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[发明专利]包括光分离/集成器件的照明光学系统及其图像显示设备-CN03106759.X无效
发明人：李迎铁 -专利权人：三星电子株式会社
申请日： 2003-02-28 - 公布日： 2004-01-14 - 主分类号： G02B27/18 文献下载
摘要：提供具有衍射器件的照明光学系统和包括该照明光学系统的图像显示设备。所述照明光学系统，包括：光源，用于发光；和光分离/集成器件，该光分离/集成器件具有至少设置在一个入射侧的衍射器件，该衍射器件衍射该光以将入射角减小到预定范围。该图像显示设备，包括：所述的照明光学系统；成像光学系统，它调制来自照明光学系统的入射光以形成图像；和投影光学系统，它将从成像光学系统反射的光投影到屏幕上。
包括分离集成器件照明光学系统及其图像显示设备

[发明专利]用双层谐衍射元件的红外光学系统-CN200610016166.8无效
发明人：王肇圻;范长江;张梅 -专利权人：南开大学
申请日： 2006-10-19 - 公布日： 2007-03-28 - 主分类号： G02B27/00 文献下载
摘要：本发明涉及两个改进型Petzval红外双波段探测光学系统，红外双波段单层谐衍射光学系统和红外双波段双层谐衍射光学系统。本发明红外双波段单层谐衍射光学系统包括折射透镜和折射/谐衍射混合透镜，红外双波段双层谐衍射光学系统包括折射透镜和双层折射/谐衍射混合透镜。红外双波段单层谐衍射光学系统特点是将谐衍射透镜引入到红外单波段Petzval物镜系统中，实现了在中红外3.4－4.2μm和热红外8－11μm两个波段的双光谱探测。为改善此系统的衍射效率，利用双层谐衍射元件对红外双波段单层谐衍射光学系统做了改进，设计出红外双波段双层谐衍射光学系统。此系统特点是双层折射/谐衍射混合元件使得系统衍射效率得到极大的改善，在设计波段的各个波长下衍射效率达到90％以上，像面对比度提高，成像质量优良，为红外系统的设计提供了一种新的器件。
双层衍射元件红外光学系统

[发明专利]一种光学测距装置及方法-CN201810779309.3在审
发明人：吴德生;林高 -专利权人：信利光电股份有限公司
申请日： 2018-07-16 - 公布日： 2018-11-27 - 主分类号： G01C3/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种光学测距装置及方法，用于测得接受场的距离，包括第一衍射光学系统和第二衍射光学系统，其中第一衍射光学系统包括依次远离接受场设置的第一DOE、第一凸透镜和第一光源，第二衍射光学系统包括依次远离接受场设置的第二DOE、第二凸透镜和第二光源；所述第一衍射光学系统用于产生大小不随第一光源和接受场的距离变化而变化的刻度盘，刻度盘上包括有若干个从内向外逐渐增大的圈，所述圈的不同大小代表接受场的不同固定距离；所述第二衍射光学系统用于产生大小随第二光源和接受场的距离变化而变化的图案，且第二衍射光学系统与第一衍射光学系统呈一夹角设置，结构简单，造价低。
衍射光学系统光源凸透镜光学测距装置距离变化刻度盘固定距离夹角设置逐渐增大图案

[实用新型]一种光学测距装置-CN201821123390.1有效
发明人：吴德生;林高 -专利权人：信利光电股份有限公司
申请日： 2018-07-16 - 公布日： 2019-01-04 - 主分类号： G01S17/08 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种光学测距装置，用于测得接受场的距离，包括第一衍射光学系统和第二衍射光学系统，其中第一衍射光学系统包括依次远离接受场设置的第一DOE、第一凸透镜和第一光源，第二衍射光学系统包括依次远离接受场设置的第二DOE、第二凸透镜和第二光源；所述第一衍射光学系统用于产生大小不随第一光源和接受场的距离变化而变化的刻度盘，刻度盘上包括有若干个从内向外逐渐增大的圈，所述圈的不同大小代表接受场的不同固定距离；所述第二衍射光学系统用于产生大小随第二光源和接受场的距离变化而变化的图案，且第二衍射光学系统与第一衍射光学系统呈一夹角设置，结构简单，造价低。
衍射光学系统光源凸透镜光学测距装置距离变化刻度盘本实用新型固定距离夹角设置逐渐增大图案

[发明专利]检测设备、方法、压印装置、平坦化设备和物品制造方法-CN201910465808.X有效
发明人：岩井俊树;古卷贵光;吽野靖行;林望 -专利权人：佳能株式会社
申请日： 2019-05-31 - 公布日： 2021-11-16 - 主分类号： G01B11/00 文献下载
摘要：检测设备包括照明光学系统和检测光学系统。照明光学系统被配置为照射第一衍射光栅和第二衍射光栅，第一衍射光栅在第一方向上具有第一周期，第二衍射光栅具有不同于第一周期的第二周期。检测光学系统被配置为检测被第一衍射光栅和第二衍射光栅衍射的光。照明光学系统包括被配置为在光瞳平面上形成第一极和与第一极相反的第二极的光学构件。照明光学系统使来自第一极和第二极的光从第一方向倾斜地入射第一衍射光栅和第二衍射光栅以照射第一衍射光栅和第二衍射光栅。检测光学系统检测被第一衍射光栅和第二衍射光栅中的一个衍射并且被另一个衍射光栅衍射的衍射光。
检测设备方法压印装置平坦物品制造

[发明专利]光学系统以及光学设备-CN202080078047.3有效
发明人：大竹史哲 -专利权人：株式会社尼康
申请日： 2020-11-24 - 公布日： 2023-09-22 - 主分类号： G02B15/20 文献下载
摘要：本发明提供一种具有高光学性能的光学系统、具有该光学系统的光学设备以及光学系统的制造方法。使用于相机(1)等光学设备的光学系统(ZL)具有：前组(GA)，包含形成有衍射面(D)的衍射透镜(Lpf)；以及后组(GB)，配置于该前组(GA)的像侧。该光学系统(ZL)构成为，在进行变倍时，各个透镜组之间的间隔变化。另外，该光学系统(ZL)构成为，满足基于预定条件式的条件。
光学系统以及光学设备

[发明专利]曝光系统的仿真方法和仿真装置-CN200410027941.0无效
发明人：赖建廷;彭家鹏 -专利权人：鸿富锦精密工业（深圳）有限公司;群创光电股份有限公司
申请日： 2004-06-28 - 公布日： 2006-01-04 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：一种曝光系统的仿真方法，其包括以下步骤：建立光学系统模型；初始化设置一数据处理装置；在该数据处理装置中设置光学系统的相关参数；提供需要仿真的图案；分析该图案；对输入的图案分析并将该图案做变换以获取该光学系统入射面的远场衍射光的光强分布光谱；将衍射光谱与光学系统的传递函数相乘可得通过该光学系统的有效衍射光谱；对有效衍射光谱做相应的逆变换可得到最终光线的强度分布。
曝光系统仿真方法装置

[发明专利]一种用于太阳能聚光的分光谱衍射光学系统-CN201310038949.6有效
发明人：黄坤;康学亮;丁立;张晓波;李永平 -专利权人：中国科学技术大学
申请日： 2013-01-31 - 公布日： 2013-07-10 - 主分类号： H01L31/052 文献下载
摘要：本发明涉及一种用于太阳能聚光的分光谱衍射光学系统，所述分光谱衍射光学系统是一个衍射光学元件和一个聚焦透镜组成的光学系统或者一个折衍射光学元件。本发明提及的光学系统中，衍射光学元件用来实现光谱分束和焦斑整形的效果，而聚焦透镜提供会聚光的功能。
一种用于太阳能聚光光谱衍射光学系统

[发明专利]光谱检测器-CN201610518851.4有效
发明人：湊浩之 -专利权人：株式会社岛津制作所
申请日： 2016-07-04 - 公布日： 2019-05-10 - 主分类号： G01J3/44 文献下载
摘要：提供一种光谱检测器，包括：光源(11)，用于产生多色光；单个衍射光栅(13)；激发光学系统，用于将来自光源(11)的光引导到衍射光栅(13)上，用于从通过衍射光栅(13)衍射的光中选择一个波长，以及用于将选定波长的光作为激发光投射到样品中；检测光学系统，用于将从被激发光照射的样品发出的观测光引导到衍射光栅(13)上并使观测光色散；以及光电检测器(15)，用于检测由检测光学系统色散的观测光。通过在激发光学系统和检测光学系统两者中使用一个衍射光栅(13)，减少了衍射光栅的数目，由此实现装置的成本降低以及小型化两者。
光谱检测器

[发明专利]具有非线性光学器件的检查设备-CN201980023868.4有效
发明人： M·J·M·范达姆;R·C·席摩曼 -专利权人： ASML荷兰有限公司;ASML控股股份有限公司
申请日： 2019-03-25 - 公布日： 2023-03-28 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本文中提供一种检查设备或光刻设备，包括光学系统和检测器。所述光学系统包括非线性棱镜形光学器件。所述光学系统被配置成接收从衍射目标反射的零阶衍射束和一阶衍射束并且分离每阶衍射束的第一偏振和第二偏振。所述检测器被配置成同时检测所述零阶衍射束和一阶衍射束中的每个的第一偏振和第二偏振。基于一个或更多个衍射阶的所检测到的第一偏振和第二偏振，可以调整光刻设备的操作参数以改善所述光刻设备中的准确度或精度。所述光学系统可以包括多个非线性棱镜形光学器件。例如，所述光学系统可以包括多个沃拉斯顿棱镜。
具有非线性光学器件检查设备

[发明专利]一种光学头中光学系统的优化方法-CN200710075381.X无效
发明人：程雪岷;马建设;闫霜;毛乐山;孙满龙;杨明生;潘龙法;张布卿;王烁石 -专利权人：清华大学深圳研究生院;东莞宏威数码机械有限公司
申请日： 2007-08-01 - 公布日： 2008-01-16 - 主分类号： G11B7/08 文献下载
摘要：本发明公开了一种光学头中光学系统的优化方法，属于光存储技术领域。本发明包括以下步骤：A.根据光学系统的初步设计结果模拟光路，基于传统像差理论，采用第一像质评价函数，对光学系统进行优化，达到衍射极限；B.在满足基于像差理论的优化极限下，以光学系统中光路元件状态检测的灵敏度为优化的目标二次优化光学系统本发明由于在采用第一像质评价函数，对光学系统进行优化，达到衍射极限后；再以光学系统中光路元件状态检测的灵敏度为优化的目标二次优化光学系统。所以可以使光学头检测灵敏度满足控制系统要求，提高不同光学头中光学系统的设计与优化效率。
一种光学光学系统优化方法

[发明专利]图像投影系统-CN201880068965.0有效
发明人：半泽文彦 -专利权人：索尼半导体解决方案公司
申请日： 2018-10-04 - 公布日： 2022-06-28 - 主分类号： G02B27/02 文献下载
摘要：根据本公开的图像投影系统包括用于投影视频的投影光学系统和与该投影光学系统分开的目镜光学系统，该目镜光学系统安装在观察者的头部，并且包括至少一个全息元件，以将投影光从投影光学系统引入到观察者的眼睛。全息元件使一阶衍射光朝向观察者的瞳孔偏转，同时对该一阶衍射光具有正焦距。投影光以大于或等于以下表达式表示的θ的角度入射到目镜光学系统上：θ＝arctan((3.5+M)/f)，其中，在对视频的观察期间，f[mm]表示在目镜光学系统中用于投影光的焦距，而M[mm]表示全息元件中的一阶衍射光沿着相对于观察者的瞳孔的垂直方向的最大有效半径
图像投影系统

[发明专利]一种基于离轴三反射镜的衍射望远镜光学系统设计方法-CN201811118254.8在审
发明人：何传王;黄鹏;董小春;范斌;汪利华 -专利权人：中国科学院光电技术研究所
申请日： 2018-09-26 - 公布日： 2019-02-01 - 主分类号： G02B27/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种基于离轴三反射镜的衍射望远镜光学系统设计方法，属于光学设计领域。衍射望远镜光学系统由衍射物镜、中继镜和衍射校正镜构成，将传统透射式的中继镜和衍射校正镜改进为反射镜，进行离轴，并在两反射镜系统基础上增加一个反射镜，构成离轴三反射式目镜，提出了一种基于离轴三反射镜的衍射望远镜光学系统设计方法相比透射式系统、基于离轴两反射式或者基于三反射式衍射望远镜系统，本发明设计方法简单易行，设计的光学系统镜片数量合适，结构合理，并且有着优良的性能。
衍射离轴反射镜望远镜光学系统三反射式校正镜中继镜反射镜系统透射式系统望远镜系统光学设计光学系统反射式透射式镜片目镜物镜改进

[发明专利]一种基于离轴四反射镜的衍射望远镜光学系统设计方法-CN201811118665.7有效
发明人：何传王;黄鹏;董小春;范斌;汪利华 -专利权人：中国科学院光电技术研究所
申请日： 2018-09-26 - 公布日： 2020-12-22 - 主分类号： G02B27/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于离轴四反射镜的衍射望远镜光学系统设计方法，属于光学设计领域。衍射望远镜光学系统由衍射物镜、中继镜和衍射校正镜构成，将传统透射式的中继镜和衍射校正镜改进为反射镜，进行离轴，并在三反射镜系统基础上增加一个反射镜，构成离轴四反射式目镜，提出了一种基于离轴四反射镜的衍射望远镜光学系统设计方法相比透射式系统或基于离轴三反射式衍射望远镜系统，本发明设计方法简单易行，设计的光学系统镜片数量少，变化参数多，并且在大视场、宽波段范围内有着优良的性能。
一种基于离轴四反射衍射望远镜光学系统设计方法

[发明专利]波前测量方法及装置、以及曝光方法及装置-CN201380027918.9有效
发明人：大泷桂;杉崎克己;玄间隆志 -专利权人：株式会社尼康
申请日： 2013-05-29 - 公布日： 2020-04-07 - 主分类号： G01M11/02 文献下载
摘要：本发明提供一种求出投影光学系统的波前信息的波前测量方法，包含下述步骤：使从测量用中间掩模的销孔阵列射出的光束照射至投影光学系统；使通过了投影光学系统的光束入射至在X方向以及Y方向具有周期性且X方向以及Y方向的透过率分布具有正弦波状的分布的衍射光栅；以及基于因从衍射光栅产生的多个光束引起的干涉条纹，来求出投影光学系统(PO)的波前信息。基于使用衍射光栅而得到的干涉条纹，能够高精度地测量被检光学系统的波前信息。
测量方法装置以及曝光方法

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