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- [发明专利]磁传感装置及其制备工艺-CN201410027189.3在审
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张挺;杨鹤俊;王宇翔
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上海矽睿科技有限公司
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2014-01-21
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2015-07-22
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G01R33/09
- 本发明揭示了一种磁传感装置及其制备工艺,所述制备工艺包括:步骤一、外围电路的基底上设有至少两层顶层金属层,至少包括第一金属层、第二金属层,第二金属层位于第一金属层上方,并引出第二金属层;步骤二、在基底上刻蚀形成沟槽,或者,刻蚀到第一金属层上方后自停止,形成底部平坦的沟槽;步骤三、沉积绝缘介质材料,而后沉积磁材料,磁材料的一部分位于基底上表面,另一部分位于沟槽内;步骤四、图形化,生成磁传感器的图形,形成感应单元的磁材料层,并通过沟槽的应用形成导磁单元;步骤五、沉积绝缘材料,打开电连接窗口,将磁材料层的电极引出,并将其他电极引出。
- 传感装置及其制备工艺
- [实用新型]复合式高效电磁屏蔽隔离舱-CN202220072537.9有效
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李濛;李瑾;段晓波;戴水红
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成都宏明电子股份有限公司
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2022-01-12
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2022-09-02
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H05K9/00
- 本实用新型公开了一种复合式高效电磁屏蔽隔离舱,包括导电舱、导电盖、导磁舱、导磁盖、绝缘筒体和绝缘定位柱,导磁盖与导磁舱的开口端连接,绝缘筒体套装在导磁舱外,导电舱套装在绝缘筒体外,导电盖与导电舱的开口端连接,导电舱的舱壁上、绝缘筒体的筒壁上和导磁舱的舱壁上分别设有多个定位通孔且多个绝缘定位柱由外而内穿过对应的定位通孔,绝缘定位柱设有轴向的穿线通孔。本实用新型通过设置内外套装的导电舱和导磁舱并在两者之间通过绝缘筒体隔离,利用导磁舱对低频磁场进行有效屏蔽隔离,利用到导电舱对高频电磁场进行有效屏蔽隔离,提高了宽频段内的电磁屏蔽效能,解决了交、直流及微信号集成运用时产生电磁相互干扰问题
- 复合高效电磁屏蔽隔离
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