁 -专利权人：黄河科技学院
申请日： 2016-05-11 - 公布日： 2016-11-30 - 主分类号： G01J1/00 文献下载
摘要：本实用新型提出了一种测量夫琅和费单缝衍射光强分布的实验装置。它是在光学平台上设置激光器、准直系统、单缝装置、观察屏、安装有光强传感器及位移传感器的直线电机及导轨，通过光强传感器位移调节旋钮及直线电机可以设定光强传感器在单缝衍射图样中的位置。实验时激光器发出激光束，经准直系统投射到单缝装置上，将光强传感器置于衍射图样中。依次改变光强传感器在衍射图样中的位置，测出对应光强，就可绘制出夫琅和费单缝衍射光强分布曲线。本实用新型采用直线电机改变光强传感器在衍射图样中的位置，定位精度高，读数方便准确，不会出现滑丝问题，操作过程简单。采用光强传感器测量光强，测量精度高。
一种测量费单缝衍射分布实验装置

[发明专利]微小圆孔尺寸及圆度同时测量的装置与方法-CN201210147646.3有效
发明人：徐代升;朱文章;甘亮勤;林洪沂 -专利权人：厦门理工学院
申请日： 2012-05-14 - 公布日： 2012-08-22 - 主分类号： G01B11/08 文献下载
摘要：本发明公开一种微小圆孔尺寸及圆度同时测量的装置与方法，包括He-Ne激光器、被测圆孔及夹持器、带标志毛玻璃接收屏、信息采集装置、信息处理装置，本发明装置测试基于激光夫朗和费衍射测量原理，在衍射场放置有特别标志的毛玻璃做为衍射图样接收屏，由面阵CCD采集接收屏上包含特别标志的衍射图样，经计算机上专门研制的软件完成定标和衍射图样信息获取，从而自动实现微小圆孔尺寸及圆度的同时测量，装置测试量程（微小圆孔直径）为0.005mm~0.5mm。
微小圆孔尺寸同时测量装置方法

[实用新型]微小圆孔尺寸及圆度同时测量的装置-CN201220214376.9有效
发明人：徐代升;朱文章;甘亮勤;林洪沂 -专利权人：厦门理工学院
申请日： 2012-05-14 - 公布日： 2013-01-02 - 主分类号： G01B11/12 文献下载
摘要：本实用新型公开一种微小圆孔尺寸及圆度同时测量的装置，包括He-Ne激光器、被测圆孔及夹持器、带标志毛玻璃接收屏、信息采集装置、信息处理装置，本实用新型装置测试基于激光夫朗和费衍射测量原理，在衍射场放置有特别标志的毛玻璃做为衍射图样接收屏，由面阵CCD采集接收屏上包含特别标志的衍射图样，经计算机上专门研制的软件完成定标和衍射图样信息获取，从而自动实现微小圆孔尺寸及圆度的同时测量，装置测试量程（微小圆孔直径）为0.005mm~0.5mm。
微小圆孔尺寸同时测量装置

[发明专利]一种连续太赫兹波空间扫描相干衍射成像系统及方法-CN201610029614.1有效
发明人：戎路;王大勇;万敏;王云新;李斌;黄昊翀 -专利权人：北京工业大学
申请日： 2016-01-15 - 公布日： 2018-07-31 - 主分类号： G01N21/47 文献下载
摘要：一种连续太赫兹波空间扫描相干衍射成像系统及方法，CO2泵浦太赫兹激光器用于输出连续太赫兹波；样品放置在二维平移台上，利用二维平移台移动样品，使得会聚光束依次对样品的每一位置进行扫描，通过样品后的出射光波传播到热释电探测器上，分别采集到不同位置的物体衍射图样。每一个位置记录一幅衍射图样，用s(j)表示采样的顺序。依次对采集到的每一幅衍射图样s(j)进行迭代回传再现，最终的到整幅图像的高分辨率的物体振幅和相位再现像。本系统是一种无透镜、光路简单，基于扫描的衍射成像方法，能有效对大尺寸物体进行成像，通过相位复原算法对一系列具有一定重叠的衍射图样进行重建，得到高分辨率率的物体的振幅和相位图像。
一种连续赫兹空间扫描相干衍射成像系统方法

[发明专利]基于倾斜照明的反射式交叠衍射成像光学系统-CN201910809450.8在审
发明人：高瑞;陈洪权;黄帅铭;毕津慈;袁群 -专利权人：南京理工大学
申请日： 2019-08-29 - 公布日： 2019-12-06 - 主分类号： G01N21/01 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于倾斜照明的反射式交叠衍射成像光学系统，包括激光器、平面反射镜、扩束器、孔径光阑、CCD，电控旋转台和X‑Y平移台，激光器发出光照射到样品表面之后发生反射，CCD接收光源经过反射后的衍射图样图样采集过程中，利用电控旋转台设置反射角、X‑Y平移台移动待测样品，使光路和样品产生相对位移，保持其它装置的位置不变，每移动一次样品，记录一幅衍射光强图样，从而获得一系列具有重叠区域的衍射图样，根据所获得衍射图样利用相应交叠衍射成像迭代算法
衍射图样电控旋转台激光器反射式图样交叠反射衍射成像光学系统环境稳定性平面反射镜被测样品待测样品迭代算法孔径光阑倾斜照明条件要求位置不变系统结构相对位移相位信息衍射成像样品表面振幅信息重叠区域反射角光照射扩束器强吸收衍射光照明光移动短波光路光源采集透明记录

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