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[发明专利]电润湿装置中的液滴界面-CN201880081783.7在审
发明人：马修·霍尔顿;詹姆斯·怀特;安德鲁·约翰·赫伦;詹姆斯·安东尼·克拉克;詹森·罗伯特·海德;本杰明·詹姆斯·哈德温;莎莉·安德森 -专利权人：牛津纳米孔技术公司;夏普生命科学（欧洲）有限公司
申请日： 2018-12-21 - 公布日： 2020-08-25 - 主分类号： B01L3/00 文献下载
摘要：在包括致动电极阵列的电润湿装置中的液滴之间形成液滴界面。将致动信号施加到选定的致动电极，以使液滴置于通电状态，在所述通电状态中，与处于较低能量状态的液滴的形状相比，液滴的形状发生改变，并且使所述两个液滴靠近。然后改变致动信号以将液滴的能量降低到较低能量状态，使得液滴松弛到间隙中并且两个液滴彼此接触，从而形成液滴界面。在装置中使用感测电极允许测量液滴界面上的电流。感测电极可用于(i)在液滴致动期间施加参考信号，或(ii)记录电流测量。
润湿装置中的界面

[发明专利]电润湿装置中的液滴界面-CN202211438669.X在审
发明人：马修·霍尔顿;詹姆斯·怀特;安德鲁·约翰·赫伦;詹姆斯·安东尼·克拉克;詹森·罗伯特·海德;本杰明·詹姆斯·哈德温;莎莉·安德森 -专利权人：牛津纳米孔科技公开有限公司;夏普生命科学（欧洲）有限公司
申请日： 2018-12-21 - 公布日： 2023-03-28 - 主分类号： G01N27/416 文献下载
摘要：在包括致动电极阵列的电润湿装置中的液滴之间形成液滴界面。将致动信号施加到选定的致动电极，以使液滴置于通电状态，在所述通电状态中，与处于较低能量状态的液滴的形状相比，液滴的形状发生改变，并且使所述两个液滴靠近。然后改变致动信号以将液滴的能量降低到较低能量状态，使得液滴松弛到间隙中并且两个液滴彼此接触，从而形成液滴界面。在装置中使用感测电极允许测量液滴界面上的电流。感测电极可用于(i)在液滴致动期间施加参考信号，或(ii)记录电流测量。
润湿装置中的界面

[发明专利]液滴分配-CN201880044289.3有效
发明人： J·O·福利;D·西格尔;C·德拉特雷 -专利权人：伊鲁米纳公司
申请日： 2018-11-09 - 公布日： 2021-09-10 - 主分类号： B41J2/16 文献下载
摘要：一种系统，包括：液滴致动器，其具有在顶部和底部基板之间的液滴操作间隙；(多个)储存器，在液滴致动器外部并且耦合至液滴致动器；该(多个)储存器针对大体积流体而被设置尺寸；以及(多个)压力源，其在液滴致动器外部并且被耦合到至少一个储存器该系统的操作包括：用(多个)大体积的流体填充储存器，作为执行(多个)液滴操作的一部分，使用(多个)压力源将(多个)流体的(多个)液滴分配到液滴操作间隙。(多个)液滴的移动可以通过激活液滴致动器来实现。
分配

[发明专利]多喷嘴液滴喷出头、包含此喷出头的写入设备以及其喷出液滴的方法-CN200580051582.5无效
发明人：艾伦·罗森维吉;肯特·瑞夫;可林·柏克斯;安迪·希尔斯 -专利权人： BIC公司
申请日： 2005-09-14 - 公布日： 2008-09-10 - 主分类号： B41J3/36 文献下载
摘要：一种液滴喷出头，被设计为安装在液滴喷出设备中。此液滴喷出头包含致动箱，每个致动箱具有至少一个进水口，以与贮液器相连以将液体提供给致动箱；致动装置，当此致动装置被接收自控制组件的能量致动时，此致动装置在液体中产生脉冲波；以及与喷嘴相连的出水部。喷嘴经排列使得喷出的液滴在距离液滴喷出头特定长度的一点处结合。
喷嘴喷出包含写入设备及其方法

[发明专利]具有间歇致动模式的AM-EWOD设备和控制方法-CN201810292716.1在审
发明人： L·思温·黄;提姆·波义耳 -专利权人：夏普生命科学（欧洲）有限公司
申请日： 2018-03-30 - 公布日： 2018-10-23 - 主分类号： G05B19/042 文献下载
摘要：本发明涉及一种具有间歇致动模式的AM‑EWOD设备和控制方法。微流体系统包括介质上电润湿EWOD设备和控制系统，其控制施加到EWOD设备的元件阵列的致动电压以针对流体液滴执行操纵操作。所述控制系统将致动电压序列施加到与液滴相关联的阵列元件的部分，以将液滴维持在对应于预定液滴性质的期望液滴状态中。致动电压序列包括与液滴相关联的阵列元件的部分被致动的致动开启时段以及与液滴相关联的阵列元件的部分未被致动的致动关闭时段，并且致动关闭时段不为零。控制系统可以施加包括预定占空比的致动电压序列，和/或致动电压可以根据基于传感器的干预来施加。
致动电压序列控制系统阵列元件液滴相施加关联液滴微流体系统预定占空比润湿流体液滴液滴状态元件阵列传感器上电干预期望

[发明专利]电润湿装置中的液滴界面-CN201980034033.9有效
发明人：马修·霍顿;肯·希利 -专利权人：牛津纳米孔科技公司
申请日： 2019-05-24 - 公布日： 2023-04-11 - 主分类号： B01L3/00 文献下载
摘要：在包括致动电极阵列的电润湿装置中，在液滴之间形成液滴界面。将致动信号施加到所选致动电极，以将所述液滴放置成处于激励状态并且使两个液滴接近，在所述激励状态下，所述液滴的形状相比于处于较低能量状态下的所述液滴的形状有所修改。然后改变所述致动信号，以将所述液滴的能量降低到所述较低能量状态，使得所述液滴松弛到间隙中，并且所述两个液滴彼此接触，由此形成液滴界面。感测电极在所述装置中的使用允许跨所述液滴界面进行电流测量。所述感测电极可以用于(i)在液滴致动期间施加参考信号或(ii)记录电流测量。两个或更多个电极可配置成对定位在所述电极之上的液滴内的细胞进行裂解。
润湿装置中的界面

[发明专利]基于液滴性质的测试测量的AM-EWOD器件中的自适应液滴操作-CN201910454523.6有效
发明人：彼得·马修·福里特斯;本杰明·詹姆斯·哈德文;彼得·尼尔·泰勒;格列高利·盖 -专利权人：夏普生命科学（欧洲）有限公司
申请日： 2019-05-28 - 公布日： 2022-03-08 - 主分类号： B01L3/00 文献下载
摘要：公开了一种控制方法和相关装置，用于控制被施加到介质上电润湿(EWOD)器件上的元件阵列的阵列元件的致动电压，其中确定测试度量并将其用于优化后续的液滴操纵操作。控制方法包括以下步骤：将液体液滴接收到所述元件阵列上；施加致动电压的电润湿致动图案来致动所述液滴，以将液滴的覆盖区从具有初始覆盖区的第一状态修改为具有修正覆盖区的第二状态；用传感器感测修正覆盖区；基于液体液滴对电润湿致动图案的液滴响应，通过感测指示一个或多个液滴性质的修正覆盖区来确定测试度量；以及基于测试度量来控制被施加到阵列元件的致动电压。测试度量可以包括转变速率和/或与致动图案的一致性。
基于性质测试测量 am ewod 器件中的自适应操作

[发明专利]用于光刻设备的液滴发生器、EUV源和光刻设备-CN201680079694.X有效
发明人： J·F·迪杰克斯曼;B·L·W·M·范德文;K·G·温克尔斯;T·W·德赖森;G·O·瓦申科;P·M·鲍姆加特;W·H·T·M·安格南特;J·O·纽文坎普;W·R·坎平加;J·劳特萨莱南 -专利权人： ASML荷兰有限公司
申请日： 2016-12-15 - 公布日： 2020-11-13 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：液滴发生器，诸如在EUV辐射源中使用，以及相关的EUV辐射源和光刻设备。液滴发生器可以包括用于发射燃料作为液滴的喷嘴组件，喷嘴组件处于与液滴发生器内的燃料压力基本上相同的压力下的加压环境内。液滴发生器可以包括致动器，致动器与泵室接触并且借助于偏置机构抵靠泵室被偏置，偏置机构具有抵靠致动器被偏置的致动器支撑件。致动器作用于泵室内的燃料以产生液滴。致动器支撑件具有与其周围结构相比具有更大的热膨胀系数的材料，使得其在环境温度下在周围结构内可移动，但是在操作温度下抵靠周围结构膨胀，以便在操作温度下将致动器支撑件抵靠周围结构夹紧。
用于光刻设备发生器 euv

[发明专利]使用作为流体输入的接通致动器储液器来提高液滴计量的准确度和精度的方法-CN202010862553.3有效
发明人：义贞·B·李;维吉·斯里尼瓦桑 -专利权人：先进流体逻辑公司
申请日： 2014-08-13 - 公布日： 2022-08-19 - 主分类号： B05B5/025 文献下载
摘要：本发明涉及使用作为流体输入的接通致动器储液器来提高液滴计量的准确度和精度的方法。在一些实施例中，用于计量液滴的接通致动器储液器包括加载端口、液体储存区、液滴计量区和液滴分发区。接通致动器储液器被设计为防止液体回流到加载端口中和防止液体涌入分发区中的液滴操作间隙中。
使用作为流体输入接通致动器储液器来提高计量准确度精度方法

[发明专利]液滴喷射装置-CN201310472552.8无效
发明人：保罗·雷蒙德·特鲁里;斯蒂芬·坦普尔 -专利权人： XAAR科技有限公司
申请日： 2007-04-03 - 公布日： 2014-01-22 - 主分类号： B41J2/14 文献下载
摘要：本发明涉及一种液滴喷射装置，该装置包括一列流体腔室，每个流体腔室均由一对通过一定腔室壁间距相互分隔开的相对的可致动的腔室壁限定，并与用于喷射液滴的喷嘴流体连通，所述相对的可致动的腔室壁包括压电材料并在被施加电场时以V型构造的剪切模式变形，其中所述腔室壁的顶部和底部以相反方式变形；盖件，该盖件接合至所述可致动的腔室壁的边缘，从而密封所述腔室的顶部，该盖件具有盖件厚度，所述喷嘴形成在所述盖件中；其中，所述盖件的厚度小于
喷射装置

[发明专利]喷涂装置-CN202210288902.4有效
发明人：齐淑林;何晓龙;林立峰;王新;武传田 -专利权人：中车青岛四方机车车辆股份有限公司
申请日： 2022-03-22 - 公布日： 2023-03-28 - 主分类号： B05B1/30 文献下载
摘要：本发明涉及材料涂覆设备技术领域，提供了一种喷涂装置，包括：直动式驱动机构、液滴喷射调节装置、流道板和喷板。液滴喷射调节装置与直动式驱动机构连接。流道板支撑连接于液滴喷射调节装置与喷板之间，以在液滴喷射调节装置与喷板之间形成流体通道。喷板上设置有喷孔。流体通道与喷孔连通。直动式驱动机构能够直线式跳动并驱动液滴喷射调节装置移动，以调节液滴喷射调节装置与喷孔之间的距离。通过调节液滴喷射调节装置与喷板上的喷孔之间的距离，能够改变涂料的喷射压力，进而调节液滴喷射速度和喷射液滴的大小。该喷涂装置使用直线往复跳动的直动式驱动机构代替了扭矩传力的压电陶瓷杠杆机构，其可靠性更高，使用寿命也有所延长。
喷涂装置

[发明专利]液滴致动器配置以及引导液滴操作的方法-CN201310415655.0有效
发明人：维杰·斯里尼瓦桑;迈克尔·波拉克;万希·帕穆拉;华智山;阿尔琼·苏达山;菲利普·派克 -专利权人：先进液体逻辑公司
申请日： 2008-12-23 - 公布日： 2014-04-09 - 主分类号： B41J2/06 文献下载
摘要：一种具有与液滴操作表面相关联的液滴形成电极配置的液滴致动器，其中，电极配置包括被配置为在液滴操作表面上形成子液滴期间控制液滴体积的一个或多个电极。还提供了制造和使用液滴致动器的方法。
液滴致动器配置以及引导操作方法

[发明专利]液滴致动器配置以及引导液滴操作的方法-CN200880127254.2有效
发明人：维杰·斯里尼瓦桑;迈克尔·波拉克;万希·帕穆拉;华智山;阿尔琼·苏达山;菲利普·派克 -专利权人：先进液体逻辑公司
申请日： 2008-12-23 - 公布日： 2011-01-12 - 主分类号： B41J2/06 文献下载
摘要：一种具有与液滴操作表面相关联的液滴形成电极配置的液滴致动器，其中，电极配置包括被配置为在液滴操作表面上形成子液滴期间控制液滴体积的一个或多个电极。还提供了制造和使用液滴致动器的方法。
液滴致动器配置以及引导操作方法

[发明专利]使用作为流体输入的接通致动器储液器来提高液滴计量的准确度和精度的方法-CN201480041006.1有效
发明人：义贞·B·李;维吉·斯里尼瓦桑 -专利权人：先进流体逻辑公司
申请日： 2014-08-13 - 公布日： 2020-09-11 - 主分类号： G01F23/22 文献下载
摘要：本发明涉及使用作为流体输入的至少一个接通致动器储液器来提高液滴计量的准确度的方法。在一些实施例中，用于计量液滴的接通致动器储液器包括加载端口、液体储存区、液滴计量区和液滴分发区。接通致动器储液器被设计为防止液体回流到加载端口中和防止液体涌入分发区中的液滴操作间隙中。
使用作为流体输入接通致动器储液器来提高计量准确度精度方法

[发明专利]具有多个喷射腔的微流体分配装置-CN202011484016.6在审
发明人： D·朱斯蒂;I·马蒂尼 -专利权人：意法半导体股份有限公司
申请日： 2020-12-15 - 公布日： 2021-06-18 - 主分类号： A24F40/10 文献下载
摘要：该微流体分配装置具有按照顺序布置的多个腔，每个腔具有接收待被分配的液体的入口以及用于喷出液滴的喷嘴。每个腔中的致动器接收致动量，并使液滴由相应腔的喷嘴喷出。每个腔中的液滴喷出检测元件在检测到液滴喷出时生成致动命令。一种顺序激活电路，包括多个顺序激活元件，每个腔一个顺序激活元件，每个顺序激活元件耦合到相应腔的液滴喷出检测元件，以及耦合到与一系列腔中的后续腔相关联的致动器。每个顺序激活元件从与相应腔相关联的液滴喷出检测元件接收致动命令，并激活与一系列腔中的后续腔相关联的致动器。
具有喷射流体分配装置

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