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- [发明专利]一种晶圆晶粒排列检测方法及系统-CN202211671570.4有效
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别晓辉;陶思展;别伟成;单书畅
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视睿（杭州）信息科技有限公司
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2022-12-26
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2023-04-11
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G06T7/00
- 本申请目的在于提供一种晶圆晶粒排列检测方法及系统，所述方法包括以下步骤：按照预设轨迹扫描整张晶圆料片，得到一系列局部小料图像；通过拼接算法将所有小料图像拼接成一张完整的大图；基于八邻域的连通图算法，将大图中同一个连通域内的晶粒进行排序；根据小料图像的像素坐标和Label坐标，利用计算机视觉算法和图形学算法检测晶粒边缘，根据晶粒边缘，通过膨胀操作和腐蚀操作得到缺陷区域，根据缺陷区域内晶粒排列情况确定晶粒排列不齐类型。本申请使用图像处理中的膨胀和腐蚀操作，膨胀与腐蚀属于形态学范畴，膨胀用于处理缺陷问题，腐蚀用于处理毛刺问题。膨胀操作会填补缺陷，腐蚀操作会腐蚀掉毛刺。本发明可以提高晶圆晶粒排列检测的检出率。
- 一种晶粒排列检测方法系统
- [发明专利]结合边缘检测和分水岭算法的图像分割方法-CN201410410464.X有效
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罗胜
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温州大学
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2014-08-13
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2019-04-26
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G06T7/13
- 本发明公开了一种结合边缘检测和分水岭算法的图像分割方法，包括以下步骤，第一步，图像边缘抽取：采用边缘检测算法提取边缘；第二步，边缘连接：采用相同大小的模板对第一步中抽取的图像边缘进行膨胀连接，或对第一步中抽取的图像边缘端点进行连接，然后用不同大小的模板膨胀；第三步，分割图像：将第二步中得到的在膨胀区域作为生长区域，其它区域作为分水岭算法的种子区域，在生长区域中用分水岭算法进行生长，确认连接或者断开连接，将图像分割成区域。本发明的有益效果：利用了边缘检测算法，得到封闭的目标轮廓，并且位置比Canny边缘准确；没有分水岭算法的过分割等问题，速度快，并且原本连通的区域不会被强行分割。
- 结合边缘检测分水岭算法图像分割方法
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