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农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

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B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[发明专利]蒸镀遮罩-CN200410086951.1无效
发明人：叶德郎 -专利权人：悦城科技股份有限公司
申请日： 2004-10-20 - 公布日： 2006-04-26 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：一种蒸镀遮罩，是采用玻璃，石英，氟化镁或氟化钙等具有热膨胀系数与被加工元件基板相同或在其的下的材料为遮罩基板，并在该遮罩基板上配置一个或一个以上呈矩阵型态配置的遮罩工作单元，而该遮罩工作单元具一向内凹设于遮罩基板的遮蔽层，令该遮蔽层形成约在50～500μm的厚度，并于该遮蔽层上设有与所要求的预定图案相对应的贯穿孔槽作为蒸镀孔隙，而相对于该较薄的遮蔽层，在遮罩工作单元的周缘形成具有较大厚度的肋部，因而对该遮罩基板具有补强及防止变形的功能，由蒸镀遮罩所具备的高强度结构及低膨胀系数材料特性，以避免在蒸镀制程中的温度变化所导致遮罩的大量变形，造成镀膜图案的位置偏移，以便可在被加工元件基板上获得高精密度的蒸镀图案。
蒸镀遮罩

[发明专利]蒸镀遮罩-CN201710405204.7在审
发明人：水野康宏 -专利权人：鸿富锦精密工业（深圳）有限公司;鸿海精密工业股份有限公司
申请日： 2017-06-01 - 公布日： 2018-05-08 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本发明提供一种蒸镀遮罩，其包括框架、主体膜，所述框架贯设有一第一开口，所述主体膜盖设于所述第一开口上，所述主体膜上开设有多个第二开口；所述主体膜包括塑料膜，每一个所述第二开口贯穿所述塑料膜，所述第一开口与每一个所述第二开口连通；所述蒸镀遮罩还包括支架；所述支架固定于所述框架上且跨越所述第一开口，所述框架与所述支架共同支撑所述主体膜。本发明的蒸镀遮罩采用塑料材质且通过支架进一步支撑蒸镀遮罩，改善蒸镀遮罩下垂问题，减少阴影效应的影响。
蒸镀遮罩

[发明专利]遮罩片及蒸镀遮罩及蒸镀遮罩装置及蒸镀工艺-CN201510761948.3在审
发明人：陈秉宏;洪忠庆 -专利权人：上海和辉光电有限公司
申请日： 2015-11-10 - 公布日： 2017-05-17 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本发明涉及半导体显示技术领域，尤其涉及一种遮罩片及蒸镀遮罩及蒸镀遮罩装置及蒸镀工艺，蒸镀遮罩至少两层遮罩片按顺序排列以完全覆盖玻璃基板，第一个遮罩片的第二非有效蒸镀区与第二个遮罩片的第一非有效蒸镀区无缝隙连接，第一个遮罩片的第二非有效蒸镀区结合下一个遮罩片的第一非有效蒸镀区所覆盖的面积匹配蒸镀片闭合区的面积，进而可以使得经蒸镀处理的玻璃面板上有源区与非有效蒸镀区均匀分布，实现大尺寸AMOLED屏幕的蒸镀，且不受遮罩片本身尺寸的限制
遮罩片蒸镀遮罩装置工艺

[发明专利]蒸镀设备-CN201110130961.0无效
发明人：林进志;蔡纶;陈佳榆;吴文豪 -专利权人：友达光电股份有限公司
申请日： 2011-05-16 - 公布日： 2011-10-12 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：一种蒸镀设备，其包括一基板载具、至少一可移动蒸镀源以及至少一可移动遮罩。基板载具适于承载一基板，可移动蒸镀源位于基板下方，且可移动蒸镀源在基板上的蒸镀范围小于基板的尺寸。可移动遮罩配置于可移动蒸镀源与基板之间，其中可移动遮罩具有一图案化开孔，且可移动遮罩的遮蔽范围大于或等于可移动蒸镀源在基板上的蒸镀范围。由于可移动遮罩的尺寸无须与基板相当，因此本发明可以有效降低可移动遮罩的制作困难度。
设备

[发明专利]除尘装置、蒸镀机台及以其进行清洁遮罩的方法-CN200410083937.6有效
发明人：柯崇文 -专利权人：友达光电股份有限公司
申请日： 2004-10-12 - 公布日： 2005-03-30 - 主分类号： B08B7/04 文献下载
摘要：本发明公开了一种除尘装置、蒸镀机台及以其进行清洁遮罩的方法，其中蒸镀机台包括一蒸镀室，一超音波清洁室以及至少一传输装置。蒸镀室内利用至少一遮罩对一基板进行蒸镀作业。传输装置用于在蒸镀室及超音波清洁室之间传递遮罩。超音波清洁室内，设有一除尘装置，该除尘装置包括一超音波产生器、一气流吹出器以及一吸尘器。清洁遮罩的方法是利用传输装置将遮罩由蒸镀室取出，送入超音波清洁室中，藉由除尘装置中的超音波产生器产生震波震动遮罩表面的微粒并使微粒易于松动，且由气流吹出器吹出气流将遮罩表面的微粒扬起，并以吸尘器将所扬起的微粒吸除在遮罩清洁完成后，由传输装置将遮罩送至蒸镀室内进行蒸镀作业。
除尘装置机台以其进行清洁方法

[发明专利]蒸镀遮罩、蒸镀方法及蒸镀遮罩之制造方法-CN201510214919.5在审
发明人：黄俊杰 -专利权人：鸿海精密工业股份有限公司
申请日： 2015-04-30 - 公布日： 2016-12-07 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本发明提供一种用于在显示面板基板上形成电致发光材料层的蒸镀遮罩，该蒸镀遮罩包括主体膜及掺杂在主体膜内部的磁性颗粒，该主体膜为树脂材料，该主体膜包括至少一像素区域，每一像素区域上形成有蒸镀所需要之第一开口由于本发明之蒸镀遮罩于主体膜内掺杂磁性颗粒使得主体膜具有磁性，蒸镀遮罩借助磁性颗粒的磁力固定，主体膜采用较易加工的树脂材质来代替现有技术之金属材质的蒸镀遮罩，有助于提高蒸镀之精度。
蒸镀遮罩方法制造

[发明专利]蒸镀装置-CN200710202698.5无效
发明人：王仲培 -专利权人：鸿富锦精密工业（深圳）有限公司;鸿海精密工业股份有限公司
申请日： 2007-11-27 - 公布日： 2009-06-03 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本发明提供了一种蒸镀装置，包括一用于容置一蒸镀材料的坩埚，所述坩埚顶部具有一开口。所述蒸镀装置还包括一套设在所述坩埚开口上的遮罩，所述遮罩的底部具有一与所述坩埚顶部开口相配合的开口，所述遮罩的顶部具有多个气流通孔，所述遮罩的侧壁具有一入口，所述入口用于供加热所述坩埚内蒸镀材料用的能量束入射到坩埚内的蒸镀材料上本发明提供的蒸镀装置可有效防止蒸镀腔室被污染。
装置

[发明专利]电激发光显示板的制造方法及蒸镀遮罩-CN02141467.X无效
发明人：西川龙司;山田努 -专利权人：三洋电机株式会社
申请日： 2002-08-30 - 公布日： 2003-03-19 - 主分类号： H05B33/10 文献下载
摘要：本发明公开了一种电激发光显示板的制造方法及蒸镀遮罩，其目的在使电激发光(EL)显示面板的蒸镀图案精密度提高，其是将具有开口部以选择性地使来自蒸发源的蒸发物质通过，而将电激发光元件的蒸镀元件层以所希望的图案形成在玻璃基板上的蒸镀遮罩，配置于蒸发源与玻璃基板之间以进行蒸镀。再者，此蒸镀遮罩的材料，采用热膨胀系数对玻璃基板之膨胀系数为160％以下、30％以上的材料，而能将接近蒸镀源而形成高温的蒸镀遮罩的热变形减低至最小限度，并提高蒸镀图案的精密度。
激发显示制造方法蒸镀遮罩

[发明专利]蒸镀装置及蒸镀方法-CN201310225232.2无效
发明人：李嘉宸;黄添旺 -专利权人：上海和辉光电有限公司
申请日： 2013-06-06 - 公布日： 2014-12-24 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本公开提出一种蒸镀装置及蒸镀方法，所述蒸镀装置包括：主腔室，用于容置所述蒸发源和所述基板；及第一扩展腔室和第二扩展腔室，能够与所述主腔室分别相互连通和相互隔离，其中，所述第一扩展腔室包括第一金属遮罩，所述第二扩展腔室包括第二金属遮罩，在蒸镀中，所述第一金属遮罩或所述第二金属遮罩交替伸入所述主腔室中并位于所述基板和所述蒸发源之间以遮罩所述基板。本公开的第一金属遮罩和第二金属遮罩在蒸镀作业时能够交替使用，因此能够提高作业效率。
装置方法

[发明专利]有机发光二极管蒸镀机台-CN03128583.X有效
发明人：萧调宏 -专利权人：友达光电股份有限公司
申请日： 2003-05-07 - 公布日： 2004-11-24 - 主分类号： H01L31/18 文献下载
摘要：一种有机发光二极管的蒸镀机台，包括有一遮罩清理室，用以对有机发光二极管蒸镀所使用的遮罩进行电浆清理；由于利用遮罩清理室进行遮罩清理并不需要将遮罩自蒸镀机台中取出，从而克服了现有技术的缺陷，不仅可以线上清理遮罩，防止机台停滞，亦可以避免遮罩污染，以确保制程的可靠度。
有机发光二极管机台

[发明专利]蒸镀设备以及蒸镀方法-CN201110396270.5无效
发明人：蔡坤锦 -专利权人：友达光电股份有限公司
申请日： 2011-11-29 - 公布日： 2012-04-04 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：一种蒸镀设备以及蒸镀方法，用于处理基板，基板具有基板对位标记，蒸镀设备包括遮罩、蒸镀源、磁性板以及至少一对位检测装置。遮罩位于基板的下方，遮罩具有多个侧边，且任两个相邻的侧边之间具有转角区域，遮罩的其中一转角区域中具有遮罩对位标记，且遮罩对位标记对应基板对位标记设置，且该遮罩对位标记具有第一部份以及第二部分。蒸镀源位于遮罩的下方。磁性板位于基板的上方。对位检测装置对应基板对位标记与遮罩对位标记设置，且对位检测装置的检测方向与基板的表面之间具有锐角夹角θ，所述对位检测装置藉由基板对位标记与遮罩对位标记的第一部份之间的对位以及基板对位标记与遮罩对位标记的第二部份的对位，以确定基板与遮罩彼此对准。
设备以及方法

[发明专利]蒸镀装置以及蒸镀机台-CN201210143468.7无效
发明人：王庆钧;黄智勇;陈建志;陈思豪;董福庆;小田敦 -专利权人：财团法人工业技术研究院
申请日： 2012-05-09 - 公布日： 2013-04-03 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本发明公开一种蒸镀装置及应用此蒸镀装置的蒸镀机台，适于对一待镀物进行蒸镀。所述蒸镀装置包括一载带载具以及一遮罩。载带载具具有一加热区。待镀物位于加热区上方并且适于依一进给方向移动。遮罩设置于加热区外围，且遮罩具有一开口位于加热区与待镀物之间。被蒸发的镀膜材料适于通过开口而被镀制于待镀物上。
装置以及机台

[发明专利]蒸镀遮罩、蒸镀系统及材料的提纯方法-CN201310120171.3有效
发明人：廖良生;丁磊;周东营 -专利权人：苏州大学
申请日： 2013-04-08 - 公布日： 2013-07-10 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本发明公开了一种蒸镀遮罩，配置于蒸镀源和基板之间，包括：管状的主体部，包括一开口部；部分遮挡所述开口部的遮挡部，用以控制来自蒸镀源的蒸发物质在开口部的辐射角度。本发明还公开了一种蒸镀系统及材料的提纯方法。本发明的蒸镀遮罩，不仅可以控制蒸镀材料的辐射角度，还可以对蒸镀材料进行提纯回收，节约材料。
蒸镀遮罩系统材料提纯方法

[发明专利]用于OLED蒸镀的金属遮罩及OLED蒸镀方法-CN201680025663.6有效
发明人：李文辉 -专利权人：深圳市柔宇科技有限公司
申请日： 2016-09-30 - 公布日： 2020-01-21 - 主分类号： C23C14/12 文献下载
摘要：一种用于OLED蒸镀的金属遮罩(100)及OLED蒸镀方法，通过在金属遮罩(100)上开口(20)边缘设置挡墙(30)，挡墙(30)可以反射并阻挡蒸镀材料的扩散，使蒸镀材料最大化的留在规定的蒸镀区域(220)内，解决对OLED基板(210)蒸镀时造成像素区域混色的技术问题，从而提高OLED的发光显示效果。
用于 oled 金属方法

[实用新型]蒸镀机的载台及蒸镀遮罩系统-CN201521070735.8有效
发明人：王亚;王水俊;范波涛 -专利权人：昆山国显光电有限公司
申请日： 2015-12-21 - 公布日： 2016-05-11 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种蒸镀机的载台，用于对遮挡基片的非蒸镀的部位的遮罩片进行限位，包括：载台基体；所述载台基体设有中心定位孔，用以对第一遮罩片限位；所述载台基体还设有自中心定位孔沿载台基体表面方向延展的扩展槽，用以对与第一遮罩片规格不同的第二遮罩片限位。在本实用新型提供的实施例中，载台基体设有的中心定位孔可以供专用的第一遮罩片的定位件插入，而与专用的第一遮罩片的定位件规格不同的其他第二遮罩片的定位件可以在扩展槽允许的范围内调整插入位置，从而，蒸镀机的载台可以加载不同的遮罩片进行生产，提高了载台对不同规格遮罩片的通用性。
蒸镀机蒸镀遮罩系统

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