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[实用新型]芯片清洗装置-CN202221090064.1有效
发明人：不公告发明人 -专利权人：北京智创芯源科技有限公司
申请日： 2022-05-07 - 公布日： 2022-09-23 - 主分类号： B08B3/10 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种芯片清洗装置，涉及光电器件技术领域。该芯片清洗装置包括承载盘、清洗容器以及搅拌组件，承载盘具有由上至下向内倾斜的锥形承载面，承载面划分为多个相互分隔的清洗单元，清洗单元用于放置芯片；清洗容器的内部盛放有清洗溶剂，承载组件放置于清洗容器内，且位于承载组件上的芯片浸没于清洗溶剂中；搅拌组件用于使清洗溶剂转动，以对芯片进行清洗。基于本实用新型的技术方案，由于承载盘的承载面设计为由上至下向内倾斜，使得放置于承载面上的芯片在搅拌组件对清洗容器内的清洗溶剂进行搅拌时，清洗溶剂形成的漩涡不易将芯片从承载盘上掀翻，与芯片清洗装置碰撞，擦伤芯片正面的金属结构
芯片清洗装置

[实用新型]芯片清洗装置-CN202120779182.2有效
发明人：王金昭;王青;江蔼庭;张杨 -专利权人：华芯半导体研究院（北京）有限公司;华芯半导体科技有限公司
申请日： 2021-04-15 - 公布日： 2021-12-28 - 主分类号： B08B11/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了芯片清洗装置，所述装置包括电机；减速机，所述减速机与所述电机相连；偏心机构，所述偏心机构的一端与所述减速机相连；连杆，所述偏心机构的另一端与所述连杆的一端相连；清洗杆，所述清洗杆与所述连杆的另一端相连，芯片设在所述清洗杆上；清洗槽，所述清洗杆设在所述清洗槽内；固定架，所述固定架用于支撑固定所述芯片清洗装置。该芯片清洗装置结构简单，成本低，易操作，清洗效率高，节省了大量的人力，且在清洗过程中芯片不易破碎。
芯片清洗装置

[发明专利]芯片清洗装置-CN201810969535.8有效
发明人：罗云红 -专利权人：重庆市嘉凌新科技有限公司
申请日： 2018-08-23 - 公布日： 2021-08-27 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明涉及电子元件加工技术领域，具体为芯片清洗装置，包括安装座，安装座连接有柔性的波纹板，波纹板一侧设置有安装架，安装架上连接有若干丝杠，安装架与波纹板之间设置有若干螺纹套，丝杠与螺纹套螺纹连接，丝杠自由端连接有清洗轴，清洗轴上设置有若干刷毛，清洗轴间歇插入波纹板的夹缝中。
芯片清洗装置

[实用新型]一种具有烘干功能的芯片清洗装置-CN202123437744.4有效
发明人：朱俊;华波琴 -专利权人：苏州原津光电有限公司
申请日： 2021-12-30 - 公布日： 2022-05-17 - 主分类号： B08B3/10 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种具有烘干功能的芯片清洗装置，该芯片清洗装置旨在解决现有技术下芯片清洗装置进行使用时无法对芯片进行调节卡紧，同时在清洗之后也不能快速将芯片进行烘干的技术问题。该芯片清洗装置包括清洗箱体、安装在所述芯片清洗箱体上的调节移动模块、连接于所述清洗箱体用于存放清洁水的水箱模块；所述调节移动模块外侧设置有用于放置芯片的芯片放置模块，所述芯片放置模块上侧设置有用于进行调节卡紧的卡位镂空网板，所述清洗箱体外侧设置有用于进行烘干的烘干组件。该芯片清洗装置通过放置清洗板可以将芯片进行固定放置，而通过卡位镂空网板可以起到调节卡紧的效果，然后利用烘干组件可以将清洗之后的芯片进行快速烘干。
一种具有烘干功能芯片清洗装置

[实用新型]一种铌酸锂调制器芯片的清洗系统-CN201821148392.6有效
发明人：杨成惠;李俊慧;杨德伟;王旭阳;何强 -专利权人：北京世维通科技股份有限公司
申请日： 2018-07-19 - 公布日： 2019-05-21 - 主分类号： B08B3/02 文献下载
摘要：本实用新型提供一种铌酸锂调制器芯片的清洗系统，预冲洗装置，用于提供雾化清洗液以冲洗待清洗的芯片；丙酮浸泡装置，用于以丙酮浸泡经所述预冲洗装置的雾化清洗液冲洗后的芯片；酒精浸泡装置，用于以酒精浸泡经所述丙酮浸泡装置处理后的芯片；强氧化剂清洗装置，用于以强氧化剂清洗液浸泡经所述酒精浸泡装置处理后的芯片；除杂冲洗装置，用于提供雾化清洗液以冲洗经强氧化剂清洗装置处理后的芯片。本实用新型提供的铌酸锂调制器芯片的清洗系统，利用该清洗系统可改善芯片表面的清洁度，可有效提高芯片合格率。
芯片清洗系统铌酸锂调制器雾化清洗液丙酮浸泡酒精浸泡强氧化剂冲洗本实用新型预冲洗装置清洗装置装置处理清洁度清洗液浸泡芯片合格率冲洗装置芯片表面除杂清洗

[发明专利]一种生物芯片清洗干燥装置-CN202010242146.2在审
发明人：颜菁;张静 -专利权人：上海邦先医疗科技有限公司
申请日： 2020-03-31 - 公布日： 2020-07-07 - 主分类号： B08B3/10 文献下载
摘要：本发明公开了一种生物芯片清洗干燥装置，包括清洗槽、挂架及一或多个用于放置待清洗的生物芯片的芯片固定机构，所述芯片固定机构与所述挂架相连接；所述生物芯片清洗干燥装置具有清洗状态和甩干状态。该生物芯片清洗干燥装置具有结构简单且使用方便的优点。
一种生物芯片清洗干燥装置

[实用新型]一种生物芯片清洗干燥装置-CN202020443214.7有效
发明人：颜菁;张静 -专利权人：上海邦先医疗科技有限公司
申请日： 2020-03-31 - 公布日： 2020-12-04 - 主分类号： B08B3/10 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种生物芯片清洗干燥装置，包括清洗槽、挂架及一或多个用于放置待清洗的生物芯片的芯片固定机构，所述芯片固定机构与所述挂架相连接；所述生物芯片清洗干燥装置具有清洗状态和甩干状态。该生物芯片清洗干燥装置具有结构简单且使用方便的优点。
一种生物芯片清洗干燥装置

[发明专利]清洗装置以及清洗装置的控制方法-CN202010917333.6在审
发明人：尹泰甲;高建峰;卢一泓;刘卫兵 -专利权人：中国科学院微电子研究所;真芯（北京）半导体有限责任公司
申请日： 2020-09-03 - 公布日： 2022-03-04 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明公开了一种清洗装置及清洗装置的控制方法，该清洗装置包括承载机构和清洗机构，承载机构包括具有承托面的工作台，承托面用于固定芯片，清洗机构设置在工作台的底部且用于清洗芯片，工作台能够绕水平轴线方向转动，以使承托面朝向清洗机构。对芯片进行清洗时，承托面朝上设置，芯片组件设置在工作台的承托面上，芯片组件与工作台固定，绕水平轴线方向转动工作台，使得承托面朝下，此时芯片朝向清洗机构的一侧，启动清洗机构，清洗机构对芯片清洗，在清洗过程中，粉末及清洗液等会在重力的作用下与芯片分离，在保证清洗效果的同时缩短了清洗的时间，无需增大清洗压力或工作台的转速，避免了芯片与工作台的分离的情况，消除了芯片损坏的隐患。
清洗装置以及控制方法

[实用新型]自动清洗设备-CN201620189079.1有效
发明人：陈政哲;王诗成 -专利权人：镭射谷科技股份有限公司
申请日： 2016-03-11 - 公布日： 2016-08-31 - 主分类号： B08B7/00 文献下载
摘要：本实用新型揭露一种自动清洗设备，自动清洗设备包括上料台、待洗台、一清洗装置、清洗机器人、下料位、烘干隧道及下料台。上料台用以盛装多个芯片。待洗台用以接收自上料台传送的芯片。清洗装置用以固定自待洗台传送来的芯片，清洗装置包含升降托板、吸附组件以及底板，吸附组件设于底板上，吸附组件用以吸附芯片，升降托板能相对于底板而移动。升降托板带动芯片容置载具下降以露出芯片，喷射通道用以将干冰粉末喷射至芯片。下料位用以接收自清洗装置清洗后的芯片。烘干隧道用以烘干自下料位传送的芯片。下料台接收自烘干隧道传送的芯片。
自动清洗设备

[实用新型]一种生物芯片样本表面游离蛋白的清洗装置-CN202021412586.X有效
发明人：毕利军;杨超;杨思贤;叶美婷;蔡金秀;杨璐 -专利权人：广州博翀生物科技有限公司
申请日： 2020-07-17 - 公布日： 2021-04-06 - 主分类号： B08B3/08 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种生物芯片样本表面游离蛋白的清洗装置，属于生物芯片技术领域，包括芯片清洗盒、芯片清洗架、端盖和自动进样泵，芯片清洗盒上部两个相对侧面上分别设置有进水口和出水口，芯片清洗盒底部设置有卡位机构；芯片清洗架设置于芯片清洗盒内，且与卡位机构可拆卸连接；端盖盖合于芯片清洗盒的上端，自动进样泵与进水口相连通。本实用新型公开的生物芯片样本表面游离蛋白的清洗装置，使蛋白完全清除，提高了清洗效果；还提高蛋白清洗的可重复性，降低不同批次间的偏差，节约人力成本，解决游离蛋白去除效率低的问题；芯片清洗架能存放多个待清洗的生物芯片样本，使一次性可进行大批芯片样本的清洗，清洗效率大大提高。
一种生物芯片样本表面游离蛋白清洗装置

[发明专利]一种仪表芯片的清洗装置及其使用方法-CN202110166666.4在审
发明人：武英杰;雷明珠;李德红;李党裔 -专利权人：浙江快驴科技有限公司
申请日： 2021-02-04 - 公布日： 2021-05-14 - 主分类号： B08B3/04 文献下载
摘要：本发明涉及仪表芯片清洗装置技术领域，尤其涉及一种仪表芯片的清洗装置及其使用方法。本发明要解决的是没有专用的芯片清洗装置对芯片进行清洗，需要人工使用刷子对芯片进行刷洗，较为麻烦的技术问题。为了解决上述技术中的问题，本发明提供一种仪表芯片的清洗装置及其使用方法，本发明由壳体、马达、刷洗机构和滴液干燥机构组成，在马达的作用下，带动刷洗机构转动，此时半圆形毛刷可对芯片刷洗，将污垢刷掉，半圆形擦拭块将刷掉后的污垢擦除，且相较于手动刷擦频率高，有利于芯片的快速刷洗，滴液干燥机构在既可以向芯片滴撒清洗芯片用的液体，又可以在芯片清洗后对芯片进行干燥，大大方便了芯片清洗时的使用。
一种仪表芯片清洗装置及其使用方法

[实用新型]用于芯片清洗的花篮装置-CN201621342137.6有效
发明人：袁正兵;史侯明;章胜;谭明;肖梦;王梦雪;杨文献;代盼;吴渊渊;黄寓洋;陆书龙 -专利权人：苏州苏纳光电有限公司
申请日： 2016-12-08 - 公布日： 2017-05-31 - 主分类号： H01L21/673 文献下载
摘要：本申请公开了一种用于芯片清洗的花篮装置，包括一花篮托靶、自所述花篮托靶延伸的至少一个支撑臂、以及固定于所述支撑臂上的清洗花篮，所述清洗花篮的侧边开设有一缺口，该缺口自所述清洗花篮的顶边缘延伸至花篮底座，所述清洗花篮底座均匀圆孔可以使芯片清洗过程中保持芯片与清洗液之间的压力平衡。本新型装置可以更好便捷的用于保护芯片的清洗，使得芯片能够在清洗过程中清洗均匀，减少了芯片清洗过程中意外弄碎的问题，能够有效清洗芯片，有利于有针对性的清洗，提高芯片在清洗中的效率。
用于芯片清洗花篮装置

[发明专利]一种基于无脉冲泵供液的芯片清洗系统及清洗方法-CN202311173132.X在审
发明人：马磊;钟永良;马睿 -专利权人：威海奥牧智能科技有限公司
申请日： 2023-09-12 - 公布日： 2023-10-20 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明公布了一种基于无脉冲泵供液的芯片清洗系统及清洗方法，该系统包括：清洗工作台、图像检测装置、中央处理器、清洗装置；清洗工作台为密闭空间，图像检测装置固定在能够清洗全景拍摄芯片清洗台上芯片的位置，图像检测装置连接并向中央处理器传输照片，中央处理器连接且控制清洗装置；所述的图像检测装置包括摄像头、图像保存模块及传输模块；所述的中央处理器包括硬件部分、图像识别模块、智能算法模块、清洗控制器，芯片清洗的方法共计5步。本发明的目的是提供一种基于无脉冲泵供液的芯片清洗系统及其清洗方法，该系统和方法能够实现对芯片的高效、自动化和智能化的清洗过程，提高芯片品质。
一种基于脉冲泵供液芯片清洗系统方法

[实用新型]一种生物芯片清洗装置-CN202221750593.X有效
发明人：石代泽;张明辉;王玉文;张婷 -专利权人：西安实创生科生物科技有限公司
申请日： 2022-07-08 - 公布日： 2022-10-14 - 主分类号： B08B3/02 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种生物芯片清洗装置，涉及清洗技术领域。一种生物芯片清洗装置，包括清洗箱，清洗箱的内侧壁焊接安装有滤板，滤板将清洗箱内部依次分为污水仓和清洗仓，污水仓的一侧壁焊接安装有排水管，清洗仓的前侧壁与外部连通设置。本实用新型，通过在生物芯片固定机构上设置可进行转动的夹板，致使装置在进行对生物芯片进行清洗时，能够通过翻转依次对生物芯片两面进行清洗，从而避免了二次清洗作业的情况，提高了装置的清洗效果，同时装置设置有生物芯片清洗干燥机构，通过离子风机和水泵配合匀速运动的喷淋板，致使装置能够在清洗完毕后，对生物芯片进行干燥处理，大大提高了装置的实用性。
一种生物芯片清洗装置

[发明专利]一种生物芯片检测系统-CN202110902716.0在审
发明人：邬鹏程;陈正泉 -专利权人：湖南乐准智芯生物科技有限公司
申请日： 2021-08-06 - 公布日： 2023-02-17 - 主分类号： G01N35/00 文献下载
摘要：本发明提供一种生物芯片检测系统。所述生物芯片检测系统包括配送装置、清洗装置和检测装置，所述配送装置为圆盘，该圆盘上设有多个指向圆心的配送芯片槽，所述配送芯片槽沿所述圆盘的半径方向的两端贯通；所述清洗装置上设有清洗芯片槽，所述清洗装置位于所述圆盘的内圈且均布有多个，所述清洗芯片槽正对任一所述配送芯片槽设置；所述检测装置位于所述配送装置的圆心处，且所述检测装置能够自旋转，所述检测装置的一个侧面上设有第一舱门，所述检测装置的自旋转使所述第一舱门与任一所述清洗芯片槽对齐与相关技术相比，本发明提供的生物芯片检测系统布局紧凑、节省等待时间。
一种生物芯片检测系统

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